公开(公告)号：KR101394158B1

公开(公告)日：2014-05-15

申请号：KR1020120114338

申请日：2012-10-15

Applicant: 한국에너지기술연구원

Inventor： 이진석 ,  안영수 ,  장보윤 ,  김준수 ,  이예능 ,  위성민

IPC: H01L31/18 ,  H01L31/042

CPC classification number: Y02E10/50 ,  Y02P70/521

Abstract: 실시예는 실리콘 원료가 공급되는 실리콘 원료 투입부; 상기 공급된 실리콘을 용융하여 실리콘 용탕을 형성하는 실리콘 용융부; 상기 실리콘 용탕을 공급받아 저장하며, 상기 실리콘 용탕을 일정한 두께의 용융물로 토출하는 토출구를 갖는 실리콘 용탕 저장부; 및 상기 실리콘 용탕 저장부 하부에 배치되어 상기 실리콘 용융물을 이송하는 이송기판을 포함하고, 상기 토출구를 형성하는 상기 실리콘 용탕 저장부의 하측부의 일면은 상기 실리콘 용탕 저장부의 측벽 외측방향으로 소정각도로 경사진 실리콘 기판 제조장치를 제공한다.

公开(公告)号：KR101394156B1

公开(公告)日：2014-05-15

申请号：KR1020120114335

申请日：2012-10-15

Applicant: 한국에너지기술연구원

Inventor： 이진석 ,  안영수 ,  장보윤 ,  김준수 ,  이예능 ,  위성민

IPC: H01L31/18 ,  H01L31/042

CPC classification number: Y02E10/50 ,  Y02P70/521

Abstract: 실시예는 실리콘 원료가 공급되는 실리콘 원료 투입부; 상기 공급된 실리콘을 용융하여 실리콘 용탕을 형성하는 실리콘 용융부; 상기 실리콘 용탕을 공급받아 저장하며, 상기 실리콘 용탕을 일정한 두께의 용융물로 토출하는 토출구를 가지는 실리콘 용탕 저장부; 상기 실리콘 용탕 저장부의 토출구와 인접한 지점에 구비되어, 상기 토출구를 통해 토출된 실리콘 용융물의 표면에 상기 실리콘 용융점 이하로 가열하는 표면 가열부; 및 상기 실리콘 용탕 저장부 하부에 배치되어 상기 실리콘 용융물을 이송하는 이송기판을 포함하는 실리콘 기판 제조장치를 제공한다.

公开(公告)号：KR1020130113126A

公开(公告)日：2013-10-15

申请号：KR1020120035462

申请日：2012-04-05

Applicant: 한국에너지기술연구원

Inventor： 이진석 ,  장보윤 ,  김준수 ,  안영수 ,  위성민 ,  이예능

IPC: H01L31/18 ,  H01L31/042 ,  C01B33/021

CPC classification number: Y02E10/50 ,  Y02P70/521 ,  H01L31/18 ,  C01B33/021 ,  H01L31/042

Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a silicon substrate is provided to prevent silicon melt from being contaminated by fitting an inclined quartz crucible into a graphite crucible. CONSTITUTION: A first crucible part (203) has a top side and a lateral side. The lateral side is downwardly extended from the top side. A second crucible part (204) is installed on the inner side of the first crucible part. The second crucible part has a second inclined part (245). A casting part (300) includes a first casting part and a second casting part.

Abstract translation: 目的：提供一种用于制造硅衬底的方法，以通过将倾斜的石英坩埚装配到石墨坩埚中来防止硅熔体被污染。 构成：第一坩埚部分（203）具有顶侧和侧面。 侧面从顶侧向下延伸。 第二坩埚部分（204）安装在第一坩埚部分的内侧。 第二坩埚部分具有第二倾斜部分（245）。 铸造部件（300）包括第一铸造部件和第二铸造部件。

公开(公告)号：KR101406784B1

公开(公告)日：2014-06-18

申请号：KR1020120035469

申请日：2012-04-05

Applicant: 한국에너지기술연구원

Inventor： 이진석 ,  장보윤 ,  김준수 ,  안영수 ,  위성민 ,  이예능

IPC: H01L31/18 ,  H01L31/042 ,  C01B33/021

CPC classification number: Y02E10/50 ,  Y02P70/521

Abstract: 실리콘 기판 제조 장치가 개시된다.
본 발명의 일 실시예에 따른 실리콘 기판 제조 장치는 하면부와 평행한 방향으로 일측에 관통된 토출부를 갖는 도가니부, 상기 도가니부의 토출부와 평행한 방향으로 상기 토출부로부터 연장되며, 실리콘 기판이 형성되는 주조 공간을 갖는 주조부, 상기 주조부의 일측에서 상기 주조 공간으로 삽입되는 더미바 및 상기 주조부의 일측에 설치된 냉각부를 포함한다.

