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公开(公告)号:KR101387945B1
公开(公告)日:2014-04-29
申请号:KR1020120046801
申请日:2012-05-03
Applicant: 한국에너지기술연구원
Abstract: 본 발명은 실리콘 용융반응기에 관한 것으로서, 하부에 투입된 상기 실리콘원료가 토출되는 토출구가 구비되는 쿼츠도가니 및 상기 쿼츠도가니의 외면을 감싸도록 상기 쿼츠도가니에 대응된 형태로 형성된 흑연도가니를 포함하는 실리콘용융부, 상기 쿼츠도가니 내부로 증기압을 높이기 위한 수증기 또는 불순물 제거를 위한 반응소스를 투입하여 상기 실리콘원료에 포함된 불순물을 제거하는 산화소스투입부 및 상기 흑연도가니 외측에 구비되어 상기 흑연도가니 및 상기 쿼츠도가니를 가열하는 가열부를 포함한다.
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公开(公告)号:KR1020140027626A
公开(公告)日:2014-03-07
申请号:KR1020120092238
申请日:2012-08-23
Applicant: 한국에너지기술연구원
IPC: C01B33/037 , H01L31/042 , C30B29/06 , C30B28/06
CPC classification number: Y02E10/50 , C01B33/037 , C01P2006/80
Abstract: A silicon refining apparatus is disclosed. A silicon refining apparatus according to an embodiment of the present invention comprises: a first silicon melting section in which a silicon melt is formed and has a first channel section on one end; a second silicon melting section having a second channel section connected to the first channel section and forming a first connected path section and having a third channel section; and an unidirectional solidification section having a fourth channel section connected to the third channel section and forming a second connected path section. The first connected path section is installed at a lower height than the second connected path section.
Abstract translation: 公开了一种硅精炼装置。 根据本发明实施例的硅精炼装置包括:第一硅熔化部分,其中形成硅熔体并且在一端具有第一通道部分; 第二硅熔化部分,具有连接到第一通道部分的第二通道部分,并形成第一连接的路径部分并且具有第三通道部分; 以及具有连接到第三通道部分并形成第二连接路径部分的第四通道部分的单向凝固部分。 第一连接路径部分安装在比第二连接路径部分更低的高度处。
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公开(公告)号:KR101441856B1
公开(公告)日:2014-09-19
申请号:KR1020120075044
申请日:2012-07-10
Applicant: 한국에너지기술연구원
IPC: C01B33/04 , C01B33/021 , B01J19/12
CPC classification number: C01B33/037 , C30B11/04 , C30B29/06
Abstract: 실리콘의 정련 장치가 개시된다.
진공 분위기를 유지하는 진공 챔버, 상기 진공 챔버에 구비되어 전자빔을 조사하는 적어도 하나 이상의 전자총(Electron-gun), 상기 진공챔버 내에 실리콘 원료물질을 공급하는 원료 공급부, 상기 전자빔이 조사되는 영역 내에 배치되며, 상기 실리콘 원료물질이 장입되어 상기 전자빔에 의해 상기 실리콘 원료물질이 용융되어 실리콘 용탕이 형성되는 실리콘 용융부, 상기 실리콘 용융부로부터 공급되는 실리콘 용탕을 응고시키는 일방향 응고부 및 상기 실리콘 용융부의 제 1 채널부와 상기 일방향 응고부의 제 2 채널부가 서로 접하여 이루어진 연결탕로부를 포함하고, 상기 연결탕로부의 중심축은 상기 원료 공급부의 투입구의 중심축과 다른 위치에 있는 휘발성 불순물 제거를 위한 실리콘의 정련 장치가 제공될 수 있다. 이에 따라, 실리콘 용탕의 이동경로를 길게 하여 내부에 존재하는 휘발성 불순물이 제거되는 시간과 공간을 충분히 확보하여 진공 정련의 효율을 향상시킬 수 있다.-
公开(公告)号:KR101396478B1
公开(公告)日:2014-05-19
申请号:KR1020120035451
申请日:2012-04-05
Applicant: 한국에너지기술연구원
IPC: C01B33/021 , C01B33/02 , B01J19/08
Abstract: 본 발명은 경사진 일방향응고부를 이용한 폴리실리콘 제조장치에 관한 것으로서, 상기한 과제를 해결하기 위하여 본 발명은, 진공 분위기를 유지하는 진공챔버, 상기 진공챔버에 구비되어 전자빔을 조사하는 전자빔조사부, 입자형태의 실리콘원료가 장입되며, 상기 전자빔조사부로부터 전자빔이 조사되는 영역 내에 배치되어 전자빔에 의해 실리콘원료가 용융되어 실리콘용탕이 만들어지는 실리콘용융부, 하부에 상기 실리콘용융부로부터 공급되는 상기 실리콘용탕을 응고시키는 냉각채널이 형성되며 동일한 단면적을 가지는 용탕투입부 및 상기 용탕투입부의 하부에 연결되며 하부방향의 단면적이 증가하도록 경사지게 형성된 용탕안내부를 포함하는 일방향응고부 및 상기 일방향응고부 내부에 구비되는 실리콘버튼 및 상기 실리콘버튼 하면에 접� ��되어 상기 실리콘버튼을 이동시키는 더미바를 가지는 스타트블럭을 포함한다.
