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公开(公告)号：KR1020100131275A
公开(公告)日：2010-12-15
申请号：KR1020090050082
申请日：2009-06-05
Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단 , 주식회사 나노텍
IPC: H01L21/68
Abstract: PURPOSE: A wafer flat zone aligner including an edge crack detecting function and a driving method of the same are provided to simultaneously perform a flat zone align operation and an edge crack detecting operation by splitting one laser using a beam splitter. CONSTITUTION: A beam splitter(4) splits laser from laser source into two lasers. A first optical system(2) horizontally radiates first laser split from the beam splitter to the surface of a wafer along a first path. A second optical system(3) radiates second laser split from the beam splitter to the surface of the wafer along a second path. A first optical sensor(9) detects a first laser transmitted through the float zone of the wafer. A second optical sensor(14) detects the second laser transmitted through the edge crack of the wafer.
Abstract translation: 目的：提供包括边缘裂纹检测功能的晶片平面区域对准器及其驱动方法，以通过使用分束器分割一个激光器来同时执行平坦区域对准操作和边缘裂纹检测操作。 构成：分束器（4）将来自激光源的激光器分成两个激光器。 第一光学系统（2）沿着第一路径水平地辐射从分束器到晶片表面的第一激光器分裂。 第二光学系统（3）沿着第二路径从分束器将第二激光器分裂辐射到晶片的表面。 第一光学传感器（9）检测透过晶片的浮动区域的第一激光器。 第二光学传感器（14）检测通过晶片的边缘裂纹传输的第二激光器。
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公开(公告)号：KR1020120081295A
公开(公告)日：2012-07-19
申请号：KR1020110002555
申请日：2011-01-11
Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단
CPC classification number: Y02A90/14 , G01W1/06 , G01J1/0238 , G02B5/20 , G08B17/12
Abstract: PURPOSE: A remote controlling type climate observing system in real time is provided to supply climate information based on a climate observing sensor and a fire sensor and to lower power consumption for the system. CONSTITUTION: A remote controlling type climate observing system includes a climate observing sensor part(101), an ultraviolet(UV) measuring sensor part(102), a solar radiation measuring sensor part(103), a digital signal converter(104), a digital signal input/output(105), a system controller(106), and a power supply part(109). The UV measuring sensor part measures UV A and UV B. The UV A corresponds to the wavelength region of 315 to 400nm, and the UV B corresponds to the wavelength region of 280 to 315 nm. The solar radiation measuring sensor measures the amount of solar radiation based on output signals from the climate observing sensor part and the UV measuring sensor part. The digital signal converter amplifies and converts the signals from the UV measuring sensor part and the solar radiation measuring sensor part. The digital signal input/output amplifies and stabilizes the output signals from the climate measuring sensor part.
Abstract translation: 目的：实时提供遥控式气候观测系统，提供基于气象观测传感器和火灾传感器的气候信息，降低系统的功耗。 构成：遥控型气候观测系统包括气候观测传感器部分（101），紫外线（UV）测量传感器部分（102），太阳辐射测量传感器部分（103），数字信号转换器（104）， 数字信号输入/输出（105），系统控制器（106）和电源部分（109）。 UV测量传感器部分测量UV A和UV B. UV A对应于315至400nm的波长区域，UV B对应于280至315nm的波长区域。 太阳辐射测量传感器基于来自气候观测传感器部分和UV测量传感器部分的输出信号来测量太阳辐射量。 数字信号转换器对来自UV测量传感器部分和太阳辐射测量传感器部分的信号进行放大和转换。 数字信号输入/输出放大并稳定来自气候测量传感器部分的输出信号。
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公开(公告)号：KR101764844B1
公开(公告)日：2017-08-04
申请号：KR1020160057768
申请日：2016-05-11
Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단 , 주식회사 나노텍
CPC classification number: H01L22/12 , G02B6/29389 , H01L21/67242 , H01L22/24 , H01L22/30
Abstract: 일실시예에따른식각상태감시장치는챔버내에배치된식각대상으로부터방출된빛을통과시키는광학필터; 상기광학필터를통과한빛을전기적신호로변화시키는감광센서; 및상기전기적신호를증폭및 노이즈제거하여디스플레이에표시하며, 식각종말점또는챔버내 누설을판단할수 있도록연산하여공정또는설비를직접적으로제어하거나상기설비로제어가능한신호를전달하는신호처리부;를포함하고, 상기광학필터및 상기감광센서는복수개로마련되며, 상기복수개의광학필터및 상기복수개의감광센서는서로다른물질로부터방출된빛을검출할수 있다.
