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公开(公告)号：KR1020130034521A
公开(公告)日：2013-04-05
申请号：KR1020110098577
申请日：2011-09-28
Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단
Abstract: PURPOSE: A method and a device for measuring a distortion difference of an optical system are provided to measure the distortion of the optical system without influence of the movement of a stage and position determining errors. CONSTITUTION: A device(300) for measuring a distortion difference of an optical system comprises a lighting unit(310), a mask(320), a lens unit(330), a measurement plane(340), a sensor unit(350), and a control unit(380). The mask includes patterns of a lattice shape and transmits lights irradiated from the lighting unit. The lens unit focuses the lights has passed through the mask. The lights focused on the measurement plane form a spot array. The sensor unit photographs the spot array several times while moving. Two adjacent images are photographed, thereby including the heat of an identical spot array. The control unit aligns the heat of the identical spot array includes in the two image to be overlapped, joins the images, and compares a theoretical position of the spot array and the spot array on the images, thereby calculating a distortion difference. [Reference numerals] (310) Lighting unit; (330) Lens unit; (350) Sensor unit; (380) Control unit;
Abstract translation: 目的：提供一种用于测量光学系统的失真差异的方法和装置，以测量光学系统的失真，而不受舞台移动和位置确定误差的影响。 构成：用于测量光学系统的畸变差异的装置（300）包括照明单元（310），掩模（320），透镜单元（330），测量平面（340），传感器单元（350） ，和控制单元（380）。 掩模包括格子形状的图案并透射从照明单元照射的光。 镜头单元聚焦，灯已经通过面罩。 聚焦在测量平面上的灯形成一个点阵列。 传感器单元在移动时多次拍摄点阵列。 拍摄两个相邻的图像，从而包括相同的点阵列的热量。 控制单元对准要重叠的两个图像中的相同光点阵列的热量，连接图像，并且将图像上的光点阵列和光点阵列的理论位置进行比较，从而计算失真差异。 （附图标记）（310）照明单元; （330）镜头单元; （350）传感器单元; （380）控制单元;
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公开(公告)号：KR101264547B1
公开(公告)日：2013-05-14
申请号：KR1020110098577
申请日：2011-09-28
Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단
Abstract: 본발명은광학계의왜곡수차측정방법및 왜곡수차측정장치에관한것이다. 본발명에따른광학계의왜곡수차측정방법은조명부에서마스크로광을조사시키고, 마스크를통과한광이렌즈부에의해집중되어측정평면에스팟어레이를형성한다. 센서부는측정평면에형성된스팟어레이의군을측정하고스테이지에의해이동하여다음스팟어레이의군을측정한다. 이때스테이지의반복정밀도에러를줄이기위해서첫 번째군에포함된스팟어레이의마지막열과두 번째군의첫 번째열이일치하도록센서어레이의군을측정한다. 이러한방식으로스테이지를이동하면서스팟어레이로구성된군들을원하는측정면적만큼반복측정한다. 제어부는두 개의인접한이미지에포함된동일한스팟어레이의열이중첩되도록정렬하여복수의이미지를결합하고, 결합된이미지상의스팟의위치와이론적인스팟의위치를비교하여왜곡수차를계산한다. 본발명에따른광학계의왜곡수차측정방법은인접한이미지에서동일한스팟을포함하도록촬영하고동일한스팟을중첩시켜하나의이미지로결합하여왜곡수차를구함으로써, 스테이지의위치결정오차에의한영향을받지않는다. 또한, 스팟어레이를한번에촬영해나가므로테스트패턴의위치측정에걸리는시간을줄일수 있어왜곡수차를빨리측정할수 있다.
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公开(公告)号：KR101101633B1
公开(公告)日：2012-01-02
申请号：KR1020090079501
申请日：2009-08-27
Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단
Abstract: 본 발명은 투명판에 액체 방울이 존재하는지 여부를 감지하는 센서 및 방법에 관한 것이다. 본 발명은 광원에서 방출된 빛을 집중 렌즈를 이용하여 투명판에 입사시키고, 투명판에서 반사된 빛을 수용 렌즈를 이용해 수용하며 빛 측정부로 빛의 반사율과 세기를 측정하여, 투명판에 액체 방울이 존재하는지 여부를 감지한다. 본 발명에서 집중 렌즈와 수용 렌즈는 빛의 방향을 조절하는 곡면부와 전반사를 일으키는 평면부를 구비하는 동일한 형상일 수 있다.
본 발명에 따르면, 간단한 구조로 액체 방울 감지 센서를 형성할 수 있다. 따라서 액체 방울 감지 센서를 저렴한 비용으로 제조할 수 있으며, 장착되는 장치의 구조를 변경하지 않고서도 액체 방울 감지 센서를 장착할 수 있다.
액체 방울 감지, 투명판, 광원, 렌즈, 전반사, 광다이오드-
公开(公告)号：KR1020110022106A
公开(公告)日：2011-03-07
申请号：KR1020090079501
申请日：2009-08-27
Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단
Abstract: PURPOSE: A liquid droplet sensor and a method thereof are provided to reducing the manufacturing cost of a liquid droplet sensor, since the structure of a sensor is simple. CONSTITUTION: A liquid droplet sensor comprises a lighting-emitting unit(110) and a light receiving unit(160). The lighting-emitting unit comprises a light source(120) and a focus lens(130). The light receiving unit comprises a light-receiving lens(170) and a light-measuring unit(180). The focus lens and the light-receiving lens are formed of the lens of the same shape. The focus lens and the light-receiving lens comprise a curved surface and a planar surface. The light source is composed of a light emitting diode. The light measuring unit is composed of a photodiode.
Abstract translation: 目的：提供液滴传感器及其方法以降低液滴传感器的制造成本，因为传感器的结构简单。 构成：液滴传感器包括发光单元（110）和光接收单元（160）。 发光单元包括光源（120）和聚焦透镜（130）。 光接收单元包括光接收透镜（170）和光测量单元（180）。 聚焦透镜和光接收透镜由相同形状的透镜形成。 聚焦透镜和光接收透镜包括曲面和平面。 光源由发光二极管组成。 光测量单元由光电二极管组成。
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