公开(公告)号：KR101406705B1

公开(公告)日：2014-06-12

申请号：KR1020120035462

申请日：2012-04-05

Applicant: 한국에너지기술연구원

Inventor： 이진석 ,  장보윤 ,  김준수 ,  안영수 ,  위성민 ,  이예능

IPC: H01L31/18 ,  H01L31/042 ,  C01B33/021

CPC classification number: Y02E10/50 ,  Y02P70/521

Abstract: 실리콘 기판 제조 장치가 개시된다.
본 발명의 일 실시예에 따른 실리콘 기판 제조 장치는 상면부 및 상기 상면부에서 하 방향으로 연장된 측면부 갖는 제 1 도가니부, 상기 제 1 도가니부의 내측에 설치되며, 상기 제 1 도가니부의 상면부의 상면에 대해 예각의 기울기를 갖는 제 2 경사부를 갖는 제 2 도가니부 및 상기 제 2 경사부를 마주하는 측면부에 수직 방향으로 연장된 제 1 주조부 및 상기 제 2 경사부와 접하는 상기 제 1 도가니부의 측면부와 결합되며 상기 제 1 주조부와 평행하게 연장된 제 2 주조부를 포함하는 주조부를 포함하고, 상기 제 2 경사부의 끝단은 상기 제 2 경사부를 마주하는 측면부의 수직방향으로 연장된 연장선에 접할 수 있다.

公开(公告)号：KR1020140048479A

公开(公告)日：2014-04-24

申请号：KR1020120114338

申请日：2012-10-15

Applicant: 한국에너지기술연구원

Inventor： 이진석 ,  안영수 ,  장보윤 ,  김준수 ,  이예능 ,  위성민

IPC: H01L31/18 ,  H01L31/042

CPC classification number: Y02E10/50 ,  Y02P70/521 ,  H01L31/042 ,  H01L31/18

Abstract: Provided is an apparatus for manufacturing a silicon substrate which includes a raw material input part which receives silicon; a silicon melting part which forms molten silicon by melting the supplied silicon; a molten silicon storage part which receives and stores the molten silicon and has a discharge hole which discharges the molten silicon in a constant thickness; and a transfer substrate which is arranged in the lower part of the molten silicon storage part and transfers the molten silicon, wherein one surface of the lower part of the molten silicon storage part, which has the discharge hole, is inclined at a preset angle to the outside the sidewall of the molten silicon storage part.

Abstract translation: 提供一种用于制造硅衬底的装置，其包括接收硅的原料输入部分; 通过熔化供给的硅而形成熔融硅的硅熔融部; 熔融硅储存部，其接收并存储熔融硅，并具有排出孔，该排出孔以固定的厚度排出熔融硅; 以及转移基板，其布置在熔融硅储存部分的下部并传送熔融硅，其中具有排出孔的熔融硅储存部分的下部的一个表面以预设的角度倾斜到 熔融硅储存部分的侧壁外侧。

公开(公告)号：KR1020130113131A

公开(公告)日：2013-10-15

申请号：KR1020120035469

申请日：2012-04-05

Applicant: 한국에너지기술연구원

Inventor： 이진석 ,  장보윤 ,  김준수 ,  안영수 ,  위성민 ,  이예능

IPC: H01L31/18 ,  H01L31/042 ,  C01B33/021

CPC classification number: Y02E10/50 ,  Y02P70/521 ,  H01L31/18 ,  C01B33/021 ,  H01L31/042

Abstract: PURPOSE: An apparatus for manufacturing a silicon substrate is provided to improve cooling efficiency by installing a cooling part including a gas spray part on the upper surface of a casting part. CONSTITUTION: A crucible part (200) has a discharge part on one side thereof. A casting part (300) is extended from the discharge part and includes a casting space. A dummy bar is inserted from one side of the casting part to the casting space. A cooling part is installed on one side of the casting part.

