公开(公告)号：KR100275536B1

公开(公告)日：2001-01-15

申请号：KR1019970069576

申请日：1997-12-17

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 조규형 ,  이광 ,  이종현

IPC: H01L27/085

Abstract: PURPOSE: A drive circuit for micro gyro is provided to maintain a desired size of reference vibration by tracking an operating point of a structure. CONSTITUTION: An inversion amplification portion(42) receives the frist control voltage. The first auxiliary amplification portion(43) receives an output of the inverse amplification portion(42) and the second control voltage and decides an operating point of the inverse amplification portion(42). A phase delay portion(44) is used for delaying a phase of the output of the inverse amplification portion(42). A non-inversion amplification portion(45) receives an output of the phase delay portion(44) and the second control voltage. An output of the non-inversion amplification portion(45) is connected with a structure. The second auxiliary amplification portion(46) receives an output of the non-inversion amplification portion(45) and the third control voltage and decides an operating point of the non-inversion amplification portion(45). An amplitude control portion(47) is used for controlling a size of a reference vibration of the structure.

Abstract translation: 目的：提供用于微型陀螺仪的驱动电路，以通过跟踪结构的操作点来保持所需尺寸的参考振动。 构成：反转放大部分（42）接收第一控制电压。 第一辅助放大部分（43）接收反向放大部分（42）的输出和第二控制电压，并且确定反向放大部分（42）的工作点。 相位延迟部分（44）用于延迟反向放大部分（42）的输出的相位。 非反转放大部分（45）接收相位延迟部分（44）的输出和第二控制电压。 非反转放大部（​​45）的输出与结构连接。 第二辅助放大部分（46）接收非反相放大部分（45）的输出和第三控制电压，并且确定非反相放大部分（45）的工作点。 振幅控制部（47）用于控制结构的基准振动的大小。

公开(公告)号：KR1019990051080A

公开(公告)日：1999-07-05

申请号：KR1019970070319

申请日：1997-12-19

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 조규형 ,  이광 ,  이종현

IPC: G01R31/00

Abstract: 본 발명은, 각속도 검출용 마이크로 자이로 센서의 미소 정전용량 변화를 검출함에 있어서 CMOS 공정으로 IC화가 가능한 전자회로의 구조에 관한 것이다.
종래의 마이크로 자이로(gyro)에서 정전용량의 미소변화를 검출하는 기존방식은 적분기의 동작점을 잡아 주면서 교류신호 이득을 보장하기 위해 큰 저항으로 부궤환을 하였을 때 발생되는 기생 정전용량(parasitic capacitor)로 인해 검출 감도가 저하되고 또한 CMOS 공정에서 큰 저항을 만들기가 용이하지 않다는 문제점이 있다. 본 발명에서는 약반전(weak inversion) CMOS를 이용한 트랜스컨덕터 증폭기로 적분기를 부궤환하여 동작점을 잡아 준다. 약반전의 CMOS는 동작전류가 아주 작으므로 트랜스컨덕터 증폭기의 대역주파수(f
H )를 충분히 낮게 설정할 수 있다. 따라서, 마이크로 자이로의 검출 교류신호대역에서 적분기의 이득에 영향을 주지 않고 동작점을 잡을 수 있다는 장점이 있다. 또한, 적분기 구조에서는 트랜스컨덕터 증폭기의 통과대역 주파수를 검출신호에 영향을 미치지 않는 범위 내에서 최대한 높이고 적분기의 대역주파수를 낮춤으로써 기존 방식의 대역통과 필터의 기능을 함께 수행할 수 있으므로 검출회로가 보다 간단해진다.

公开(公告)号：KR100269252B1

公开(公告)日：2000-10-16

申请号：KR1019970070319

申请日：1997-12-19

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 조규형 ,  이광 ,  이종현

IPC: G01R31/00

Abstract: PURPOSE: A circuit for detecting variations in capacitance is provided to be capable of detecting variations in capacitance depending on application of an angular velocity in a microgyro. CONSTITUTION: A circuit for detecting variations in capacitance includes an initial amplifier(33) of an integrator shape for detecting variations in the capacitance of a capacitor(31) in a microgyro. A transconductor amplifier(34) negative-feedbacks the output of the initial amplifier(33) to set an operating point. A gain amplifier(35) amplifies the output signal of the initial amplifier(33). An AM demodulator(36) of an envelope is used to obtain the output signal of the initial amplifier(33). An output buffer(37) buffers the output signal of the AM demodulator(36) to output an output signal Vout.

Abstract translation: 目的：提供用于检测电容变化的电路，以便能够根据微型光栅中的角速度的应用来检测电容的变化。 构成：用于检测电容变化的电路包括用于检测微电极中电容器（31）的电容变化的积分器形状的初始放大器（33）。 跨导放大器（34）负反馈初始放大器（33）的输出以设置工作点。 增益放大器（35）放大初始放大器（33）的输出信号。 使用包络线的AM解调器（36）来获得初始放大器（33）的输出信号。 输出缓冲器（37）缓冲AM解调器（36）的输出信号以输出输出信号Vout。

公开(公告)号：KR1019990050457A

公开(公告)日：1999-07-05

申请号：KR1019970069576

申请日：1997-12-17

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 조규형 ,  이광 ,  이종현

IPC: H01L27/085

Abstract: 본 발명은 각속도 검출용 마이크로 자이로(gyro)에서 구조체를 고유 진동수로 진동시키기 위한 전자회로에서 CMOS 공정으로 IC화가 가능한 회로구조에 관한 것이다. 그 목적은 구조체의 노화나 온도변화 등 동작환경의 변동에 따른 동작점을 추적함으로써 마이크로 자이로의 원하는 크기의 기준진동을 안정적으로 유발시킬 수 있는 마이크로 자이로용 구동회로를 제공하는 데에 있다. 그 특징은 반전 증폭수단과, 그 반전 증폭수단의 동작점을 결정하는 제 1 보조 증폭수단과, 그 반전 증폭수단의 출력의 위상을 지연시키는 위상 지연수단과, 비반전 증폭수단과, 그 반전 증폭수단의 동작점을 결정하는 제 2 보조 증폭수단 및 진폭 제어수단으로 구성되는 데에 있다. 그 효과는 기존의 회로에 비해 집적화가 용이하고 신뢰도가 높은 구동회로의 설계가 가능하다는 데에 있다.