公开(公告)号：KR102098705B1

公开(公告)日：2020-04-08

申请号：KR1020180082461

申请日：2018-07-16

Applicant: 한국에너지기술연구원

Inventor： 박성은 ,  민관홍 ,  송희은 ,  이정인 ,  강민구

IPC: H01L31/068 ,  H01L31/0312 ,  H01L31/0216 ,  H01L31/18 ,  H01L31/0224

公开(公告)号：KR102087813B1

公开(公告)日：2020-03-19

申请号：KR1020180074799

申请日：2018-06-28

Applicant: 한국에너지기술연구원

Inventor： 강민구 ,  송희은 ,  이정인 ,  박성은 ,  민관홍

IPC: H01L31/0224 ,  H01L31/18 ,  H01L31/0328 ,  H01L31/02