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公开(公告)号：KR101626391B1
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：KR1020150044255
申请日：2015-03-30
Applicant: 한국생산기술연구원
IPC: H01L21/66 , H01L21/677
Abstract: 본발명은진공열처리공정중 시험편을장입하여한 번의진공열처리작업으로복수개의진행열처리결과를얻을수 있어공정비용절감과생산성을향상시킬수 있는챔버의시험편장입장치및 기판처리장치에관한것으로서, 가공환경을형성할수 있는챔버의일부분에설치되고, 일측에적어도하나의시험편을임시로수용할수 있는시험편수용부가형성되며, 타측에상기시험편의토출구가형성되는몸체; 및상기몸체의토출구를통해서상기시험편이토출되어가공환경이형성된상기챔버의내부로장입될수 있도록상기시험편수용부에수용된적어도하나의시험편을선택적으로이송시키는시험편이송장치;를포함할수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种插入试验片的装置和基板处理装置，其能够通过一次真空热处理工作获得多次进行的热处理结果，从而提高生产率并降低工艺成本， 在真空热处理过程中。 该装置包括：安装在可形成处理环境的室的一部分中的主体，并且具有能够临时存储形成在一侧的至少一个测试片和测试的排出孔的测试片存储部件 一块，形成在另一边; 以及试片传送装置，选择性地传送存储在试片存储部中的试片，使得试片通过本体孔插入到形成有加工环境的室内。
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公开(公告)号：KR101594139B1
公开(公告)日：2016-02-17
申请号：KR1020140042757
申请日：2014-04-10
Applicant: 한국생산기술연구원
Inventor： 안경준
Abstract: 본발명은단일소재의화합물층및 확산층이목표두께에만족하도록동시에표면열처리하도록한 표면열처리방법및 그제어장치에관한것이다. 이를위해, 단일소재에화합물층및 확산층이적층형성되도록표면열처리하는방법으로서, 화합물층및 확산층의목표두께를설정하는설정단계; 상기단일소재에열에너지를가하는열처리조건에서, 상기화합물층및 확산층의목표두께에도달하기위한상기화합물층및 확산층의목표열에너지수치를도출하는도출단계; 및상기단일소재에열에너지를가하여열처리시, 상기화합물층및 확산층에열에너지가가해져서측정되는실시간열에너지수치와상기목표열에너지수치를비교하면서열처리를실시하는열처리단계;를포함하는것을특징으로할 수있다. 이같은구성에따라, 단일소재에화합물층및 확산층이형성되는표면열처리시, 각층의반응에대한상대적열에너지수치의비율을설정하고, 이를만족시킬수 있는열사이클모델을설정하여각 층에열에너지를동시에가하여열처리함으로써, 각층의목표두께를동시에만족시키면서제품을쉽고간편하게열처리하는효과가있다.
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公开(公告)号：KR101438787B1
公开(公告)日：2014-09-05
申请号：KR1020120097512
申请日：2012-09-04
Applicant: 한국생산기술연구원
Abstract: 본 발명은 중주파를 이용하여 금형표면에 직접 발열을 일으킴과 동시에 램으로 가해지는 압력을 제품에 전달하여 다이아몬드공구를 제조하는 장치 및 방법에 관한 것이다.
이를 위해, 다이아몬드공구를 가압 소결하기 위한 예비성형체가 내장되는 금형모듈과; 상기 금형모듈의 외측을 감싸 내부를 밀폐하도록 마련되며, 상기 예비성형체의 가압 소결에 따른 금형모듈의 수축시, 내부가 밀폐상태를 유지하도록 구성된 밀폐수단과; 상기 금형모듈의 양 단부에 마련되어, 상기 금형모듈의 가압에 의해 예비성형체를 가압하는 램; 및 상기 밀폐수단의 외측에 씌워지며, 일정 주파수의 전원이 가해져 금형모듈에 열을 가함으로써, 예비성형체에 소결에 필요한 열을 가하는 유도코일;을 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
이같은 구성에 따라, 커버에 의해 금형모듈의 밀폐성을 확보하면서, 중주파를 이용하여 고온으로 급속 발열이 가능함으로써, 금속분말의 산화 및 다이아몬드 입자의 탄화를 방지할 수 있는 효과가 있고, 예비성형체의 가압과 동시에 고온 소결이 가능함으로써, 초경합금 분말이 요구되는 세그먼트형 쏘블레이드 제품를 제조할 수 있는 효과도 있다.-
公开(公告)号：KR101249539B1
公开(公告)日：2013-04-01
申请号：KR1020100096952
申请日：2010-10-05
Applicant: 한국생산기술연구원
Inventor： 안경준
Abstract: 본 발명은 노 내의 가열 온도를 에너지값으로 환산하여 모니터링시켜 제품의 질화깊이를 실시간으로 모니터링할 수 있도록 한 플라즈마질화 공정의 질화깊이 실시간 모니터링방법 및 장치에 관한 것이다.
