公开(公告)号：WO2021221238A1

公开(公告)日：2021-11-04

申请号：PCT/KR2020/011998

申请日：2020-09-04

Applicant: 한국전기연구원

Inventor： 김호섭 ,  오상수 ,  조정현 ,  하홍수

IPC: C30B29/52 ,  C30B29/64 ,  C30B23/02 ,  H01L21/02 ,  H01L31/0224 ,  H01L39/12 ,  C01B32/194 ,  A01N59/00

Abstract: 본 발명에 따른 고온초전도 선재 제조장치는 진공챔버와, 상기 진공챔버 내부에 구비되는 증착물질 별로 구획부재에 의해 구획되는 복수의 증착공간과, 상기 진공챔버 내부에서 상기 복수의 증착공간을 모두 경유하는 길이로 형성되며, 외면에 기판의 이동을 안내하기 위한 가이드홈이 형성되는 가이드 드럼과, 상기 진공챔버 내부에서 상기 가이드 드럼의 일측에 구비되어 상기 가이드홈을 따라 기판을 공급하는 공급릴과, 상기 진공챔버 내부에서 가이드 드럼의 타측에 구비되어 상기 복수의 증착공간을 모두 경유한 기판을 회수하는 회수릴을 포함하고, 상기 구획부재는 진공챔버를 구성하며, 증착물질의 증발공간을 제공하는 하부챔버에서 각 증착물질의 타 공간 유입을 방지하기 위한 하부구획부재와, 진공챔버를 구성하며 기판에 증착된 물질의 반응공간을 제공하는 상부챔버를 하부챔버의 구획위치와 대응되도록 구획하는 상부구획부재;를 포함하도록 구성되고, 상기 상부구획부재와 하부구획부재의 각 일면은 상기 드럼의 외면 형상과 대응되도록 형성되는 것을 특징으로 한다.

公开(公告)号：WO2020091425A1

公开(公告)日：2020-05-07

申请号：PCT/KR2019/014492

申请日：2019-10-30

Applicant: 한국전기연구원

Inventor： 김호섭 ,  오상수 ,  하홍수 ,  조정현 ,  김관태 ,  노현우

IPC: C23C14/16 ,  C23C14/02 ,  C23C14/24 ,  C22C38/10 ,  C30B30/00 ,  C21D6/00 ,  H01L39/24 ,  H01L39/12

Abstract: 본 발명은 결정배향성이 우수한 단결정성 박막과 이의 제조방법, 단결정성 박막을 포함하는 반도체 소자, 전지 소자, 초전도선재 및 초전도 물품에 관한 것이다. 이러한 본 발명은, 다결정의 제1 물질로 형성된 기판의 상부에 다결정의 제2 물질이 증착되어 형성되고, 결정립계에서의 결정배향성이 하기 관계식 1을 만족하는 것을 특징으로 하는 단결정성 박막과 이의 제조방법, 단결정성 박막을 포함하는 반도체 소자, 전지 소자, 초전도선재 및 초전도 물품을 기술적 요지로 한다. [관계식 1] 0° 2 ≤ 3° (단, FWHM 2 는 박막 결정립계에서의 결정방위차 각도(misorientation angle) 분포곡선의 반가폭(full width at half maximum)이다.)