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公开(公告)号：WO2018080141A1
公开(公告)日：2018-05-03
申请号：PCT/KR2017/011785
申请日：2017-10-24
Applicant: 한국기초과학지원연구원
Abstract: 일 실시 예에 따른 시료 스테이지는, 시료를 수용하기 위한 시료 홀더; 및 상기 시료 홀더에 방사상으로 연결되고 상기 시료 홀더가 3방향의 병진 자유도와, 적어도 2방향의 회전 자유도를 갖게 하는 제 1 구동 모듈, 제 2 구동 모듈 및 제 3 구동 모듈을 포함할 수 있다.
Abstract translation: 根据一个实施例的样品台包括用于接收样品的样品架; 并且能够径向连接到包含所述样品架的样本保持器是平移自由度的三路，所述第一驱动器模块，一第二驱动模块具有自由的在至少两个方向上的旋转度，以及第三驱动模块。< / p>
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公开(公告)号：KR101847357B1
公开(公告)日：2018-04-10
申请号：KR1020170163953
申请日：2017-12-01
Applicant: 한국기초과학지원연구원
CPC classification number: H01J37/20 , H01J37/261
Abstract: 일실시예에따르면, 시료홀더와, 상기시료홀더에각각연결되고 1자유도운동을하는복수개의링크어셈블리를포함하는시료홀더스테이지의스트레스제거방법에있어서, (a) 상기복수개의링크어셈블리중 어느하나의링크어셈블리의기준위치를입력받는단계; (b) 상기링크어셈블리가상기기준위치를향하여구동하도록상기링크어셈블리에연결된모터에전류를인가하는단계; (c) 상기인가되는전류값을기초로상기링크어셈블리에인가되는부하의크기및 방향을결정하는단계; 및 (d) 상기부하를감소시키는방향으로상기기준위치에설정오프셋값을합산한보정위치를향하여상기링크어셈블리를위치를변경시키는단계를포함할수 있다.
Abstract translation: 根据一个实施方式，所述样品架，并且在应力去除样本保持器级，每个耦合到样本保持器包含用于自由运动的一个自由度的多个链路组件，（a）中的任一项所述多个链接组件 接收车辆的链接组件的参考位置; （b）向耦合到所述连杆组件的马达施加电流，使得所述连杆组件朝向所述参考位置被驱动; （c）基于施加的电流值确定施加到连杆组件的负载的大小和方向; 和（d）在降低朝向修正位置将偏移值设定为基准位置可以是改变连杆组件的位置的步骤中的负载的方向。
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公开(公告)号：KR101742920B1
公开(公告)日：2017-06-01
申请号：KR1020160138158
申请日：2016-10-24
Applicant: 한국기초과학지원연구원
CPC classification number: G01N3/04 , G02B21/242
Abstract: 일실시예에따른시료스테이지는, 시료를수용하기위한시료홀더; 및상기시료홀더에방사상으로연결되고상기시료홀더가 3방향의병진자유도와, 적어도 2방향의회전자유도를갖게하는제 1 구동모듈, 제 2 구동모듈및 제 3 구동모듈을포함할수 있다.
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公开(公告)号：KR101900603B1
公开(公告)日：2018-09-19
申请号：KR1020170057432
申请日：2017-05-08
Applicant: 한국기초과학지원연구원
IPC: H01J37/147 , H01J37/317 , H01J37/073
CPC classification number: H01J37/1471 , H01J37/073 , H01J37/3177
Abstract: 일실시예에따른하전입자빔 정렬장치는, 하전입자현미경의경통의포트중 하나에삽입되는프로브막대; 상기경통에대해상기프로브막대를움직이는무빙스테이지; 상기무빙스테이지의단부를촬영하기위한제 1 카메라; 및상기프로브막대의단부에설치되고, 하전입자빔의정렬상태를관측하기위해하전입자빔을가시광선으로변화하여반사시키는형광스크린을포함할수 있다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101714623B1
公开(公告)日：2017-03-10
申请号：KR1020150137626
申请日：2015-09-30
Applicant: 한국기초과학지원연구원
Abstract: 본발명은투과전자현미경(TEM) 또는주사투과전자현미경(STEM)에서시료의 3차원관찰을위해시료(그리드)를 [3차원이동+회전+틸팅]할수 있는시료제어장치에관한것으로보다상세하게는, TEM에서시료(그리드)를위치변경시키는장치로서, 케이싱(10), 베이스부(20), 회전구동부(30), x-축구동부(40), y-축구동부(50), z-축구동부(60), 틸팅구동부(70) 및안착부(80)를포함하는 TEM의경통(101)에장착되는일체형시료제어장치에관한것이다.
