公开(公告)号：KR102072287B1

公开(公告)日：2020-01-31

申请号：KR1020180020660

申请日：2018-02-21

Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단

Inventor： 이희철 ,  문제도 ,  김형관

IPC: G01N27/407 ,  G01N27/04

公开(公告)号：KR102006102B1

公开(公告)日：2019-07-31

申请号：KR1020180020558

申请日：2018-02-21

Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단

Inventor： 이희철 ,  문제도 ,  김소원

IPC: H01L41/27 ,  H01L41/333 ,  H01L41/337 ,  H01L41/45 ,  H01L41/193 ,  H01L41/09