이를 위해, 시편의 질화활성화에너지를 컨트롤러에 입력하는 제1단계와; 시편의 목표 질화깊이를 컨트롤러에 입력하는 제2단계와; 노 내의 온도조건과 질화활성화에너지를 이용하여 누적에너지수치를 구하되, 누적에너지수치 변수에 따른 시편의 질화깊이 실험값을 구할 수 있도록 모델링실험을 실시하는 제3단계와; 모델링실험의 실험값들을 통해 다수의 계수들을 도출하여 회귀식을 컨트롤러에 입력하는 제4단계와; 누적에너지수치의 변화에 따라 상기 회귀식으로 질화깊이를 연산하여 컨트롤러에 모니터링시키는 제5단계와; 실시간 모니터링되는 질화깊이에 따라 목표 질화깊이와 일치여부를 판단하여 시편의 냉각 여부를 결정하는 제6단계로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
상기한 구성에 따라, 누적에너지수치를 이용하여 질화깊이를 컨트롤러에 실시간 모니터링시키고 ,이를 목표 질화깊이와 비교함으로써, 제품의 실제 질화깊이와 목표치 사이에 편차를 최대한 줄이게 되어, 목표 질화깊이가 일정하게 확보된 제품을 획득할 수 있는 효과가 있다.-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020120129714A
公开(公告)日：2012-11-28
申请号：KR1020110048184
申请日：2011-05-20
Applicant: 한국생산기술연구원
IPC: G01N3/22
CPC classification number: G01N3/22 , G01N2203/0021 , G01N2203/0037
Abstract: PURPOSE: A torsion testing device for a smart card is provided to fit a smart card by forming a groove in a front end and to repeatedly rotate jigs of both sides on a constant cycle for long time, thereby obtaining an exclusive torsion testing device for a smart card. CONSTITUTION: A torsion testing device for a smart card comprises a shaft(12), a lift rod(16), a jig(20), and a tilting link(24). The shaft is axis-joined to a motor(11), thereby being installed in a first fixing plate(13) to be rotated. The lift rod is eccentricity-joined to a rotating unit joined to both sides of the shaft, thereby vertically reciprocating. The jig forms a groove(22) in which a smart card(c) can be fitted, thereby being installed in a second fixing plate(23) to be rotated. The tilting link is joined to end parts of the jig and lift rod to be rotated, thereby rotating the jig.
Abstract translation: 目的：提供一种用于智能卡的扭力测试装置，用于通过在前端形成凹槽并且以恒定的周期重复地旋转两侧的夹具长时间来适配智能卡，从而获得专用的扭转测试装置 智能卡。 构成：用于智能卡的扭转测试装置包括轴（12），提升杆（16），夹具（20）和倾斜连杆（24）。 轴与马达（11）轴接合，从而安装在第一固定板（13）中以旋转。 提升杆偏心接合到连接到轴的两侧的旋转单元，从而垂直往复运动。 夹具形成有可以安装智能卡（c）的凹槽（22），从而安装在第二固定板（23）中以旋转。 倾斜连杆被连接到夹具的提升杆的端部以进行旋转，从而旋转夹具。
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公开(公告)号：KR101041627B1
公开(公告)日：2011-06-15
申请号：KR1020090011619
申请日：2009-02-12
Applicant: 한국생산기술연구원
IPC: H01L21/324
Abstract: 본 발명은 노내의 가열 온도에 대한 시편의 에너지수치를 모니터링시켜 결정립 크기를 모니터링함으로써, 과도한 결정립 성장을 방지할 수 있도록 한 어닐링 공정에서의 결정성장 모니터링 방법 및 장치에 관한 것이다.
이를 위해, 노 내에 시편을 장입하고, 이를 가열 및 냉각하는 어닐링 열처리 공정을 모니터링하는 것에 있어서, 열처리하고자 하는 시편의 결정성장 활성화에너지를 콘트롤러에 입력하고, 수학식1에 의해 결정립 크기를 예측할 수 있는 누적에너지수치를 계산하여, 이를 콘트롤러에 모니터링시키며, 콘트롤러에 모니터링되는 누적에너지수치와 동기화되어 시편의 결정립 크기를 실시간 모니터링시키는 것을 특징으로 한다.
상기한 구성에 따라, 누적에너지수치에 대응하여 성장하는 결정립 크기를 콘트롤러에 실시간 모니터링시키므로, 결정립 성장이 과도하게 성장되는 것을 억제하여 원하는 미세 조직의 동도금 제품을 획득할 수 있는 효과가 있고, 제품의 품질을 제어할 수 있을 뿐만 아니라 공정 중에 불량품을 예측할 수 있어 불량품의 생산을 방지할 수도 있는 효과도 있다.
