탁상형 테라헤르츠 자유전자레이저를 위한 초저온 저손실 2차원 도파관형 메쉬거울 테라헤르츠 자유전자레이저 공진기
    1.
    发明申请
    탁상형 테라헤르츠 자유전자레이저를 위한 초저온 저손실 2차원 도파관형 메쉬거울 테라헤르츠 자유전자레이저 공진기 审中-公开
    低温低损二维波形型MESRMERRERER TERAHERTZ免费电子激光共振器,用于桌面TERAHERTZ免费电子激光

    公开(公告)号:WO2012081783A1

    公开(公告)日:2012-06-21

    申请号:PCT/KR2011/005110

    申请日:2011-07-12

    CPC classification number: H01S1/005

    Abstract: 2차원 도파관형 메쉬미러 테라헤르츠 자유전자레이저 공진기를 개시한다. 상기 2차원 도파관형 메쉬미러 테라헤르츠 자유전자레이저 공진기는 금속통의 진공 단열층, 상기 진공 단열층 내부에 외부로부터 액체질소 또는 액체헬륨 등의 초저온 냉각재를 공급받음으로써 극저온 환경에서도 상전도 또는 초전도로 자기장을 발생시키는 전자석 코일로 동작하는 나선형 또는 평면형 언듈레이터(helical or planar undulator), 상기 언듈레이터 내부에 장착되며 초저온으로 냉각되는 2차원 원형 또는 사각형 도파관(cylindrical or rectangular waveguide) 및 상기 2차원 도파관의 전자빔 입사부 및 출구부 각각에 구비되는 메쉬미러를 포함한다.

    Abstract translation: 公开了一种二维波导型网眼镜太赫兹自由电子激光谐振器。 二维波导型网眼镜太赫兹自由电子激光谐振器包括:金属桶的真空绝热层; 从真空绝热层的外部向内部供给诸如液氮,液氦等的低温冷却剂的螺旋形或平面波动器,从而作为产生正常导电的电磁线圈 或超导磁场,即使在低温环境中; 设置在波动器内的二维圆柱形或矩形波导,并被冷却到非常低的温度; 以及分别设置在二维波导中的入射部分和电子束的发射部分的网眼镜。

    주기가변 영구자석 언듈레이터
    2.
    发明申请
    주기가변 영구자석 언듈레이터 审中-公开
    可变周期永久磁铁解决方案

    公开(公告)号:WO2014030810A1

    公开(公告)日:2014-02-27

    申请号:PCT/KR2012/011494

    申请日:2012-12-26

    CPC classification number: H01F7/0221 H01F1/053 H05H7/04

    Abstract: 본 발명의 목적은 평면형 언듈레이터 뿐 아니라 나선형 언듈레이터에도 적용 가능한, 주기가변 영구자석 언듈레이터를 제공함에 있다. 보다 상세하게는, 본 발명의 목적은 영구자석 및 강자성체가 교번 배치된 형태로 이루어지는 언듈레이터에서, 영구자석 사이에 개재된 강자성체가 자속포화됨으로써 영구자석 간의 척력에 의하여 자석 간 간격이 효과적으로 벌어질 수 있도록 형성된 구조를 통해, 자기장의 주기를 용이하면서도 세밀하게 조절 가능하도록 하는, 주기가변 영구자석 언듈레이터를 제공함에 있다.

    Abstract translation: 本发明的目的是提供一种可变循环永磁体波动器,其不仅可应用于平面波动器,而且可应用于螺旋形波动器。 更具体地说,本发明的目的是提供一种可变循环永磁体波动器,其中永磁体和铁磁性物质交替排列,并且置于永久磁铁之间的铁磁性物质是饱和的,从而能够使磁体为 通过永久磁铁之间的排斥力彼此有效地间隔开,从而以容易且精确的方式调节磁场的周期。

    선편광 극초단 테라헤르츠 파 발생장치
    3.
    发明申请
    선편광 극초단 테라헤르츠 파 발생장치 审中-公开
    用于生成线性极化超短暂TERAHERTZ波的装置

    公开(公告)号:WO2017026819A1

    公开(公告)日:2017-02-16

    申请号:PCT/KR2016/008851

    申请日:2016-08-11

    CPC classification number: H01S1/00

    Abstract: 본 발명의 목적은 포물 경통 거울을 다중 박막의 한쪽에 설치함으로써 단일 선편광을 가지며 출력 분포가 균일하게 형성되는 테라헤르츠 파를 발생시키는, 선편광 극초단 테라헤르츠 파 발생장치를 제공함에 있다.