Abstract translation: 根据实施例的蚀刻状态监视装置包括：光学滤波器，用于使从设置在腔室中的蚀刻对象发射的光通过; 光传感器，将通过光学滤波器的光变为电信号; 以及信号处理器，用于通过执行放大和噪声消除来直接控制过程或设施或将可控信号传输到设施，以在显示器上显示电信号并计算腔室中的蚀刻终点或泄漏， 提供多个光学滤波器和多个光电传感器，并且多个光学滤波器和多个光电传感器可以检测从不同材料发射的光。
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4.发明公开시편에서 반사된 빛의 스펙트럼이 광 센서의 측정감도에 최적화되도록 파장영역별로 밝기가 제어되는 광원 모듈 및 이를 이용한 박막두께 측정장치 有权具有优化为光传感器和薄膜厚度测量装置的反射光的调光光模块使用此
公开(公告)号：KR1020150086955A
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：KR1020140007230
申请日：2014-01-21
Applicant: 주식회사 나노텍 , 한국산업기술대학교산학협력단
CPC classification number: F21K99/00 , F21S2/005 , F21W2131/40 , F21Y2115/10 , G01B11/06 , G01J3/00 , G01J4/00 , G01N21/8806 , H01L22/12
Abstract: 본발명의일 측면에따르면, 박막이형성된시편에광원이생성한빛을조사하여간섭이일어나는반사광의파장을측정하여상기시편상에형성된상기박막의두께를측정하는박막두께측정장치(Spectral Reflectometor)에있어서, 서로다른파장을가진 n(단, n은 1 이상의정수)가지종류의 LED를포함하는광원부;및상기광원부에인가되는전류를조절하여각 파장별로동일한밝기로발광하도록제어하는제어부; 를포함하는것을특징으로하는박막두께측정장치를제공한다. 본발명에따르면, 다양한파장의 LED에흐르는전류량을각각제어함으로써, 파장별빛의세기를균일하게제어하는효과가있다.
Abstract translation: 薄膜厚度测量装置（光谱反射计）本发明涉及一种薄膜厚度测量装置（光谱反射计），该薄膜厚度测量装置通过将由光源产生的光照射到具有薄膜的样品上来测量形成在样本上的薄膜的厚度，以测量反射的波长 光。 薄膜厚度测量装置包括：具有彼此不同波长的n种（这里n为1以上的整数）的光源单元; 以及控制单元，其调节施加到光源单元的电流，以便控制各个波长的亮度相同。 因此，薄膜厚度测量装置可以通过分别控制流过具有各种波长的LED的电流量来一致地通过波长控制光的强度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101224636B1
公开(公告)日：2013-01-22
申请号：KR1020110002555
申请日：2011-01-11
Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단
CPC classification number: Y02A90/14
Abstract: 본 발명은 전력 소모를 낮추고, 자외선 지수를 포함한 기상 정보를 실시간으로 제공하는 실시간 저전력 원격제어 기상관측 시스템에 관한 것으로, 기상 요소들을 관측하는 기상 측정 센서부, 하나의 광학 센서에 밴드패스 광학 필터를 슬라이드식으로 변경하여 자외선 A, 자외선 B 및 자외선 C 중 어느 하나를 측정하는 UV 측정 센서부, 기상 측정 센서부와 UV 측정 센서부가 측정한 태양광의 복사 에너지 온도를 1차 칼로리 값으로 환산하고, UV 측정 센서부의 출력신호를 미리 만들어진 칼로리 테이블과 비교하여 2차 칼로리 값으로 치환한 후, 평균하여 일사량을 측정하는 일사량 측정 센서부, 기상 측정 센서부와 일사량 측정 센서부의 신호를 증폭하고 변환하는 디지털 신호 변환기, 기상 측정 센서부의 출력 신호를 증폭하고 안정화시키는 디지털 신호 입출력기, 각 센서부를 통합 관리 및 제어하며, 측정 데이터를 디지털 신호 변환기와 디지털 신호 입출력기를 통해 전기적 신호로 입력받아 기상 정보를 수집 및 분석 처리하는 시스템 제어부 및 시스템 제어부의 제어 신호에 의해 각 부의 구동에 필요한 전류를 공급하는 전원부를 포함한다.
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6.发明授权시편에서 반사된 빛의 스펙트럼이 광 센서의 측정감도에 최적화되도록 파장영역별로 밝기가 제어되는 광원 모듈 및 이를 이용한 박막두께 측정장치 有权具有反射光的调节光模块优化为光传感器和使用该光传感器的膜厚度测量装置
公开(公告)号：KR101607639B1
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：KR1020140007230
申请日：2014-01-21
Applicant: 주식회사 나노텍 , 한국산업기술대학교산학협력단
Abstract: 본발명의일 측면에따르면, 박막이형성된시편에광원이생성한빛을조사하여간섭이일어나는반사광의파장을측정하여상기시편상에형성된상기박막의두께를측정하는박막두께측정장치(Spectral Reflectometor)에있어서, 서로다른파장을가진 n(단, n은 1 이상의정수)가지종류의 LED를포함하는광원부;및상기광원부에인가되는전류를조절하여각 파장별로동일한밝기로발광하도록제어하는제어부; 를포함하는것을특징으로하는박막두께측정장치를제공한다. 본발명에따르면, 다양한파장의 LED에흐르는전류량을각각제어함으로써, 파장별빛의세기를균일하게제어하는효과가있다.
