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1.发明申请실리콘계 나노입자 박막 증착방법, 실리콘계 나노입자 박막 및 이를 위한 실리콘계 나노입자 박막 증착장치 审中-公开基于硅的纳米薄膜薄膜，基于硅的纳米薄膜的蒸气沉积方法和基于硅的纳米薄膜薄膜的蒸气沉积装置
公开(公告)号：WO2012036346A1
公开(公告)日：2012-03-22
申请号：PCT/KR2010/008208
申请日：2010-11-19
IPC: H01L31/18 , H01L31/042 , H01L31/0216 , H01L21/20
CPC classification number: H01L31/03921 , H01L21/02532 , H01L21/02601 , H01L31/03682 , H01L31/1804 , Y02E10/546 , Y02E10/547 , Y02P70/521
Abstract: 실리콘계 나노입자 박막 증착방법, 실리콘계 나노입자 박막 및 이를 위한 실리콘계 나노입자 박막 증착장치가 제공된다. 본 발명에 따른 실리콘계 나노입자 박막 증착방법은 실리콘계 나노입자를 합성하는 합성단계; 및 상기 실리콘계 나노입자를 기판에 제 1 증착시키는 증착단계를 포함하는 것을 특징으로 하며, 본 발명에 따른 실리콘계 나노입자 증착 방법 및 장치는, 합성된 실리콘계 나노입자를 또 다른 공정에서 전처리하지 않고, 합성과 동시에 기판에 증착시키므로, 나노입자 오염에 따른 전지효율 저하의 문제를 방지할 수 있다. 또한, 단일 시스템에서 합성과 증착이 진행되므로 경제성이 우수하며, 더 나아가, 나노입자의 속도 및 기판 높이를 조절함으로써 대면적 기판에서 원하는 형태의 나노입자 박막의 증착이 가능하다.
Abstract translation: 提供了硅基纳米颗粒薄膜，硅基纳米颗粒薄膜和硅基纳米颗粒薄膜的气相沉积装置的气相沉积方法。 根据本发明，硅基纳米颗粒薄膜的气相沉积方法包括：制备硅基纳米颗粒的制备步骤; 以及首先将硅基纳米颗粒气相沉积在基底上的气相沉积步骤。 根据本发明，硅基纳米颗粒薄膜的气相沉积方法和装置制备硅基纳米颗粒，同时将制备的硅基纳米颗粒气相沉积在基底上，而不用在另一方法中预处理制备的硅基纳米颗粒， 因此可以防止由于纳米颗粒的污染引起的电池效率的劣化。 另外，由于制备和气相沉积发生在单个系统中，所以经济效率极好。 此外，通过调整纳米颗粒的速度和基板的高度，可以在大面积的基板上将所需形状的纳米颗粒薄膜蒸镀。
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公开(公告)号：KR1020140026714A
公开(公告)日：2014-03-06
申请号：KR1020120092119
申请日：2012-08-23
Applicant: 한국에너지기술연구원
IPC: H01L51/48
CPC classification number: Y02E10/549 , H01L51/42
Abstract: The present invention provides a device for coating a substrate using a rotator comprising a rotator (100) which contains a substrate (B, B1) in the internal peripheral surface to be rotated; and a solution spray means which is arranged in the rotator (100) to spray a coating solution (S) toward the substrate when the rotator (100) is rotated, wherein the solution (S) is uniformly coated on the surface of the substrate by gravity and centrifugal force. With the above constitutions, the present invention has the advantages of coating the solution on the surface of the substrate in a uniform thickness using the rotation centrifugal force and the gravity of the rotator and variably adjusting the rotation speed of the rotator according to the density and viscosity of the solution (S). Furthermore, due to the gravity and the centrifugal force which presses the solution to be uniformly spread, the present invention may be also applied to the substrate having textures. [Reference numerals] (30) Driving source
Abstract translation: 本发明提供一种用于使用旋转体涂覆基板的装置，该转子包括在要旋转的内周面中包含基板（B，B1）的旋转体（100） 以及溶液喷射装置，其设置在所述旋转体（100）中，以在所述旋转体（100）旋转时向所述基板喷射所述涂布溶液（S），其中所述溶液（S）被均匀地涂覆在所述基板的表面上 重力和离心力。 利用上述结构，本发明的优点是利用旋转离心力和旋转体的重力以均匀的厚度将溶液涂覆在基板的表面上，并根据密度可变地调节旋转体的转速， 溶液（S）的粘度。 此外，由于重力和离心力使溶液均匀地扩散，本发明也可以应用于具有纹理的基底。 （附图标记）（30）驱动源
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3.发明公开
公开(公告)号：KR1020140007093A
