公开(公告)号：KR102072287B1

公开(公告)日：2020-01-31

申请号：KR1020180020660

申请日：2018-02-21

Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단

Inventor： 이희철 ,  문제도 ,  김형관

IPC: G01N27/407 ,  G01N27/04

公开(公告)号：KR101842648B1

公开(公告)日：2018-03-28

申请号：KR1020170012069

申请日：2017-01-25

Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단

Inventor： 이희철 ,  김형관 ,  윤희수 ,  김준형

IPC: G01N27/407

CPC classification number: G01N27/407 ,  G01N27/4067

Abstract: 본발명은 MEMS 구조를가지는히터임베디드유해가스센서의제작방법에관한것으로서, 본발명의유해가스센서의제작방법은, 실리콘기판의상면과하면에열적고립층을위한산화막과보호층을위한질화막을순차적층하는단계; 상기하면에형성된상기질화막과상기산화막을순차식각한후, 드러난실리콘층을소정의깊이까지식각하여캐비티를형성하는단계; 및상기상면에마이크로히터를위한전극들과그 사이의저항패턴을형성한후, 그위에절연층, 감지전극패턴및 감지물질층을순차적층하는단계를포함한다.

Abstract translation: 本发明涉及一种具有MEMS结构，根据本发明，对于氧化物层和用于热隔离层的硅衬底的上表面和下表面上的保护层的氮化物膜中的有毒气体传感器的制造方法的加热器嵌入有毒气体传感器的制造方法 依次分层; 依次蚀刻在下表面上形成的氮化物层和氧化物层，并且将暴露的硅层蚀刻到预定深度以形成空腔; 并且在上表面上形成用于微型加热器的电极和其间的电阻图案，并且在其上依次层叠绝缘层，感测电极图案和感测材料层。