公开(公告)号：KR101541422B1

公开(公告)日：2015-08-03

申请号：KR1020140058279

申请日：2014-05-15

Applicant: 한국에너지기술연구원

Inventor： 송희은 ,  강민구 ,  강기환 ,  정운석 ,  이덕행 ,  김주영

IPC: H01L31/0224 ,  H01L31/0236 ,  H01L31/18

CPC classification number: Y02E10/50 ,  H01L31/0224 ,  H01L31/0236 ,  H01L31/18

Abstract: 본발명은태양전지제조기술에관한것으로서, 더상세하게는태양전지의금속배선공정에있어서도금액에 HF를추가해서공정을줄이는태양전지제조방법에대한것이다.

Abstract translation: 本发明涉及一种使用电镀制造太阳能电池的方法，更具体地说，涉及在太阳能电池的金属配线工艺中通过向电镀液中添加HF来减少工艺的太阳能电池的制造方法。 该方法包括：准备半导体衬底的步骤; 在所制备的半导体衬底的表面上形成抗蚀剂涂层的步骤; 对形成的抗蚀剂涂层进行抗蚀图形化的步骤; 以及去除抗蚀剂涂层的步骤。