公开(公告)号：KR101541422B1

公开(公告)日：2015-08-03

申请号：KR1020140058279

申请日：2014-05-15

Applicant: 한국에너지기술연구원

Inventor： 송희은 ,  강민구 ,  강기환 ,  정운석 ,  이덕행 ,  김주영

IPC: H01L31/0224 ,  H01L31/0236 ,  H01L31/18

CPC classification number: Y02E10/50 ,  H01L31/0224 ,  H01L31/0236 ,  H01L31/18

Abstract: 본발명은태양전지제조기술에관한것으로서, 더상세하게는태양전지의금속배선공정에있어서도금액에 HF를추가해서공정을줄이는태양전지제조방법에대한것이다.

Abstract translation: 本发明涉及一种使用电镀制造太阳能电池的方法，更具体地说，涉及在太阳能电池的金属配线工艺中通过向电镀液中添加HF来减少工艺的太阳能电池的制造方法。 该方法包括：准备半导体衬底的步骤; 在所制备的半导体衬底的表面上形成抗蚀剂涂层的步骤; 对形成的抗蚀剂涂层进行抗蚀图形化的步骤; 以及去除抗蚀剂涂层的步骤。

公开(公告)号：KR102108136B1

公开(公告)日：2020-05-07

申请号：KR1020180093975

申请日：2018-08-10

Applicant: 한국생산기술연구원 ,  한국에너지기술연구원 ,  한국과학기술연구원 ,  한국전자통신연구원

Inventor： 김호성 ,  임진섭 ,  김민영 ,  정경윤 ,  정훈기 ,  박재호 ,  김태현 ,  이영기 ,  신동옥 ,  김주영 ,  김광만 ,  정규남 ,  양정훈 ,  신현섭

IPC: H01M10/0562 ,  H01M4/131 ,  H01M4/133 ,  H01M4/62 ,  H01M4/525 ,  H01M4/505 ,  H01M4/485 ,  H01M10/0525