公开(公告)号：KR101362677B1

公开(公告)日：2014-02-12

申请号：KR1020100120017

申请日：2010-11-29

Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단

Inventor： 배유석 ,  진상일 ,  지효근 ,  이현숙

IPC: H01L21/68

Abstract: 본 발명에 의한 플랫존 영상을 이용하여 반도체 웨이퍼의 위치를 정렬하기 위한 장치 및 그 방법이 개시된다.
본 발명에 따른 반도체 웨이퍼의 위치를 정렬하기 위한 장치는 반도체 웨이퍼를 고정하는 웨이퍼 척; 상기 웨이퍼 척에 고정되어 있는 상기 반도체 웨이퍼의 플랫존의 영상을 촬영하는 카메라; 및 촬영된 상기 영상으로부터 상기 반도체 웨이퍼의 플랫존을 검출하고 그 검출된 반도체 웨이퍼의 플랫존을 근거로 반도체 웨이퍼의 회전 오프셋을 확인하여 상기 반도체 웨이퍼가 고정되어 있는 상기 웨이퍼 척을 회전시키는 단말 장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 반도체 웨이퍼의 정렬 시간을 단축시고, 이로 인해 반도체 웨이퍼의 생산성을 크게 향상시킬 뿐만 아니라, 회전 오프셋의 정확도와 신뢰도를 향상시킬 수 있다.

公开(公告)号：KR1020120058300A

公开(公告)日：2012-06-07

申请号：KR1020100120017

申请日：2010-11-29

Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단

Inventor： 배유석 ,  진상일 ,  지효근 ,  이현숙

IPC: H01L21/68

CPC classification number: H01L21/681 ,  G05B2219/37608 ,  H01L2223/54426 ,  Y10S414/136

Abstract: PURPOSE: An apparatus and method for arranging the location of a semiconductor wafer are provided to improve productivity of the semiconductor wafer by shortening alignment time of the semiconductor wafer. CONSTITUTION: A wafer chuck(110) fixes a semiconductor wafer. The wafer chuck is rotated from side to side by using a rotating means(130) according to rotational offset of the semiconductor wafer. A camera(120) takes a photograph of an image of a flat zone of the semiconductor wafer. A terminal device(140) detects the flat zone of the semiconductor wafer from the image recorded by the camera. The terminal device checks the rotational offset of the semiconductor wafer based on the flat zone of the semiconductor wafer.

Abstract translation: 目的：提供一种用于布置半导体晶片的位置的装置和方法，以通过缩短半导体晶片的取向时间来提高半导体晶片的生产率。 构成：晶片卡盘（110）固定半导体晶片。 根据半导体晶片的旋转偏移，通过使用旋转装置（130）使晶片卡盘从一侧向另一侧旋转。 相机（120）拍摄半导体晶片的平坦区域的图像。 终端装置（140）从由照相机记录的图像检测半导体晶片的平坦区域。 终端设备基于半导体晶片的平坦区域检查半导体晶片的旋转偏移。

公开(公告)号：KR1020110093068A

公开(公告)日：2011-08-18

申请号：KR1020100012883

申请日：2010-02-11

Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단

Inventor： 배유석 ,  지효근

IPC: H01L21/66

Abstract: PURPOSE: A location accuracy inspecting system and a method thereof are provided to measure an error of precision through visual inspection and supply information about the error to a user. CONSTITUTION: An image photographing unit photographs the movement of a chuck on an image that an image providing unit provides(S640). Reference coordinate value changes before/after the movement of the chuck are calculated(S660). A moved location precision error is calculated using the calculated reference coordinate value changes and the distance of a moved chuck(S670).

Abstract translation: 目的：提供定位精度检查系统及其方法，以通过目视检查来测量精度误差，并向用户提供关于错误的信息。 构成：图像拍摄单元拍摄图像提供单元提供的图像上的卡盘的移动（S640）。 计算卡盘移动前后的基准坐标值变化（S660）。 使用计算的基准坐标值变化和移动的卡盘的距离来计算移动位置精度误差（S670）。