公开(公告)号：KR101768168B1

公开(公告)日：2017-08-17

申请号：KR1020150076098

申请日：2015-05-29

Applicant: 한국세라믹기술원

Inventor： 조정호 ,  정영훈 ,  윤지선 ,  전창준 ,  레득탕

IPC: H01C17/08 ,  H01C17/065 ,  H01C7/00

Abstract: 본발명은유기재료로이루어진유연성기판을플레이팅(Plating) 챔버내에제공하는과정, 금속을포함하는염화물을탈이온수에용해하여반응물질용액을준비하는과정, 상기금속을산화시키는산화용액을준비하는과정, 상기반응물질용액과상기산화용액을상기플레이팅(Plating) 챔버내로공급하는과정, 및상기유연성기판상에상기금속의산화물박막을플레이팅하는과정을포함하여, 산화물박막의증착특성및 전기적특성을향상시킬수 있다.

公开(公告)号：KR1020160140029A

公开(公告)日：2016-12-07

申请号：KR1020150076098

申请日：2015-05-29

Applicant: 한국세라믹기술원

Inventor： 조정호 ,  정영훈 ,  윤지선 ,  전창준 ,  레득탕

IPC: H01C17/08 ,  H01C17/065 ,  H01C7/00

Abstract: 본발명은유기재료로이루어진유연성기판을플레이팅(Plating) 챔버내에제공하는과정, 금속을포함하는염화물을탈이온수에용해하여반응물질용액을준비하는과정, 상기금속을산화시키는산화용액을준비하는과정, 상기반응물질용액과상기산화용액을상기플레이팅(Plating) 챔버내로공급하는과정, 및상기유연성기판상에상기금속의산화물박막을플레이팅하는과정을포함하여, 산화물박막의증착특성및 전기적특성을향상시킬수 있다.