公开(公告)号：KR1019980012650A

公开(公告)日：1998-04-30

申请号：KR1019960028492

申请日：1996-07-15

Applicant: 한국에너지기술연구원

Inventor： 송진수 ,  안병태 ,  박성찬

IPC: H01L31/0445 ,  H01L31/18

公开(公告)号：KR100220371B1

公开(公告)日：1999-09-15

申请号：KR1019960028492

申请日：1996-07-15

Applicant: 한국에너지기술연구원

Inventor： 송진수 ,  안병태 ,  박성찬

IPC: H01L31/0445 ,  H01L31/18

CPC classification number: Y02E10/50 ,  Y02P70/521

Abstract: 본 발명은 황화-카드뮴(CdS) 박막의 제조 방법에 관한 것으로서, CBD법으로 제조한 황화-카드뮴(CdS) 박막을 염화-카드뮴(CdCl
2 ) 열처리함으로서 결정의 크기가 크고 치밀하며, 표면 또한 평탄한 황화-카드뮴(CdS) 박막을 제조할 수 있는 방법에 관한 것으로 기판을 세척하고 CBD법을 사용하여 황화-카드뮴(CdS) 박막을 제조하고 제조된 황화-카드뮴(CdS) 박막을 염화-카드뮴(CdCl
2 ) 용액이나 염화-카드뮴(CdCl
2 ) 분말 그리고 황화-카드뮴(CdS) 분말과 함께 특별히 제작한 카본 보트(carbon boat) 속에 넣고 아르곤 또는 질소 등의 비활성 가스 분위기에서 고온으로 3분 내지 10분간 열처리하여 황화-카드뮴(CdS) 결정 크기가 크고 치밀하며 표면이 평탄한 황화-카드뮴(CdS) 박막을 제조하고 고효율의 태양전지를 제조하는 것을 특징으로 하는 CBD(Chemical-bath-deposition)법과 염화-카 드뮴(CdCl
2 ) 열처리에 의한 황화-카드뮴(CdS) 박막의 제조 방법과 CdS 박막.