-
公开(公告)号：KR102222851B1
公开(公告)日：2021-03-08
申请号：KR1020190063360A
申请日：2019-05-29
Applicant: 한국생산기술연구원
CPC classification number: B24B37/26 , B24B7/228 , B24D2203/00
Abstract: 본 발명은 그루브가 형성된 연마용 패드에 관한 것으로, 보다 상세하게는 균일한 연마 성능을 갖고, 연마액의 사용 효율을 높이기 위한 그루브가 형성된 연마용 패드에 관한 것이다. 본 발명의 구성은 상부에 위치한 웨이퍼를 연마하도록 마련된 폴리싱 패드; 상기 폴리싱 패드 상에 형성되며, 상기 폴리싱 패드의 상부를 향해 돌출 형성된 복수의 도형유닛; 복수의 상기 도형유닛으로 이루어지며, 상기 폴리싱 패드 상에 동심원 형태로 배열된 복수의 패턴유닛; 및 상기 패턴유닛에 형성되며, 상기 패턴유닛에 공급된 연마액을 상기 패턴유닛의 전면으로 이송하도록 홈 형태로 마련된 그루브유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 그루브가 형성된 연마용 패드를 제공한다.
-
公开(公告)号：WO2020242172A1
公开(公告)日：2020-12-03
申请号：PCT/KR2020/006781
申请日：2020-05-26
Applicant: 한국생산기술연구원
Abstract: 본 발명은 패턴구조를 갖는 화학기계적 연마용 패드에 관한 것으로, 보다 상세하게는 균일한 연마 성능을 갖도록 하기 위한 패턴구조를 갖는 화학기계적 연마용 패드에 관한 것이다. 본 발명의 구성은 상부에 위치한 웨이퍼를 연마하도록 마련된 폴리싱 패드; 및 상기 폴리싱 패드 상에 형성되며, 상기 폴리싱 패드의 상부를 향해 돌출 형성된 복수의 도형유닛을 포함하며, 상기 도형유닛은 목표로 하는 연마 특성에 대응되는 겉보기 접촉 면적 및 단위 면적당 둘레 길이를 갖도록 형성된 것을 특징으로 하는 패턴구조를 갖는 화학기계적 연마용 패드를 제공한다. 도 1
-
公开(公告)号：WO2014157805A1
公开(公告)日：2014-10-02
申请号：PCT/KR2013/010743
申请日：2013-11-25
Applicant: 한국생산기술연구원
CPC classification number: B23D57/0046 , B28D5/045 , B28D7/04
Abstract: 잉곳(I)을 스윙하면서 절단하는 와이어 쏘(1)를 개시한다. 이러한 와이어 쏘(1)는, 제1구동블록(100), 제2구동블록(110) 및 잉곳 홀더(120)를 구비한다. 제1구동블록(100)이 움직이면, 제1구동블록(100)의 움직이는 방향과 직각을 이루는 방향으로 제2구동블록(110)이 움직이고, 이와 동시에 잉곳 홀더(120)가 스윙한다. 그리고, 승강 블록(73)이 잉곳 홀더(120)를 잉곳 절단 방향(Z축 방향)으로 이송하며, 제1구동블록(100)이나 제2구동블록(1110)과 서로 독립적으로 움직인다. 이에 따라, 승강 블록(73)과 별도로 잉곳(I)을 스윙시킬 수 있을 뿐만 아니라 잉곳(I)이 좌우로 이동하는 것을 억제할 수 있으며, 제1구동블록(100) 하나만 제어하면 되기 때문에 제어가 간단해지고 구조가 단순해진다.
Abstract translation: 公开了一种用于在摆动时切割锭（I）的线锯（1）。 线锯（1）具有第一驱动块（100），第二驱动块（110）和锭保持器（120）。 如果第一驱动块（100）移动，则第二驱动块（110）沿与第一驱动块（100）的移动方向正交的方向移动，并且同时，锭架（120）摆动 。 此外，上下摆块（73）在锭切割方向（Z轴方向）上传送锭架120，并且独立于第一驱动块100或第二驱动块110移动 ）。 因此，不仅可以独立于上升和下降块（73）摆动锭（I），而且还可以防止锭（I）向左和向右移动，并且足以 仅控制一个第一驱动块（100），因此控制是直接的，结构不复杂。
-
公开(公告)号：WO2020242110A1
公开(公告)日：2020-12-03
申请号：PCT/KR2020/006523
申请日：2020-05-19
Applicant: 한국생산기술연구원
Abstract: 연마율이 향상된 연마 패드, 이를 포함하여 연마율이 향상된 연마 장치, 및 연마율이 향상된 연마 패드를 제조하는 방법이 제공된다. 상기 연마 패드는 지지층; 및 상기 지지층의 일면 상에 배치된 패턴층으로서, 상기 지지층 상에서 서로 이격된 복수의 돌출 패턴을 포함하고, 상기 지지층의 강성(rigidity) 보다 큰 강성을 갖는 패턴층을 포함한다.