    Abstract translation: 本发明的目的是提供一种线偏振超短太赫兹波发生装置,其具有安装在多个薄膜一侧的抛物面镜筒反射镜,以产生具有单线性偏振光的超短太赫波 并均匀形成输出分布。

    시편의 내부결함 검출을 위한 비접촉식 영상 검사 방법 및 장치
    4.
    发明授权
    시편의 내부결함 검출을 위한 비접촉식 영상 검사 방법 및 장치 有权
    非结构非连接视觉检测装置和样本内部裂纹检测方法

    公开(公告)号:KR101429348B1

    公开(公告)日:2014-08-13

    申请号:KR1020120098336

    申请日:2012-09-05

    Abstract: 가열기와 레이저 간섭계를 이용하여 시편 내부의 결함을 고속으로 검출하는 비접촉식 비파괴 영상 검사 장치가 개시된다. 비접촉식 영상 검사 장치는, 시편의 일면에 주기적으로 반복되는 일정 형태의 열 강도를 갖는 열에너지를 조사하는 가열부, 상기 시편의 길이 방향에서 윗면과 아랫면에 위치하여 상기 시편의 위쪽 방향과 아래쪽 방향에 대해서 고정하도록 일정한 힘으로 상기 시편을 지지하는 스프링 지지부, 상기 시편에서 상기 열에너지가 가해지는 면과 다른 면에 대한 레이저 간섭영상을 생성하는 레이저 간섭부 및 상기 레이저 간섭부에서 생성된 레이저 간섭영상으로부터 결함 영상을 추출하는 신호처리 기능과 화면보여주기 기능 및 상기 가열부의 제어를 담당하는 제어 및 신호처리부를 포함하여 구성된다.

    주기가변 영구자석 언듈레이터
    5.
    发明授权
    주기가변 영구자석 언듈레이터 有权
    可变永久磁铁解决方案

    公开(公告)号:KR101360852B1

    公开(公告)日:2014-02-11

    申请号:KR1020120093102

    申请日:2012-08-24

    CPC classification number: H01F7/0221 H01F1/053 H05H7/04

    Abstract: The object of the present invention is to provide a variable-period permanent magnet undulator which is applicable to not only a planar undulator but also a helical undulator. More particularly, the object of the present invention is to provide a variable-period permanent magnet capable of easily and precisely controlling the period of the permanent magnet through a structure to efficiently widen a distance between the permanent magnets by a repulsive force between the permanent magnets by the magnetic flux saturation of a ferromagnetic body interposed between the permanent magnets in the undulator on which the permanent magnet and the ferromagnetic body are alternatively arranged.

    Abstract translation: 本发明的目的是提供一种可变周期的永久磁铁起波器,其不仅可应用于平面波动器,而且适用于螺旋形波动器。 更具体地,本发明的目的是提供一种可变周期永磁体,其能够容易且精确地控制通过结构的永磁体的周期,以通过永磁体之间的排斥力有效地加宽永磁体之间的距离 通过交替布置永磁体和铁磁体之间的波动器中的永磁体之间的铁磁体的磁通饱和度。

    레이저 유도 입자 발생을 위한 진공층을 포함하는 이중층 타겟의 제조방법 및 이에 의해 제조되는 이중층 타겟
    6.
    发明授权
    레이저 유도 입자 발생을 위한 진공층을 포함하는 이중층 타겟의 제조방법 및 이에 의해 제조되는 이중층 타겟 有权
    用于激光诱导颗粒加速的NARROW真空孔的双层目标的制备方法和由相同方法制备的双层目标