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公开(公告)号:KR101394161B1
公开(公告)日:2014-05-15
申请号:KR1020120092238
申请日:2012-08-23
Applicant: 한국에너지기술연구원
IPC: C01B33/037 , H01L31/042 , C30B29/06 , C30B28/06
CPC classification number: Y02E10/50
Abstract: 실리콘의 정련 장치가 개시된다.
본 발명의 일 실시예에 따른 실리콘의 정련 장치는 실리콘 용탕이 형성되는 제 1 실리콘 용융부, 상기 제 1 실리콘 용융부는 일단에 제 1 채널부를 갖고, 상기 제 1 채널부와 접하여 제 1 연결탕로부를 형성하는 제 2 채널부를 갖는 제 2 실리콘 용융부 및 상기 제 2 실리콘 용융부는 제 3 채널부를 갖고, 상기 제 3 채널부와 접하여 제 2 연결탕로부를 형성하는 제 4 채널부를 갖는 일방향 응고부를 포함하고, 상기 제 1 연결탕로부는 상기 제 2 연결탕로부보다 낮은 높이에 배치된다.Abstract translation: 公开了一种硅精制设备。
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公开(公告)号:KR101381153B1
公开(公告)日:2014-04-04
申请号:KR1020120046798
申请日:2012-05-03
Applicant: 한국에너지기술연구원
IPC: C30B28/06 , C30B29/06 , C01B33/021 , H01L21/02
Abstract: 본 발명은 단결정 실리콘버튼을 이용한 폴리실리콘 제조장치에 관한 것으로서, 진공 분위기를 유지하는 진공챔버, 상기 진공챔버에 구비되어 전자빔을 조사하는 전자빔조사부, 입자형태의 실리콘원료가 투입되며, 상기 전자빔조사부로부터 전자빔이 조사되는 영역 내에 배치되어 전자빔에 의해 실리콘원료가 용융되어 실리콘용탕이 만들어지는 실리콘용융부, 하부에 냉각채널이 형성되어 상기 실리콘용융부로부터 공급되는 실리콘용탕을 응고시키는 일방향응고부 및 상기 일방향응고부 내부에 구비되며 별도로 제조되어 상기 실리콘용융부로부터 공급되는 실리콘용탕을 상기 일방향응고부 하부로 이송시키는 단결정 실리콘버튼 및 상기 단결정 실리콘버튼 하면에 접합되며 상기 단결정 실리콘버튼이 이동되도록 하는 흑연더미바를 을 포함하는 스타트블럭을 포함한다.
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公开(公告)号:KR1020140008485A
公开(公告)日:2014-01-21
申请号:KR1020120075043
申请日:2012-07-10
Applicant: 한국에너지기술연구원
IPC: C01B33/037 , H01L31/04
CPC classification number: Y02E10/50 , C01B33/037 , C01P2006/80
Abstract: An apparatus for refining silicone is disclosed. The apparatus for refining silicone according to an embodiment of the present invention comprises: a vacuum chamber which maintains vacuum atmosphere; at least one electron-gun which is equipped in the vacuum chamber and irradiates with electronic beams; a silicone fusion part which is arranged in an area in which electronic beams are irradiated, is filled with silicone raw materials and forms molten silicone by melting the silicone raw materials with the electronic beams; a unidirectional solidification part which solidifies the molten silicone supplied from the silicone fusion part; and a connection furnace part which is formed by a contact of a first channel part of the silicone fusion part and a second channel part of the unidirectional solidification part. The connection furnace part includes a bottom part and a pair of side parts extended from both ends of the bottom in a vertical direction. The cross-section area of the bottom is able to become smaller according to a direction in which the molten silicone is transferred.