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公开(公告)号：KR101486716B1
公开(公告)日：2015-01-28
申请号：KR1020130056244
申请日：2013-05-20
Applicant: 주식회사 나노텍 , 한국산업기술대학교산학협력단
Abstract: 본 발명은 셀프 플라즈마 챔버에 사용되는 윈도우의 오염을 억제하기 위한 장치에 관한 것으로서, 공정 챔버의 배기관과 연결되고, 상기 공정 챔버 내의 반응 가스를 인입시켜 플라즈마 상태로 만드는 셀프 플라즈마 챔버의 셀프 플라즈마 챔버 오염 억제 장치에 있어서, 상기 셀프 플라즈마 챔버의 윈도우 또는 플랜지에 설치되며, 상기 공정 챔버로부터 인입된 오염 유발 물질이 윈도우 및 플랜지에 축적되는 축적 반응이 억제되도록 윈도우 및 플랜지의 온도를 제어하는 온도제어수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 셀프 플라즈마 챔버 오염 억제 장치를 기술적 요지로 한다. 이에 의해 반응 가스의 종류에 따라 윈도우 또는 플랜지를 가열시켜 반응가스에 의한 오염물이 윈도우 및 플랜지에 축적되기 위한 축적 반응을 방해하여, 윈도우의 오염을 최소화시키는 이점이 있다.
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公开(公告)号：KR1020150145783A
公开(公告)日：2015-12-31
申请号：KR1020140074909
申请日：2014-06-19
Applicant: 주식회사 나노텍 , 한국산업기술대학교산학협력단
IPC: G01J3/02
CPC classification number: G01J3/0286 , G01J1/44 , G01J5/061 , G01J2001/448 , G01J2005/062
Abstract: 본발명에따른분광기는광원, 상기광원으로부터방사되는광을분광기내부로입사시키는슬릿을포함하는광입사부, 상기광입사부를통해입사되는광의광경로를형성하고분광시키는광학계, 상기광학계에의해분광된광을감지하는광 센서및 냉각부를포함하고, 상기광학계및 CCD 센서를내부에보유하는하우징과상기하우징의상부에배치되어상기하우징을기밀되도록밀폐하는커버를포함한다. 상기분광기는상기하우징과상기커버사이에배치되는오링과상기하우징또는상기커버에형성되어상기오링이안착되는홈을더 포함한다.
Abstract translation: 根据本发明的光谱仪包括：光源; 光源单元，包括用于将从光源发射的光馈送到光谱仪中的狭缝; 光学系统，用于形成用于通过所述光进给单元馈送的光的光通路，并分割光; 用于感测由光学系统分割的光的光传感器; 和冷却单元。 光谱仪包括：具有光学系统的壳体和其中的CCD传感器; 以及设置在所述壳体上并盖住所述壳体的盖。 光谱仪还包括：设置在壳体和盖之间的O形环; 以及形成在壳体或盖中的凹槽，使得O形环安放在其上。
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公开(公告)号：KR1020140136142A
公开(公告)日：2014-11-28
申请号：KR1020130056244
申请日：2013-05-20
Applicant: 주식회사 나노텍 , 한국산업기술대학교산학협력단
CPC classification number: H01J37/32862 , G01J5/02 , H01J37/32522 , H01J37/32834 , H01J2237/33
Abstract: 본 발명은 셀프 플라즈마 챔버에 사용되는 윈도우의 오염을 억제하기 위한 장치에 관한 것으로서, 공정 챔버의 배기관과 연결되고, 상기 공정 챔버 내의 반응 가스를 인입시켜 플라즈마 상태로 만드는 셀프 플라즈마 챔버의 셀프 플라즈마 챔버 오염 억제 장치에 있어서, 상기 셀프 플라즈마 챔버의 윈도우 또는 플랜지에 설치되며, 상기 공정 챔버로부터 인입된 오염 유발 물질이 윈도우 및 플랜지에 축적되는 축적 반응이 억제되도록 윈도우 및 플랜지의 온도를 제어하는 온도제어수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 셀프 플라즈마 챔버 오염 억제 장치를 기술적 요지로 한다. 이에 의해 반응 가스의 종류에 따라 윈도우 또는 플랜지를 가열 또는 냉각시켜 반응가스에 의한 오염물이 윈도우 및 플랜지에 축적되기 위한 축적 반응을 방해하여, 윈도우의 오염을 최소화시키는 이점이 있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种抑制在自等离子体室中使用的窗的污染的装置。 自等离子体室污染抑制装置中的自等离子体室与处理室的排气管连接，通过使处理室中的反应气体流入自等离子体室而形成等离子体状态。 自等离子体室污染抑制装置的技术要点是包括安装在自等离子体室的窗口或凸缘中并控制窗口和凸缘的温度的温度控制装置，以便通过 来自处理室的污染物质积聚在窗口和法兰中。 因此，本发明通过阻碍反应气体引起的污染物根据反应气体的类型通过加热或冷却窗口或凸缘而累积在窗口和凸缘中的累积反应来最小化窗户的污染。
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