Abstract:
본 발명은 다성분 단일체의 스퍼터링 타겟 및 그 제조방법, 이를 이용한 다성분 합금계 나노구조 박막 제조방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 다성분 단일체의 스퍼터링 타겟은, 질소와 반응하여 질화물 형성이 가능한 질화물형성 금속원소 및 상기 질화물형성 금속원소에 대한 고용도가 없거나 낮고 질소와 반응하지 않거나 반응성이 낮은 비질화물형성 금속원소의 비정질 또는 부분결정화된 비정질형성 합금계를 포함하는 것으로, 상기 질화물형성 금속원소는 Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Cr, Mo, W, Al, Si로부터 선택된 적어도 하나의 원소를 포함하고, 상기 비질화물형성 금속원소는 Mg, Ca, Sc, Ni, Cu, Y, Ag, In, Sn, La, Au, Pb로부터 선택된 적어도 하나의 원소를 포함하여 구성될 수 있다.
Abstract:
본 발명은 종래의 박막에 비해 마찰계수가 월등히 낮은 값을 나타내면서도 높은 경도와 밀착성을 가지는 저마찰 특성을 나타내는 나노구조 복합박막 및 이의 제조방법, 이러한 나노구조 복합박막이 표면에 형성된 저마찰 특성 부재 및 이의 제조방법의 제공을 목적으로 한다. 본 발명의 일 관점에 의하면, 질화물 구성원소로서 Zr 및 Al을 포함하는 질화물상과 하나 이상의 금속상이 혼합된 복합구조를 가지고 결정립의 크기가 5 내지 30nm의 범위에 있는 저마찰 특성을 가지는 나노구조 복합박막이 제공된다. 이때 상기 질화물상은 Zr 질화물의 결정구조를 가지며, 상기 금속상은 Cu 및 Ni 중에서 선택되는 어느 하나 이상을 포함할 수 있다.
Abstract:
본 발명은 비정질 형성능을 가지면서도 열적 안정성이 비정질에 비해 현저하게 우수한 비정질 형성능을 가지는 결정질 합금 및 그 제조방법의 제공을 목적으로 한다. 또한 본 발명은 상기 결정질 합금을 이용하여 제조한 스퍼터링용 합금타겟 및 그 제조방법의 제공을 또 다른 목적으로 한다. 본 발명의 일 관점에 의하면, 비정질 형성능을 가지는 3원소 이상으로 이루어진 합금으로서 상기 합금의 결정립 평균크기는 0.1 내지 5㎛ 범위에 있고, 상기 합금은 Al이 5 내지 20원자%, Cu 및 Ni 중에서 선택된 어느 하나 이상이 15 내지 40원자%, 잔부가 Zr으로 이루어진, 비정질 형성능을 가지는 결정질 합금이 제공된다.
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본 발명은 헤드부의 중심으로부터 상이한 반경을 가지는 버튼 배열을 포함하는 드릴 비트에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 버튼이 드릴 비트 헤드부의 중심으로부터 상이한 반경을 가지도록 배열됨으로써 상이한 반지름을 가지는 암반지점을 타격하여 천공 작업의 효율성을 향상시키는 발명에 관한 것이다.
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본 발명은 스퍼터링 장치 내부로 질소가스(N 2 ) 또는 질소원소(N)를 함유하는 반응가스를 투입하면서 합금타겟을 스퍼터링하여 질소를 포함하는 나노구조막을 형성하는 단계;를 포함하되, 상기 합금타겟은 Zr이 58원자% 내지 80원자%; Cu가 4원자% 내지 26원자%; Fe, Ni 및 Co 중에서 선택된 어느 하나 이상이 4원자% 내지 26원자%;로 구성된 결정질 합금으로 이루어진, 질소를 포함하는 나노구조막의 제조방법을 제공한다.