Abstract translation: 目的：提供一种用于制造硅衬底的装置，通过在铸造件的上表面上安装包括气体喷射部件的冷却部件来提高冷却效率。 构成：坩埚部件（200）的一侧具有排出部。 铸造部件（300）从排出部延伸并且包括铸造空间。 从铸件的一侧向铸造空间插入虚拟棒。 冷却部件安装在铸件的一侧。

公开(公告)号：KR101483693B1

公开(公告)日：2015-01-19

申请号：KR1020120035456

申请日：2012-04-05

Applicant: 한국에너지기술연구원

Inventor： 이진석 ,  장보윤 ,  김준수 ,  안영수 ,  위성민 ,  이예능

IPC: C01B33/02 ,  C30B29/06 ,  B22D25/04 ,  H01L31/042

CPC classification number: C30B15/06 ,  C30B28/10 ,  C30B29/06 ,  C30B35/002 ,  Y10T117/1048

Abstract: 실리콘 기판 제조 장치가 개시된다.
본 발명의 일 측면에 따른 실리콘 기판 제조 장치는 도가니부, 상기 도가니부의 토출부로부터 연장되며, 실리콘 기판이 형성되는 주조 공간을 갖는 주조부 및 상기 주조부의 일측에서 상기 주조 공간으로 삽입되는 더미바를 포함하고, 상기 더미바의 재질은 단결정 물질일 수 있다.

公开(公告)号：KR1020140048478A

公开(公告)日：2014-04-24

申请号：KR1020120114335

申请日：2012-10-15

Applicant: 한국에너지기술연구원

Inventor： 이진석 ,  안영수 ,  장보윤 ,  김준수 ,  이예능 ,  위성민

IPC: H01L31/18 ,  H01L31/042

CPC classification number: Y02E10/50 ,  Y02P70/521 ,  H01L31/042 ,  H01L31/18

Abstract: An embodiment provides an apparatus for manufacturing a silicon substrate, which includes a silicon injection part which supplies silicon as a raw material; a silicon melting part which forms molten silicon by melting the supplied silicon; a molten silicon storage part which receives and stores the molten silicon and has a discharge hole for discharging the molten silicon in constant thickness; a surface heating part which is formed in a position adjacent to the discharge hole of the molten silicon storage part and heats the surface of the molten silicon discharged from the discharge hole at a temperature of a silicon melting point or less; and a transfer substrate which is arranged at the lower part of the molten silicon storage part and transfers the molten silicon material.

Abstract translation: 实施例提供了一种用于制造硅衬底的装置，其包括供应硅作为原料的硅注入部分; 通过熔化供给的硅而形成熔融硅的硅熔融部; 熔融硅储存部，其接收并存储熔融硅，并具有用于排出恒定厚度的熔融硅的排出孔; 表面加热部，其形成在与熔融硅储存部的排出孔相邻的位置，并且在硅熔点以下的温度下加热从排出孔排出的熔融硅的表面; 以及配置在熔融硅储存部的下部并转移熔融硅材料的转印基板。

公开(公告)号：KR1020130113121A

公开(公告)日：2013-10-15

申请号：KR1020120035456

申请日：2012-04-05

Applicant: 한국에너지기술연구원

Inventor： 이진석 ,  장보윤 ,  김준수 ,  안영수 ,  위성민 ,  이예능

IPC: C01B33/02 ,  C30B29/06 ,  B22D25/04 ,  H01L31/042

CPC classification number: C30B15/06 ,  C30B28/10 ,  C30B29/06 ,  C30B35/002 ,  Y10T117/1048

Abstract: PURPOSE: A silicon substrate manufacturing device is provided to enhance productivity and to enlarge the size of silicon substrate grain. CONSTITUTION: A silicon substrate manufacturing device comprises a crucible part (200), a cast part (300), and a dummy bar (400). The cast part is extended from a discharge part of the crucible part and has a casting space in which the silicon substrate is formed. The dummy bar is inserted into the cast space from one side of the casting part. The material of the dummy bar is a single crystal material.

Abstract translation: 目的：提供硅衬底制造装置，以提高生产率并扩大硅衬底颗粒的尺寸。 构成：硅衬底制造装置包括坩埚部分（200），铸件（300）和虚拟棒（400）。 铸造部分从坩埚部分的排放部分延伸并具有其中形成硅衬底的铸造空间。 模具从铸件的一侧插入到铸造空间中。 虚拟棒的材料是单晶材料。