公开(公告)日：2014-01-17
申请号：KR1020120072040
申请日：2012-07-03
Applicant: 한국에너지기술연구원
IPC: H01L31/072 , H01L31/042 , H01L31/18
CPC classification number: Y02E10/50 , Y02P70/521 , H01L31/072 , H01L31/042 , H01L31/18
Abstract: The present invention is to provide a method for manufacturing a heterojunction solar cell. The method for manufacturing a heterojunction solar cell includes a step for spraying a first nanoink layer including intrinsic silicon nanoparticles on both surfaces of a substrate; a step for laminating an intrinsic silicon layer on both surfaces of the substrate by performing a thermal process on the firs nanoink layer; a step for laminating a first type silicon layer on one layer among the intrinsic silicon layers laminated on both surfaces of the substrate; and a step for laminating a second type silicon layer on another layer among the intrinsic silicon layers both surfaces of the substrate. [Reference numerals] (AA) Step for spraying a first nanoink layer ncluding intrinsic silicon nanoparticles on both surfaces of a substrate; (BB) Step for laminating an intrinsic silicon layer on both surfaces of the substrate by performing a thermal process on the first nanoink layer; (CC) Step for laminating a first type silicon layer on one layer among the intrinsic silicon layers laminated on both surfaces of the substrate; (DD) Step for laminating a second type silicon layer on another layer among the intrinsic silicon layers both surfaces of the substrate
Abstract translation: 本发明提供一种异质结太阳能电池的制造方法。 异质结太阳能电池的制造方法包括：在基板的两面上喷涂包含本征硅纳米粒子的第一纳米层; 通过对第一纳米金属层进行热处理来在基板的两个表面上层压本征硅层的步骤; 在层叠在基板的两面的本征硅层之间的一层层叠第一类型的硅层的工序; 以及在基板的本征硅层的两个表面之间的另一层上层压第二类型的硅层的步骤。 （附图标记）（AA）在衬底的两个表面上喷射包括本征硅纳米颗粒的第一纳米层的步骤; （BB）通过在第一纳米金属层上进行热处理来在基板的两个表面上层压本征硅层的步骤; （CC）在层叠在基板的两面的本征硅层之间的一层层叠第一类型硅层的工序; （DD）在衬底的本征硅层的两个表面之间的另一层上层叠第二类型硅层的步骤
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公开(公告)号：KR1020120028051A
公开(公告)日：2012-03-22
申请号：KR1020100090012
申请日：2010-09-14
Applicant: 한국에너지기술연구원
IPC: H01L31/0445 , H01L31/0216 , H01L21/20
CPC classification number: H01L31/03921 , H01L21/02532 , H01L21/02601 , H01L31/03682 , H01L31/1804 , Y02E10/546 , Y02E10/547 , Y02P70/521
Abstract: PURPOSE: A method for depositing a silicon-series nano particle thin film, a silicon-series nano particle thin film, and a device for depositing a nano particle thin film are provided to combine and deposit silicon-series nano particles in one system, thereby preventing contamination of nano particles from the outside. CONSTITUTION: Silicon-series nano particles are combined. The combined silicon-series nano particles are transferred by pressure. The silicon-series nano particles are deposited by a reaction gas. The inputted reaction gas is dissolved so that a silicon-series thin film is deposited on a substrate.
