公开(公告)号：KR101789274B1

公开(公告)日：2017-10-26

申请号：KR1020100132245

申请日：2010-12-22

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 여순일 ,  위재경 ,  이필수

IPC: G01R29/08 ,  G01R23/16 ,  G01R35/00

CPC classification number: G01R35/00 ,  G01R29/0814 ,  G01R29/0892

Abstract: 본발명은근장스캔보정방법및 장치에관한것으로서, 더욱상세하게는반도체칩의근장스캔측정용안테나의특정을보정하기근장스캔보정방법및 장치에관한것이다. 본발명에의하면, 평면형태를갖는평면테스트픽스처, 평면테스트픽스처와설정된이격거리에위치하며자기장(magnetic field)을포함한데이터를획득하는안테나, 및안테나에서획득한데이터를분석하는스펙트럼분석부를포함하는근장스캔보정장치가제공된다.

Abstract translation: 更具体地说，本发明涉及一种用于校正近场扫描的方法和装置，用于校正用于测量半导体芯片的近场扫描的天线的规格。 根据本发明，提供了一种具有平面形状的扁平测试夹具，扁平测试夹具，用于分析从天线获取的数据的频谱分析仪，用于获取包括磁场的数据的天线， 提供近视扫描校正装置。

公开(公告)号：KR1020120070789A

公开(公告)日：2012-07-02

申请号：KR1020100132245

申请日：2010-12-22

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 여순일 ,  위재경 ,  이필수

IPC: G01R29/08 ,  G01R23/16 ,  G01R35/00

CPC classification number: G01R35/00 ,  G01R29/0814 ,  G01R29/0892 ,  G01R23/16 ,  G01R29/0871 ,  G01R29/0878

Abstract: PURPOSE: A near-field scan correction method and apparatus are provided to easily obtain calibration data for manufacturing a probe by utilizing a circular or polygonal test fixture. CONSTITUTION: A near-field scan correction apparatus comprises a plane test fixture(300), an antenna(310) located at an interval from the plane test fixture to obtain data including a magnetic field, and a spectrum analysis unit analyzing the data obtained through the antenna.

Abstract translation: 目的：提供近场扫描校正方法和装置，以便通过利用圆形或多边形测试夹具容易地获得用于制造探针的校准数据。 构成：近场扫描校正装置包括平面测试夹具（300），与平面测试夹具间隔开的天线（310），以获得包括磁场的数据，以及频谱分析单元，分析通过 天线。