    公开(公告)号:KR101331493B1

    公开(公告)日:2013-11-20

    申请号:KR1020120057342

    申请日:2012-05-30

    Abstract: The present invention relates to a method of manufacturing a multi-layer target including a vacuum layer with a narrow vacuum gap for the laser induced, specifically, by this the step five (5 step) forming the vacuum layer in the metal layer intervening space the side in which the step four (4 step), patterning the photoresist layer of the first substrate and the metal layer of the second substrate are formed in which the photoresist layer is formed on the upper part of the metal layer of the step three (3 step). The first substrate manufacturing the second substrate with the step one and step two is patterning the opposite surface of the side in which the metal layer is formed from the previous step one and manufactures the first substrate, and step two and the same method generate the metal layer in one side of the substrate or the second substrate. According to the invention, the double-layer target can be easily manufactured from the micro-electromechanical system (MEMS) technology, and it is used for manufacturing the conventional semiconductor processes. The each thickness of the double-layer target as well as the energy spectrum of the ion beam particle to generate can be controlled by the invention. [Reference numerals] (1) Silicon substrate;(10) Double layer target including a vacuum layer;(2) Spread a metal film material;(3) Aluminum (masking material) deposition;(4) Photoresist deposition;(5) Photolithography;(6) Photoresist development;(7) Etch an aluminum layer;(8) Etch the silicon substrate-DRIE;(9) Photoresist + Photolithography;(AA) Make two sheets

    Abstract translation: 本发明涉及一种制造多层靶的方法,该多层靶包括用于激光诱发的具有窄真空间隙的真空层,具体地说,通过在金属层中间空间中形成真空层的步骤5(5步骤) 形成步骤四(4步骤),图案化第一基板的光致抗蚀剂层和第二基板的金属层,其中光致抗蚀剂层形成在步骤三(3)的金属层的上部 步)。 用第一步和第二步制造第二衬底的第一衬底是从前一步骤中形成其中形成金属层的一侧的相反表面并制造第一衬底,并且步骤二和相同的方法产生金属 层在基板的一侧或第二基板上。 根据本发明,双层靶可以容易地从微机电系统(MEMS)技术制造,并且用于制造常规的半导体工艺。 通过本发明可以控制双层靶的每个厚度以及所产生的离子束粒子的能谱。 (1)硅衬底;(10)包括真空层的双层靶;(2)扩展金属膜材料;(3)铝(掩模材料)沉积;(4)光刻胶沉积;(5)光刻 ;(6)光刻胶显影;(7)蚀刻铝层;(8)蚀刻硅衬底-DRIE;(9)光刻胶+光刻;(AA)

    에너지 측정을 위한 파라데이컵
    7.
    发明授权
    에너지 측정을 위한 파라데이컵 有权
    Paradaycup进行能量测量

    公开(公告)号:KR100905992B1

    公开(公告)日:2009-07-02

    申请号:KR1020070080012

    申请日:2007-08-09

    Abstract: 본 발명은 에너지 측정을 위한 파라데이컵에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 파라데이컵 일측 단부에 입사된 고에너지 빔 중 미소량이 통과하도록 미세 개구를 형성시켜 에너지 측정장치에서 고에너지 입자의 에너지를 측정할 수 있는 기능이 부가된 파라데이컵을 제공하기 위한 것이다.
    그 기술적 구성은 대전된 고에너지 빔에 포함된 고에너지 입자의 에너지 측정을 위하여, 관통형성된 미세 개구부를 포함하는 입자 포집체와, 상기 입자 포집체에서 포집된 입자의 전하량 측정을 위해 기준 전위를 형성하도록 구비된 접지체와, 상기 입자 포집체와 접지체 간의 절연을 위하여 구비된 절연체와, 상기 각 구성 요소에서 발생된 물질의 외부 방출을 막고, 대전된 입자가 상기 접지체로의 충돌을 막는 차폐 하우징을 포함하는 것을 특징으로 한다.
    파라데이컵, 에너지, 전하량, 형상, 미세 개구, 분광기, 에너지 분포

    레이저 유도 입자 가속을 위한 필름 타겟 및 그 제작 방법
    10.
    发明授权
    레이저 유도 입자 가속을 위한 필름 타겟 및 그 제작 방법 有权
    用于激光诱导颗粒加速的薄膜目标及其制造方法

    公开(公告)号:KR101623152B1

    公开(公告)日:2016-05-23

    申请号:KR1020140063997

    申请日:2014-05-27

    Abstract: 본발명은, 레이저가입사되는제 1 타겟층; 상기레이저의진행방향에따라서상기제 1 타겟층의뒤쪽에위치하며, 목표로하는이온빔이생성되는중간층; 및상기중간층을사이에두고상기제 1 타겟층과반대쪽에위치하는제 2 타겟층을포함하는것을특징으로하는레이저유도입자가속을위한필름타겟및 그제작방법에관한것으로서, 본발명에따르면, 제 1 타겟층과제 2 타겟층사이에서목표로하는이온빔이발생함으로써, 레이저선행펄스에의한영향에둔감하여, 레이저선행펄스를감소시키기위한추가적인기술이요구되지않는효과가있다.

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