Abstract translation: 公开了一种用于精制硅酮的设备。 根据本发明实施例的用于精制硅酮的装置包括:保持真空气氛的真空室; 至少一个电子枪,其装备在真空室中并照射电子束; 布置在电子束照射区域的硅胶熔接部分填充有硅酮原料,并用电子束熔化硅酮原料形成熔融硅氧烷; 固化从聚硅氧烷熔融部供给的熔融硅酮的单向凝固部; 以及由所述硅树脂熔融部的第一流路部与所述单向凝固部的第二流路部的接触形成的连接炉部。 连接炉部分包括底部和从垂直方向从底部的两端延伸的一对侧部。 底部的横截面积能够根据熔融硅氧烷的转移方向变小。
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公开(公告)号:KR1020130113119A
公开(公告)日:2013-10-15
申请号:KR1020120035451
申请日:2012-04-05
Applicant: 한국에너지기술연구원
IPC: C01B33/021 , C01B33/02 , B01J19/08
CPC classification number: C01B33/021 , B01J19/002 , B01J19/085 , B01J2219/00247 , C01P2006/80
Abstract: PURPOSE: A poly-silicon manufacturing device is provided to prevent a one-way solidification part from being pressurized by volume expansion when silicone molten metal is solidified. CONSTITUTION: A poly-silicon manufacturing device comprises a vacuum chamber (100), electronic beam irradiation parts (200), a silicon melting part (300), a one-way solidification part (400) and starting blocks (410) equipped inside the one-way solidification part. Particle shaped silicon raw materials are loaded in the silicon melting part and are fused by electronic beam in order to make silicone molten metal. Cooling channels (C) are formed in lower part of the one-way solidification part and coagulates the silicone molten metal supplied from the silicon melting part. The one-way solidification part comprises molten metal input parts (420) which have the same cross sections and a molten metal guide portion (430) which is formed with a slope in order to increase cross section in downwards. The starting block has a silicone button and a dummy bar which is welded into the lower surface of the silicone button and moves the silicone button.
Abstract translation: 目的:提供多硅制造装置,以防止当硅熔融金属凝固时,单向凝固部件被体积膨胀加压。 构成:多晶硅制造装置包括真空室(100),电子束照射部分(200),硅熔化部分(300),单向凝固部分(400)和起始块(410) 单向凝固部分。 颗粒状硅原料装载在硅熔化部分中,并通过电子束熔化,以制成硅熔融金属。 在单向凝固部分的下部形成冷却通道(C),并使从硅熔融部分供给的硅氧烷熔融金属凝结。 单向凝固部分包括具有相同横截面的熔融金属输入部分(420)和形成有斜面的熔融金属引导部分(430),以便向下增加横截面。 起始块具有硅树脂按钮和伪棒,其被焊接到硅树脂按钮的下表面并移动硅树脂按钮。
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公开(公告)号:KR101698002B1
公开(公告)日:2017-01-19
申请号:KR1020150114663
申请日:2015-08-13
Applicant: 한국에너지기술연구원
Abstract: 본발명은태양광모듈리본의재활용장치및 방법에관한것으로, 상세하게는태양광구리리본을공급하는공급부; 상기공급부로부터구리리본이투입되는산화성분위기인회전형의가열챔버; 및상기가열챔버를적어도부분적으로둘러싸는히터를포함하는태양광모듈리본의재활용장치를제공한다. 본발명의태양광모듈리본의재활용장치및 방법은구리리본표면의산화된피막을분리함으로써, 중심재료이자고가인구리를연속적으로회수할수 있다.
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公开(公告)号:KR101475755B1
公开(公告)日:2014-12-30
申请号:KR1020120092234
申请日:2012-08-23
Applicant: 한국에너지기술연구원
IPC: C01B33/037 , C01B33/04 , B01J19/24
Abstract: 실리콘의정련장치가개시된다. 본발명의일 실시예에따른실리콘의정련장치는실리콘용탕을저장하는실리콘용융부및 상기실리콘용융부의실리콘용탕을공급받아상기실리콘용탕을응고시키는일방향응고부를포함하고, 상기일방향응고부는외측에배치된복수의냉각유로부를갖고, 상기복수의냉각유로부중 적어도어느하나의냉각유로부의유로폭은나머지유로폭보다클 수있다.
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