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公开(公告)号：KR102222851B1
公开(公告)日：2021-03-08
申请号：KR1020190063360A
申请日：2019-05-29
Applicant: 한국생산기술연구원
CPC classification number: B24B37/26 , B24B7/228 , B24D2203/00
Abstract: 본 발명은 그루브가 형성된 연마용 패드에 관한 것으로, 보다 상세하게는 균일한 연마 성능을 갖고, 연마액의 사용 효율을 높이기 위한 그루브가 형성된 연마용 패드에 관한 것이다. 본 발명의 구성은 상부에 위치한 웨이퍼를 연마하도록 마련된 폴리싱 패드; 상기 폴리싱 패드 상에 형성되며, 상기 폴리싱 패드의 상부를 향해 돌출 형성된 복수의 도형유닛; 복수의 상기 도형유닛으로 이루어지며, 상기 폴리싱 패드 상에 동심원 형태로 배열된 복수의 패턴유닛; 및 상기 패턴유닛에 형성되며, 상기 패턴유닛에 공급된 연마액을 상기 패턴유닛의 전면으로 이송하도록 홈 형태로 마련된 그루브유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 그루브가 형성된 연마용 패드를 제공한다.
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公开(公告)号：WO2020242172A1
公开(公告)日：2020-12-03
申请号：PCT/KR2020/006781
申请日：2020-05-26
Applicant: 한국생산기술연구원
Abstract: 본 발명은 패턴구조를 갖는 화학기계적 연마용 패드에 관한 것으로, 보다 상세하게는 균일한 연마 성능을 갖도록 하기 위한 패턴구조를 갖는 화학기계적 연마용 패드에 관한 것이다. 본 발명의 구성은 상부에 위치한 웨이퍼를 연마하도록 마련된 폴리싱 패드; 및 상기 폴리싱 패드 상에 형성되며, 상기 폴리싱 패드의 상부를 향해 돌출 형성된 복수의 도형유닛을 포함하며, 상기 도형유닛은 목표로 하는 연마 특성에 대응되는 겉보기 접촉 면적 및 단위 면적당 둘레 길이를 갖도록 형성된 것을 특징으로 하는 패턴구조를 갖는 화학기계적 연마용 패드를 제공한다. 도 1
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公开(公告)号：WO2020242110A1
公开(公告)日：2020-12-03
申请号：PCT/KR2020/006523
申请日：2020-05-19
Applicant: 한국생산기술연구원
Abstract: 연마율이 향상된 연마 패드, 이를 포함하여 연마율이 향상된 연마 장치, 및 연마율이 향상된 연마 패드를 제조하는 방법이 제공된다. 상기 연마 패드는 지지층; 및 상기 지지층의 일면 상에 배치된 패턴층으로서, 상기 지지층 상에서 서로 이격된 복수의 돌출 패턴을 포함하고, 상기 지지층의 강성(rigidity) 보다 큰 강성을 갖는 패턴층을 포함한다.
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公开(公告)号：KR1020200138478A
公开(公告)日：2020-12-10
申请号：KR1020190063360
申请日：2019-05-29
Applicant: 한국생산기술연구원
Abstract: 본발명은그루브가형성된연마용패드에관한것으로, 보다상세하게는균일한연마성능을갖고, 연마액의사용효율을높이기위한그루브가형성된연마용패드에관한것이다. 본발명의구성은상부에위치한웨이퍼를연마하도록마련된폴리싱패드; 상기폴리싱패드상에형성되며, 상기폴리싱패드의상부를향해돌출형성된복수의도형유닛; 복수의상기도형유닛으로이루어지며, 상기폴리싱패드상에동심원형태로배열된복수의패턴유닛; 및상기패턴유닛에형성되며, 상기패턴유닛에공급된연마액을상기패턴유닛의전면으로이송하도록홈 형태로마련된그루브유닛을포함하는것을특징으로하는그루브가형성된연마용패드를제공한다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR102222851B1
公开(公告)日：2021-03-08
申请号：KR1020190063360
申请日：2019-05-29
Applicant: 한국생산기술연구원
Abstract: 본발명은그루브가형성된연마용패드에관한것으로, 보다상세하게는균일한연마성능을갖고, 연마액의사용효율을높이기위한그루브가형성된연마용패드에관한것이다. 본발명의구성은상부에위치한웨이퍼를연마하도록마련된폴리싱패드; 상기폴리싱패드상에형성되며, 상기폴리싱패드의상부를향해돌출형성된복수의도형유닛; 복수의상기도형유닛으로이루어지며, 상기폴리싱패드상에동심원형태로배열된복수의패턴유닛; 및상기패턴유닛에형성되며, 상기패턴유닛에공급된연마액을상기패턴유닛의전면으로이송하도록홈 형태로마련된그루브유닛을포함하는것을특징으로하는그루브가형성된연마용패드를제공한다.