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본 발명은 비정질 형성능을 가지면서도 열적 안정성이 비정질에 비해 현저하게 우수한 결정질 합금의 제조방법 및 이를 위한 비정질 합금의 열처리 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 비정질 형성능을 가지는 금속원소를 포함하는 비정질 합금 또는 나노결정질 합금을 상기 비정질 합금 또는 나노결정질 합금의 유리천이온도(Tg) 이상 결정화 개시온도(Tx) 이하의 온도범위에서 소정의 시간 동안 유지하면서 가압함으로써 제 1 차 수축하는 단계; 및 상기 복수개의 비정질 합금 또는 나노결정질 합금을 상기 비정질 합금 또는 나노결정질 합금의 용융온도(Tm)의 0.7 배 내지 0.9 배의 온도범위에서 소정의 시간 동안 유지하면서 가압함으로써 제 2 차 수축하는 단계;를 포함하는, 결정질 합금의 제조방법을 제공한다.
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본 발명은 비정질 형성능을 가지면서도 열적 안정성이 비정질에 비해 현저하게 우수한 비정질 형성능을 가지는 결정질 합금 및 그 제조방법의 제공을 목적으로 한다. 또한 본 발명은 상기 결정질 합금을 이용하여 제조한 스퍼터링용 합금타겟 및 그 제조방법의 제공을 또 다른 목적으로 한다. 본 발명의 일 관점에 의하면, 비정질 형성능을 가지는 3원소 이상으로 이루어진 합금으로서,상기 합금의 결정립 평균크기는 0.1㎛ 내지 5㎛ 범위에 있고, 상기 합금은 Zr이 67원자% 내지 78원자%, Al 및 Co 중에서 선택된 어느 하나 이상이 4원자% 내지 13원자%, Cu 및 Ni 중에서 선택된 어느 하나 이상이 15원자% 내지 24원자%로 이루어진, 비정질 형성능을 가지는 결정질 합금이 제공된다.
Abstract:
본 발명에 따른 비회전식 섬유공급 어셈블리는, 유한 길이 섬유의 자동매듭 결속기에 제1원사를 공급하는 섬유공급 어셈블리에 있어서, 예비원사를 권취한 상태로 거치하는 권취유닛, 상기 권취유닛으로부터 인출되는 예비원사의 소정 지점을 잡아 선형 궤도를 따라 인출시키는 섬유전달유닛, 상기 섬유전달유닛에 의해 인출된 예비원사의 일단부를 그립하는 제1좌측 그리퍼를 포함하는 제1좌측 섬유그립유닛, 상기 섬유전달유닛에 의해 인출된 예비원사의 타단부를 그립하는 제1우측 그리퍼를 포함하는 제1우측 섬유그립유닛, 상기 섬유전달유닛의 왕복에 의해 소정 길이로 인출된 예비원사의 타단부 외측을 커팅하는 커팅유닛 및 상기 제1좌측 섬유그립유닛 및 상기 제1우측 섬유그립유닛이 상기 섬유전달유닛의 n회 왕복에 따라 n개의 예비원사를 그립한 상태에서, 상기 제1좌측 섬유그립유닛 및 상기 제1우측 섬유그립유닛을 전방 측으로 회전시켜 섬유 결속장치에 상기 n개의 예비원사를 제1원사로서 전달하도록 하는 회전유닛을 포함한다.
Abstract:
본 발명은 피스톤 링을 물리증착 장치 내부에 배치한 후, 불활성가스를 투입하고, 질소가스(N 2 ) 또는 질소원소(N)를 함유하는 반응가스를 투입하여, Zr-Cu-Si계 합금타겟을 물리증착함으로써 질소를 함유하는 나노 복합 코팅막을 상기 피스톤 링의 표면에 형성하는 단계;를 포함하되, 상기 합금타겟의 조성은 Zr이 82원자% 내지 90원자%; Cu가 4원자% 내지 14원자%; 및 Si이 4원자% 내지 8원자%;로 이루어진 것을 특징으로 하는, 피스톤 링의 제조방법을 제공한다.