Abstract translation: 目的：提供一种用于沉积硅系纳米颗粒薄膜，硅系纳米颗粒薄膜和沉积纳米颗粒薄膜的装置的方法，在一个系统中组合并沉积硅系纳米颗粒，从而 防止从外部污染纳米颗粒。 构成：将硅系纳米颗粒组合。 组合的硅系纳米颗粒通过压力转移。 硅系纳米颗粒通过反应气体沉积。 溶解所输入的反应气体，使得在基板上沉积硅系薄膜。
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公开(公告)号：KR101390241B1
公开(公告)日：2014-04-30
申请号：KR1020120092118
申请日：2012-08-23
Applicant: 한국에너지기술연구원
IPC: H01L51/48
CPC classification number: Y02E10/549
Abstract: 본 발명은 기판에 분사된 용액에 회전 원심력과 중력을 부여하여 코팅시키도록 함과 아울러, 용액의 밀도에 따라 회전체의 회전속도를 가변 조절하여 용액을 기판의 표면에 골고루 코팅시키기 위한 기판의 코팅방법 및 장치에 관한 것이다.
본 발명의 코팅장치는, 회전축을 중심으로 회전 운동되는 회전체와, 상기 회전체의 상면에 배치되고 상부가 회전체의 바닥으로부터 이격되게 배치되는 고정대와, 고정대의 상부에 스윙 운동 가능하도록 연결되고 상측에 기판이 안착되는 지지대로 구성된다.-
Patent Agency Ranking6.发明授权
公开(公告)号：KR101199221B1
公开(公告)日：2012-11-07
申请号：KR1020100090012
申请日：2010-09-14
Applicant: 한국에너지기술연구원
IPC: H01L31/0445 , H01L31/0216 , H01L21/20
CPC classification number: H01L31/03921 , H01L21/02532 , H01L21/02601 , H01L31/03682 , H01L31/1804 , Y02E10/546 , Y02E10/547 , Y02P70/521
Abstract: 실리콘계 나노입자 박막 증착방법, 실리콘계 나노입자 박막 및 이를 위한 실리콘계 나노입자 박막 증착장치가 제공된다.
본 발명에 따른 실리콘계 나노입자 박막 증착방법은 실리콘계 나노입자를 합성하는 합성단계; 및 상기 실리콘계 나노입자를 기판에 제 1 증착시키는 증착단계를 포함하는 것을 특징으로 하며, 본 발명에 따른 실리콘계 나노입자 증착 방법 및 장치는, 합성된 실리콘계 나노입자를 또 다른 공정에서 전처리하지 않고, 합성과 동시에 기판에 증착시키므로, 나노입자 오염에 따른 전지효율 저하의 문제를 방지할 수 있다. 또한, 단일 시스템에서 합성과 증착이 진행되므로 경제성이 우수하며, 더 나아가, 나노입자의 속도 및 기판 높이를 조절함으로써 대면적 기판에서 원하는 형태의 나노입자 박막의 증착이 가능하다.-
7.发明公开
公开(公告)号：KR1020150139123A
公开(公告)日：2015-12-11
申请号：KR1020140067057
申请日：2014-06-02
Applicant: 울산과학기술원 산학협력단 , 한국에너지기술연구원
CPC classification number: B82B3/0095
Abstract: 본발명은 Ge 나노입자의크기조절방법, 크기조절된 Ge 나노입자의제조방법및 이를통해제조된 Ge 나노입자에관한것으로, 더상세하게는 Ge 나노입자에산화제를처리하여 Ge 나노입자표면에산화물층을형성하고, 상기형성된산화물층을제거하는과정을포함하는 Ge 나노입자의크기조절방법, 상기크기조절된 Ge 나노입자의제조방법및 상기제조방법으로제조된 Ge 나노입자에관한것이다. 본발명에따르면, 구성재가쉽게이용가능하고, 사용되는시약및 공정이간단하며, 고수율로크기가조절이된 Ge 나노입자를얻을수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及Ge纳米颗粒的尺寸控制方法，尺寸控制的Ge纳米颗粒的制造方法和通过其制造的Ge纳米颗粒，更具体地，涉及Ge纳米颗粒的尺寸控制方法，其包括以下步骤 ：通过用氧化剂处理Ge纳米颗粒在Ge纳米颗粒的表面上形成氧化物层; 并除去形成的氧化物层，制造尺寸控制的Ge纳米颗粒的制造方法，以及通过该制造方法制造的Ge纳米颗粒。 根据本发明，可以使用简单的试剂和使用的方法以及容易获得的组分来获得具有高产率的尺寸控制的Ge纳米颗粒。
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公开(公告)号：KR101412948B1
公开(公告)日：2014-06-26
申请号：KR1020120092119
申请日：2012-08-23
Applicant: 한국에너지기술연구원
IPC: H01L51/48
CPC classification number: Y02E10/549
Abstract: 본 발명은 본 발명은 내주면에 기판(B,B1)을 수용하여 회전하는 회전체(100); 및 상기 회전체(100)의 내부에 배치되고 상기 회전체(100)의 회전시 상기 기판을 향해서 코팅용 용액(S)을 분사하는 용액 분사수단;을 포함하고, 상기 용액(S)은 중력과 원심력에 의해 상기 기판의 표면에 고르게 코팅되는 것을 특징으로 하는 회전체를 이용한 기판의 코팅장치를 제공한다.