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公开(公告)号：KR101804223B1
公开(公告)日：2017-12-06
申请号：KR1020160050729
申请日：2016-04-26
Applicant: 한국기초과학지원연구원
Abstract: 본발명은경통외부에층상으로장착되어있는복수시료가순차적으로전자현미경경통으로삽입되어관찰할수 있도록함으로써시료관찰소요시간을대폭절약하고, 복수의시료를연속관찰할수 있도록하는전자현미경복수시료연속관찰시스템에관한것으로, 보다상세하게는 (A) 시료가장착되는판형의시료장착판; (B) 내부에상기복수개의시료장착판이층상으로적층되는결합부, 관찰이완료된시료장착판을보관하는보관부, 및상기시료장착판이하나씩전자현미경의경통부내부로왕복이동되어시료스테이지에장착-탈착될수 있도록경통부와연통된개방구가형성되어있는밀폐형시료챔버; (C) 시료챔버의결합부에적층된것 중하나의시료장착판과임시결합하고밀어서상기시료장착판을경통부내의시료스테이지에장착하고, 관찰이종료되면당겨서상기보관부로이송한후 임시결합을해제하여관찰이종료된시료장착판을보관부로이송하는이송수단;을포함하는전자현미경용복수시료연속관찰시스템에관한것이다.
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公开(公告)号：KR101839693B1
公开(公告)日：2018-03-16
申请号：KR1020160107055
申请日：2016-08-23
Applicant: 한국기초과학지원연구원
IPC: H01J37/147 , H01J37/317 , G21K1/02
Abstract: 하전입자소스모듈의정렬장치및 방법을개시한다. 일실시예에따른하전입자소스모듈정렬장치는, 베이스, 상기베이스로부터이격되고, 상기모듈케이스를지지하는지지플레이트, 상기베이스에설치되며, 상기모듈케이스에대한상기필라멘트조립체의상대적인수평위치를조절하는위치조절모듈, 상기지지플레이트에설치되고, 상기모듈케이스에대한상기웨넬트의상대적인수직높이를조절하는높이조절모듈및 상기첨두와상기웨넬트에대한영상정보를수집하는영상수집모듈을포함할수 있다.
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公开(公告)号：KR1020180022129A
公开(公告)日：2018-03-06
申请号：KR1020160107055
申请日：2016-08-23
Applicant: 한국기초과학지원연구원
IPC: H01J37/147 , H01J37/317 , G21K1/02
CPC classification number: H01J37/1471 , G21K1/02 , H01J37/3174
Abstract: 하전입자소스모듈의정렬장치및 방법을개시한다. 일실시예에따른하전입자소스모듈정렬장치는, 베이스, 상기베이스로부터이격되고, 상기모듈케이스를지지하는지지플레이트, 상기베이스에설치되며, 상기모듈케이스에대한상기필라멘트조립체의상대적인수평위치를조절하는위치조절모듈, 상기지지플레이트에설치되고, 상기모듈케이스에대한상기웨넬트의상대적인수직높이를조절하는높이조절모듈및 상기첨두와상기웨넬트에대한영상정보를수집하는영상수집모듈을포함할수 있다.
Abstract translation: 公开了用于对准带电粒子源模块的装置和方法。 根据一个实施例的用于对准带电粒子源模块的设备包括基座，与基座隔开并支撑模块壳体的支撑板，安装在基座上的基板，以及调节灯丝组件相对于模块壳体的相对水平位置 安装在支撑板上的高度调节模块，用于调节Wehnelt相对于模块壳体的相对垂直高度;图像采集模块，用于采集关于峰值和Wehnelt的图像信息。 有。
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