-
公开(公告)号：WO2014077452A1
公开(公告)日：2014-05-22
申请号：PCT/KR2012/011116
申请日：2012-12-20
Applicant: 한국생산기술연구원
CPC classification number: B29B7/7657 , B29B7/7647 , B29B7/7663 , B29B7/7668 , B29B7/7684 , B29C44/3442
Abstract: 본 발명의 목적은 유동하는 복수의 원료를 혼합하여 배출하는 믹싱헤드에 있어서 그 혼합이 보다 효과적으로 양호하게 이루어질 수 있는 혼합성능이 개선된 믹싱헤드와 그것의 토출장치를 제공하는 것이다. 이에 따라 본 발명은 독립적으로 공급되는 복수의 원료를 혼합하여 배출하기 위한 믹싱헤드에 있어서, 원료의 1차혼합이 이루어지는 믹싱부재와 상기 믹싱부재의 믹싱챔버와 연통되어 원료가 토출유동로로 유입되는 토출부재를 포함하되, 상기 토출유동로의 일부분을 담당하는 관통유동로가 형성되고 관통유동로의 중심축선이 토출유동로의 중심축선과 일치된 상태에서부터 회전하여 토출유동로에 협류구간이 형성되도록 소정의 각도로 경사질 수 있는 회전체 및, 상기 회전체를 회전구동시키는 구동기를 포함한다.
Abstract translation: 本发明的目的是提供一种混合头，其将多个流动的原料混合以使其排出，并且具有增强的混合性能，以便更有效地混合多个流动的原料，以及用于 相同。 根据本发明的用于混合分开供给排出它们的多种原料的混合头包括：用于进行原料的第一次混合的混合部件; 排出构件，其与所述混合构件的混合室连通，使得所述原料被引入排出运动路径; 旋转构件具有作为排出运动路径的一部分的穿透运动路径，并且在穿透运动路径的中心轴线相对于排出运动路径的中心轴线的状态下旋转，使得 旋转构件可以以预定角度倾斜以在排出运动路径中形成接合部分; 以及用于驱动旋转构件以使旋转构件旋转的驱动器。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：WO2022014978A1
公开(公告)日：2022-01-20
申请号：PCT/KR2021/008851
申请日：2021-07-10
Applicant: 한국생산기술연구원
Abstract: 다공성을 갖는 돌출 패턴을 포함하여 연마율을 향상시킴과 동시에 제조 비용을 절감할 수 있는 연마 패드, 이를 포함하는 연마 장치 및 연마 패드의 제조 방법이 제공된다. 상기 연마 패드는 지지층; 및 상기 지지층 상에 직접 배치된 패턴층으로서, 다수의 공극을 갖는 돌출 패턴을 포함하는 패턴층을 포함하되, 상기 공극은 상기 돌출 패턴의 평면상 둘레 길이의 증가에 기여하고, 단위 면적당 상기 돌출 패턴이 형성하는 연마면의 둘레 길이는 1.0mm/mm2 내지 50.0mm/mm2 범위에 있다.
-
公开(公告)号：WO2018079938A1
公开(公告)日：2018-05-03
申请号：PCT/KR2016/015543
申请日：2016-12-30
Applicant: 한국생산기술연구원
Abstract: 본 발명은 가공물테이블의 기준면에 대하여 공구의 위치를 자동으로 세팅할 수 있는 공구위치 세팅장치 및 그것을 이용한 공구위치 세팅방법에 관한 것이다. 본 발명은 가공물테이블에 설치되어 접촉하는 물체의 변위를 측정하는 제1변위측정수단과, 공구가 설치된 공구설치부재와 결합되어 함께 이동하는 것으로서 물체의 변위를 측정하는 제2변위측정수단과, 상기 공구설치부재의 이동변위를 측정하는 제3변위측정수단과, 상기 기준면을 향해 공구설치부재를 이송시키는 제1이송기와, 상기 기준면과 평행한 방향으로 가공물테이블 또는 공구설치부재를 이송시키는 제2이송기, 및 상기 제1변위측정수단과 제2변위측정수단과 제3변위측정수단의 측정값을 획득하여 공구의 위치를 확인하는 제어기를 포함한다.
Abstract translation:
本发明涉及自动工具位置设定装置和使用它可以被设置为相对于工件台的基准表面上的工具的位置的工具位置设定方法。 第二位移测量装置，用于测量与设置有工具的工具安装构件一起移动的物体的位移，并测量物体的位移; 第二进给器，用于朝向参考平面供给工具安装构件;以及第二进给器，用于在平行于参考平面的方向上供给工作台或工具安装构件， 以及控制器，用于获取第一位移测量装置，第二位移测量装置和第三位移测量装置的测量值以确认工具的位置。
-
公开(公告)号：KR102128772B1
公开(公告)日：2020-07-01
申请号：KR1020180151182
申请日：2018-11-29
Applicant: 한국생산기술연구원
IPC: B24B53/017 , B24B37/04 , B24B37/34 , H01L21/306
-
-
公开(公告)号：KR102113067B1
公开(公告)日：2020-05-21
申请号：KR1020180151193
申请日：2018-11-29
Applicant: 한국생산기술연구원
IPC: B24B49/00 , B24B37/005 , H01L21/304 , H01L21/306
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
37
records
(took 0.019 seconds)