본 발명은 상기 구성에 의해서, 회전체의 회전 원심력과 중력을 이용하여 기판의 표면에 용액을 균일한 두께로 코팅할 수 있고, 용액(S)의 밀도 및 점성에 따라 회전체의 회전 속도를 가변 조절할 수 있는 유리한 이점을 갖고, 또한 중력과 원심력이 용액을 눌러 고르게 펴주기 때문에 텍스처가 있는 기판에도 적용할 수 있는 점이 또 하나의 장점이다.-
公开(公告)号：KR1020140026713A
公开(公告)日：2014-03-06
申请号：KR1020120092118
申请日：2012-08-23
Applicant: 한국에너지기술연구원
IPC: H01L51/48
CPC classification number: Y02E10/549 , H01L51/42
Abstract: The present invention relates to an apparatus and a method for coating a substrate for coating a solution sprayed on the substrate by applying rotational centrifugal force and gravity and for evenly coating the solution on the surface of the substrate by adjusting a rotational speed of a rotor depending on the density of the solution. The coating apparatus of the present invention comprises: a rotor which rotates around the axis of rotation; a fixing board disposed on the upper surface of the rotor, wherein the upper part of the fixing board is spaced apart from the bottom of the rotor; and a supporting board connected to the upper part of the fixing board to allow swing movement, wherein a substrate is safely attached to the upper part of the supporting board.
Abstract translation: 本发明涉及通过施加旋转离心力和重力来涂覆涂覆在基板上的溶液的基板的装置和方法，并且通过调节转子的旋转速度来适当地将溶液涂覆在基板的表面上 对溶液的密度。 本发明的涂覆装置包括：围绕旋转轴线旋转的转子; 设置在转子的上表面上的固定板，其中固定板的上部与转子的底部间隔开; 以及支撑板，其连接到固定板的上部以允许摆动运动，其中基板安全地附接到支撑板的上部。
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公开(公告)号：KR1020130130284A
公开(公告)日：2013-12-02
申请号：KR1020120053959
申请日：2012-05-22
Applicant: 한국에너지기술연구원
CPC classification number: B01J19/121 , B01J4/001 , B82B3/0004
Abstract: A nanoparticle synthesis apparatus using laser and a nanoparticle synthesis method using laser are provided. The nanoparticle synthesis apparatus according to the present invention comprises: a chamber; a source gas injection part provided at one side of the chamber and supplying source gas to the chamber; and a laser irradiation part provided at another side of the chamber and irradiating the source gas, supplied from the source gas injection part to the chamber, with laser. [Reference numerals] (130) Laser
Abstract translation: 提供了使用激光的纳米颗粒合成装置和使用激光的纳米颗粒合成方法。 根据本发明的纳米颗粒合成装置包括：室; 源气体注入部，其设置在所述室的一侧并将气体源供给到所述室; 以及激光照射部，设置在所述室的另一侧，并且将从所述源气体喷射部供给到所述室的所述源气体用激光照射。 （附图标记）（130）激光
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