公开(公告)号：KR1020040042420A

公开(公告)日：2004-05-20

申请号：KR1020020070716

申请日：2002-11-14

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 이성규 ,  송기봉 ,  박강호 ,  김준호 ,  김은경 ,  박기환 ,  염우섭

IPC: G01N13/16

CPC classification number: G01Q60/32

Abstract: PURPOSE: A non-contact type measurement apparatus by using frequency response division and a measuring method thereof are provided to reduce the number of driving sections by measuring a surface level and vibrating a cantilever using one driver. CONSTITUTION: A non-contact type measurement apparatus includes a base section(10). An X-Y scanner(11) is aligned on the X-Y scanner(11). A sample(12) is positioned on the X-Y scanner(11). A cantilever(15) having a sensing section(13) is formed on the sample(12). One end of the cantilever(15) is supported by a driving section(16) and the other end of the cantilever(15) is provided with a tip(14). A fixing member(17) is provided to support the driving section(16). A sensing section(13) detects amplitude of frequency according to a variation of a distance between the tip(14) and the sample(12).

Abstract translation: 目的：提供使用频率响应分割的非接触型测量装置及其测量方法，以通过使用一个驱动器测量表面水平和振动悬臂来减少驱动部分的数量。 构成：非接触型测量装置包括基部（10）。 X-Y扫描仪（11）在X-Y扫描仪（11）上对准。 样品（12）位于X-Y扫描仪（11）上。 在样品（12）上形成具有感测部分（13）的悬臂（15）。 悬臂（15）的一端由驱动部分（16）支撑，并且悬臂（15）的另一端设置有尖端（14）。 设置固定构件（17）以支撑驱动部分（16）。 感测部（13）根据尖端（14）和样本（12）之间的距离的变化来检测频率的振幅。

公开(公告)号：KR100501893B1

公开(公告)日：2005-07-25

申请号：KR1020020070716

申请日：2002-11-14

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 이성규 ,  송기봉 ,  박강호 ,  김준호 ,  김은경 ,  박기환 ,  염우섭

IPC: G01N13/16

CPC classification number: G01Q60/32

Abstract: 본 발명은 표면 형상 측정을 위한 Z 방향 구동기를 사용함에 있어서, 하나의 구동기로 표면 높이를 추종하는 역할과 켄티레버를 그 고유진동수로 가진하는 역할을 동시에 할 수 있는 비접촉식 측정 장치 및 주파수 응답 분리법을 이용한 비접촉식 표면 측정 방법을 제공하기 위한 것으로, 이를 위해 본 발명은, X축 및 Y축 방향으로 이동하는 샘플과 일정 거리를 유지하면서 상기 샘플의 표면 형상을 자신의 공진 주파수의 진폭의 변화를 통해 센싱하는 센싱부; 상기 센싱부를 통해 센싱된 신호를 주파수 형태의 제1신호로 변환하여 출력하는 주파수 변환부; 상기 제1신호와 주파수 발생부로부터 출력되는 제2신호를 합성하는 주파수 합성부-상기 제2신호는 상기 공진 주파수와 동일하며 상기 제1신호에 비해 고주파임; 및 상기 합성된 신호 중 상기 제1신호에 응답하여 상기 센싱수단을 Z축 방향으로 구동시키며, 상기 센싱수단이 상기 제2신호에 선택적으로 동작하도록 하기 위해 상기 센싱수단에 상기 합성된 신호를 제공하는 구동부를 포함하는 비접촉식 측정 장치를 제공한다.
또한, 본 발명은 주파수 응답 분리법을 이용한 비접촉식 표면 측정 방법을 제공한다.