公开(公告)号：KR1020170079396A

公开(公告)日：2017-07-10

申请号：KR1020150189900

申请日：2015-12-30

Applicant: 한국에너지기술연구원

Inventor： 곽지혜 ,  안세진 ,  윤재호 ,  조아라 ,  어영주 ,  안승규 ,  김기환 ,  조준식 ,  박주형 ,  유진수 ,  윤경훈 ,  신기식 ,  손지혜

IPC: H01L31/0392 ,  H01L31/18 ,  C23C14/14

CPC classification number: Y02E10/50

Abstract: 본발명은고품질의 SnS 박막을상용화에적합한공정으로형성하는방법에관한것으로, Sn과 S를포함하는전구체막을형성하는전구체막형성단계; 상기전구체막을가열하여 Sn과 S를반응시켜 SnS를형성하면서이외의 2차상은기화시키는단일상형성단계;를포함하여구성되고, 상기단일상형성단계가, SnS는기화하지않고 SnS와 SnS등의 2차상은기화하는압력및 온도조건에서수행되어단일상의 SnS 박막을형성하는것을특징으로한다. 본발명은, Sn과 S을포함하는전구체막을형성한뒤에단일상형성단계를수행하여고품질의 SnS 박막을형성하는방법을제공함으로써, 고품질의 SnS 박막을상용화가가능한저비용의공정으로형성할수 있는뛰어난효과를나타낸다. 또한, 독성이없고재료비가저렴한고품질의 SnS 박막을낮은공정비용으로형성함으로써, SnS 박막을광흡수층으로구비한 SnS 태양전지를낮은비용으로제조할수 있는효과가있다.

Abstract translation: 本发明涉及一种形成高品质SnS薄膜的方法，作为适于商业化的工艺，包括：前体膜形成步骤，形成含有Sn和S的前体膜; 单相通过使Sn和S上形成汽化2 chasangeun比其它的步骤是加热膜前驱体而形成的SnS;包括：a，2，如每天成形步骤结束时，SNS没有气化的SnS和SNS 车载阶段的特征在于其在蒸发的压力和温度条件下进行以形成单相SnS薄膜。 本发明中，Sn的和S前体handwie膜仅通过执行例行程序形成步骤，以形成的SnS薄膜的优异效果，可以形成的SnS薄膜市售的高品质的高品质的方法形成是一种低成本的处理可能的，包括 它代表的。 此外，通过形成的SnS的无毒高品质的薄膜材料成本为低处理成本低，存在能够制造具有的SnS的SnS以低成本薄膜作为光吸收的太阳能电池的效果。

公开(公告)号：KR101757169B1

公开(公告)日：2017-07-13

申请号：KR1020150189900

申请日：2015-12-30

Applicant: 한국에너지기술연구원

Inventor： 곽지혜 ,  안세진 ,  윤재호 ,  조아라 ,  어영주 ,  안승규 ,  김기환 ,  조준식 ,  박주형 ,  유진수 ,  윤경훈 ,  신기식 ,  손지혜

IPC: H01L31/0392 ,  H01L31/18 ,  C23C14/14

CPC classification number: Y02E10/50

Abstract: 본발명은고품질의 SnS 박막을상용화에적합한공정으로형성하는방법에관한것으로, Sn과 S를포함하는전구체막을형성하는전구체막형성단계; 상기전구체막을가열하여 Sn과 S를반응시켜 SnS를형성하면서이외의 2차상은기화시키는단일상형성단계;를포함하여구성되고, 상기단일상형성단계가, SnS는기화하지않고 SnS와 SnS등의 2차상은기화하는압력및 온도조건에서수행되어단일상의 SnS 박막을형성하는것을특징으로한다. 본발명은, Sn과 S을포함하는전구체막을형성한뒤에단일상형성단계를수행하여고품질의 SnS 박막을형성하는방법을제공함으로써, 고품질의 SnS 박막을상용화가가능한저비용의공정으로형성할수 있는뛰어난효과를나타낸다. 또한, 독성이없고재료비가저렴한고품질의 SnS 박막을낮은공정비용으로형성함으로써, SnS 박막을광흡수층으로구비한 SnS 태양전지를낮은비용으로제조할수 있는효과가있다.