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公开(公告)号：KR102221514B1
公开(公告)日：2021-03-03
申请号：KR1020190063380
申请日：2019-05-29
Applicant: 한국생산기술연구원
Abstract: 본발명은연마액의유동저항구조를갖는연마용패드에관한것으로, 보다상세하게는균일한연마성능을갖고, 연마액의사용효율을향상시키기위한연마액의유동저항구조를갖는연마용패드에관한것이다. 본발명의구성은상부에위치한웨이퍼를연마하도록마련된폴리싱패드; 상기폴리싱패드상에형성되며, 상기폴리싱패드의상부를향해돌출형성된복수의도형유닛; 및복수의상기도형유닛으로이루어지는복수의패턴유닛을포함하며, 복수의상기패턴유닛은상기폴리싱패드상에동심원형태로배열된것을특징으로하는연마액의유동저항구조를갖는연마용패드를제공한다.
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公开(公告)号：KR101168497B1
公开(公告)日：2012-07-27
申请号：KR1020100029863
申请日：2010-04-01
Abstract: 본 발명은 인발기에서 인발되는 소재가 통과하는 인발금형의 각도를 미세조절하는 인발기의 인발금형 각도조절장치에 관한 것으로, 인발금형의 원주방향을 분할하는 3개 지지점 중 일점은 고정장치에 의하여 금형홀더에 인발금형을 고정하고 나머지 2개 지지점은 외부나사와 내부나사를 구비한 이중피치나사로 구성되는 미세각도조절 이중볼트에 의하여 금형홀더와 인발금형간의 높낮이를 조절하여 고정장치에 의하여 고정된 인발금형의 한쪽을 들어올리거나 낮추어 인발금형에서 소재가 통과하는 인발공의 각도를 보정할 수 있게 한 것을 특징으로 한다.
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公开(公告)号：KR1020200138480A
公开(公告)日：2020-12-10
申请号：KR1020190063380
申请日：2019-05-29
Applicant: 한국생산기술연구원
Abstract: 본발명은연마액의유동저항구조를갖는연마용패드에관한것으로, 보다상세하게는균일한연마성능을갖고, 연마액의사용효율을향상시키기위한연마액의유동저항구조를갖는연마용패드에관한것이다. 본발명의구성은상부에위치한웨이퍼를연마하도록마련된폴리싱패드; 상기폴리싱패드상에형성되며, 상기폴리싱패드의상부를향해돌출형성된복수의도형유닛; 및복수의상기도형유닛으로이루어지는복수의패턴유닛을포함하며, 복수의상기패턴유닛은상기폴리싱패드상에동심원형태로배열된것을특징으로하는연마액의유동저항구조를갖는연마용패드를제공한다.
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公开(公告)号：KR1020110110506A
公开(公告)日：2011-10-07
申请号：KR1020100029863
申请日：2010-04-01
Abstract: 본 발명은 인발기에서 인발되는 소재가 통과하는 인발금형의 각도를 미세조절하는 인발기의 인발금형 각도조절장치에 관한 것으로, 인발금형의 원주방향을 분할하는 3개 지지점 중 일점은 고정장치에 의하여 금형홀더에 인발금형을 고정하고 나머지 2개 지지점은 외부나사와 내부나사를 구비한 이중피치나사로 구성되는 미세각도조절 이중볼트에 의하여 금형홀더와 인발금형간의 높낮이를 조절하여 고정장치에 의하여 고정된 인발금형의 한쪽을 들어올리거나 낮추어 인발금형에서 소재가 통과하는 인발공의 각도를 보정할 수 있게 한 것을 특징으로 한다.
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