PCB, 어닐링, 결정성장, 콘트롤러, 결정성장 활성화에너지.-
公开(公告)号：KR1020110062415A
公开(公告)日：2011-06-10
申请号：KR1020090119131
申请日：2009-12-03
Applicant: 한국생산기술연구원
Inventor： 안경준
CPC classification number: B22F3/003 , B22F3/03 , B22F2203/11 , F27D21/0014 , F27D2019/0006 , F27D2019/0065 , F27D2099/0096
Abstract: PURPOSE: A method and an apparatus for calibrating the temperature of a sintering furnace are provided to calibrate the temperature of a sintering furnace by sensing a melting point. CONSTITUTION: A method for calibrating the temperature of a sintering furnace is as follows. A melting sample(190) with a melting point is charged into a die(140). The inside a sintering furnace(100) is heated, and the melting sample is pressed by a punch(160) of a pressing ram(170). The melting point of the melting sample is estimated by measuring the temperature of the melting sample or the movement displacement of the pressing ram.
Abstract translation: 目的：提供一种用于校准烧结炉温度的方法和装置，以通过感测熔点来校准烧结炉的温度。 构成：烧结炉的温度校准方法如下。 将具有熔点的熔融样品（190）装入模具（140）中。 烧结炉（100）内部被加热，并且熔融样品被挤压压头（170）的冲头（160）挤压。 通过测量熔化样品的温度或挤压压头的移动位移来估计熔化样品的熔点。
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公开(公告)号：KR101034403B1
公开(公告)日：2011-05-16
申请号：KR1020090011622
申请日：2009-02-12
Applicant: 한국생산기술연구원 , 동신다이아몬드공업 주식회사
Abstract: 본 발명은 프로파일러 형상을 성형할 수 있는 금형을 제조하여 프로파일러 제품을 간편하게 성형하고, 또한 중주파 가열을 통해 제품 소결 시간을 단축시키며, 제품의 대량 생산이 가능하도록 한 중주파 가열을 통해 프로파일러를 제조하는 소결방법 및 장치에 관한 것이다.
이를 위해, 상부램과 하부램을 가압함과 동시에 내부를 가열하여 제품을 제조하는 것에 있어서, 소결로 내부에 중주파 코일을 설치하고, 금형-제품모듈을 성형하며, 상부램과 하부램 사이에 다수의 금형-제품모듈을 적층 구비하고, 상기 상부램과 하부램을 가압하는 동시에 상기 중주파 코일에 중주파 전류를 인가하여 금형-제품모듈을 가열하는 것을 특징으로 한다.
상기한 구성에 따라, 금형-제품모듈 자체를 프로파일러 형상을 제조할 수 있는 형상으로 성형하여, 추가적인 기계적 가공 없이도 프로파일러 제품을 간편하게 제조할 수 있는 효과가 있고, 또한 중주파 가열을 통해 제품의 고온 가열이 가능하여 소결 시간을 단축시키고, 제품의 대량 생산이 가능한 효과도 있다.
중주파 가열, 소결, 다이아몬드공구, 프로파일러, 샹크, 세그먼트.-
10.发明公开고분자 전해질 연료전지용 촉매의 복합 탄소 지지체와, 그 고분자 전해질 연료전지용 촉매와, 촉매를 포함하는 전극과, 전극을 포함하는 막-전극 접합체 및 막-전극 접합체를 포함하는 고분자 전해질 연료전지 无效用于聚合物电解质膜燃料电池的催化剂的混合碳载体和聚合物电解质膜燃料电池的催化剂和包含催化剂的电极和包含电极的膜电极组件和包含膜电极组件的聚合物电解质膜燃料电池
公开(公告)号：KR1020100094892A
公开(公告)日：2010-08-27
申请号：KR1020090014079
申请日：2009-02-19
Applicant: 한국생산기술연구원
Abstract: PURPOSE: A composite carbon support of a catalyst for a polymer electrolyte fuel cell is provided to improve durability of carbon by forming carbon of a graphite structure on the surface of a conventional carbon support, to maintain a high surface area, and to secure dispersibility of platinum. CONSTITUTION: A composite carbon support of a catalyst for a polymer electrolyte fuel cell includes carbon blacks having high surface. Surface carbon layers of a graphite structure are formed on the surface of the carbon blacks. A lattice distance of the surface carbon layers is less than 3.44 angstroms. The surface carbon layers are formed using a chemical vapor deposition method. A precursor of the surface carbon layer is selected from acetonitrile, styrene, acenaphthene, or acenaphthene.
Abstract translation: 目的：提供一种用于聚合物电解质燃料电池的催化剂的复合碳载体，以通过在常规碳载体的表面上形成石墨结构的碳，以保持高的表面积，并确保分散性，从而提高碳的耐久性 铂。 构成：用于聚合物电解质燃料电池的催化剂的复合碳载体包括具有高表面的炭黑。 石墨结构的表面碳层形成在炭黑的表面上。 表面碳层的晶格距离小于3.44埃。 使用化学气相沉积法形成表面碳层。 表面碳层的前体选自乙腈，苯乙烯，苊或苊。
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