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公开(公告)号：WO2019035578A1
公开(公告)日：2019-02-21
申请号：PCT/KR2018/008755
申请日：2018-08-01
Applicant: 한국전기연구원 , 주식회사 모다이노칩
IPC: H01L41/27 , H01L41/39 , H01L41/187 , H01L41/047 , H01L41/083
CPC classification number: H01L41/047 , H01L41/083 , H01L41/187 , H01L41/27 , H01L41/39
Abstract: 본 발명은, 내부 전극을 적용한 압전 세라믹 소자 및 그 제작방법에 있어서, 금속분말의 표면에 유리를 코팅하는 단계와, 세라믹 테이프에 상기 금속분말을 인쇄 및 적층하여 세라믹 적층체를 형성하는 단계를 포함하는 세라믹 소자 제조방법에 있어서, 상기 세라믹 적층체를 산화 분위기에서 1차 열처리하는 단계와; 산화 분위기보다 낮은 온도 및 환원 분위기에서 상기 세라믹 적층체를 2차 열처리하는 단계를 포함하는 것을 기술적 요지로 한다. 이에 의해 전극을 이루는 금속의 산화를 방지하기 위하여 코어-쉘 구조의 금속분말의 표면에 유리를 코팅하고, 세라믹 테이프의 환원을 방지하면서 일부 금속분말을 환원시키기 위해 낮은 온도에서 열처리를 추가로 수행하여 세라믹 적층 소자의 전기전도도를 증가시키는 효과를 얻을 수 있다.
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公开(公告)号：WO2020060062A1
公开(公告)日：2020-03-26
申请号：PCT/KR2019/011055
申请日：2019-08-29
Applicant: 한국전기연구원
Abstract: 본 발명은 금속산화물을 이용한 세라믹소자 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 금속산화물을 이용해 열처리 중에 금속이 산화되지 않도록 하여 수축 및 팽창을 방지하면서 나노포러스 구조를 갖는 세라믹소자와, 이를 제조하는 방법에 관한 것이다. 이러한 본 발명은 세라믹테이프; 산화구리, 산화니켈로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상의 금속산화물로 이루어진 코어 및 금속으로 이루어져 코어를 감싸는 쉘로 구성되어 표면에 유리가 코팅된 후 바인더와 혼합된 상태로 세라믹테이프에 프린팅되는 전극;을 포함하여 다층구조로 적층되는 세라믹적층체이되, 세라믹적층체는, 산화분위기 하에서 1차 열처리된 후, 환원분위기 하에서 2차 열처리될 시 금속산화물에서 산소가 분리되면서 금속으로 환원되고, 산소가 분리된 부분에 공극이 생성됨으로써 환원된 금속이 나노포러스(nanoporous) 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 금속산화물을 이용한 세라믹소자 및 이의 제조방법을 기술적 요지로 한다.
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公开(公告)号：WO2019083200A1
公开(公告)日：2019-05-02
申请号：PCT/KR2018/011979
申请日：2018-10-11
Applicant: 한국전기연구원
IPC: H01L21/68 , H01L21/67 , H01L21/687
CPC classification number: H01L21/67 , H01L21/68 , H01L21/687
Abstract: 본 발명은 피에조 엑츄에이터식 정밀 제어장치에 관한 것으로서, 바닥 중심부에는 나사홀이 형성되고, 몸체부에는 관통홀이 형성된 컵 2개를 입구가 마주보게 대향시켜 형성시킨 고정부 몸체와, 상기 고정부 몸체 내부에 삽입되며 양측에 결합고리가 형성된 인장스프링과, 상기 고정부 몸체의 관통홀에 삽입되어 상기 인장스프링 양측의 결합고리에 체결되는 체결핀으로 구성된 고정 모듈과; 중심축에 피벗(pivot)홈이 형성된 피에조 브라켓이 상단에 체결되며, 상기 고정 모듈의 측면에 세워지는 피에조와; 상기 고정부 몸체 하부의 나사홀에 하부나사로 체결되고, 상기 피에조 하단 안착홈이 형성된 지지판과; 상기 고정부 몸체 상부의 나사홀에 상부나사로 체결되고, 상기 피벗홈에 피벗이 피버팅(pivoting) 결합된 작동판으로; 구성되어 인장력은 상기 피에조가 형성시키고, 인장 복원력은 상기 인장스프링이 형성시키며, 상기 피에조 축의 복원력은 상기 피벗과 피벗홈의 피버팅에 의해 형성되는 것을 특징으로 한다.
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