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公开(公告)号：KR1019930014863A
公开(公告)日：1993-07-23
申请号：KR1019910022922
申请日：1991-12-13
IPC: H01L21/66
Abstract: 본 발명은 간단한 광학시스템과 영상처리시스템을 이용해 반도체재료의 에너지 갭(Energy Gap)을 사정하기 위한 에너지 갭 측정방법에 관한 것으로 지금까지는 주로 이론적 바탕에 근거하여 분광 광도계를 통해 반도체 재료의 에너지 캡 크기를 유도했다.
그러나 본 발명은 투과 스펙트럼을 얻기 위해 광원(light source)의 파장을 연속적으로 변화시켜 시편에 주사시키는 기존의 분광 광도계(spectro photometer)를 사용하는 대신에 일정대역의 광원(에너지 갭(Eg)을 중심으로한 일정파장대신의 빛)을 일괄적으로 시편에 투과시켜 이 응답을 영상화한후 이 영상위에 디지틀 영상처리 시스템(digital image processing system)을 이용해 에너지 갭(Eg)값을 직접 읽어낼 수 있도록 영상기법을 이용한 반도체 에너지 갭 측정방법을 제공하는 것이다.-
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：KR1019940010644B1
公开(公告)日：1994-10-24
申请号：KR1019910022922
申请日：1991-12-13
IPC: H01L21/66
Abstract: The apparatus for screening energy gap of semiconductor material using an image processing system comprises a polychromator (3) for projecting the spectrum of light on a sample (4) through a lens (2), optical filters (5) for passing the image of transmission spectrum according to specific wave lengths, an image device (6) for converting image made of the corresponding filter's wave length to analog electrical signal, an image processing system (7) for converting digital signal and memorizing it an energy gap access & display device (8) for deciding function relation between pixel coordinates value and wave length.
Abstract translation: 用于使用图像处理系统筛选半导体材料的能隙的装置包括用于通过透镜（2）将样品（4）投射光谱的多色体（3），用于使透射图像通过的滤光器（5） 根据特定波长的光谱，用于将由相应滤波器的波长构成的图像转换为模拟电信号的图像装置（6），用于转换数字信号并将其存储的能量空间访问和显示装置（7）的图像处理系统（7） 8）用于决定像素坐标值和波长之间的函数关系。
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