公开(公告)号：KR1019950021335A

公开(公告)日：1995-07-26

申请号：KR1019930029624

申请日：1993-12-24

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 박희복 ,  김윤태 ,  전치훈 ,  정기룡 ,  임태영

IPC: H01L21/68 ,  H01L21/66

Abstract: 본 발명은 산업용 장비 특히 반도체 제조장비에 많이 사용되고 있는 MFC(mass flow controller)의 고장진단장치에 관한 것이다.
본 발명은 주장비와 연결되게 하여 복수의 입출력신호가 인가되게 하는 콘넥터와, 상기 콘넥터를 통하여 인가되는 입력제어신호ⓐ와 출력신호③를 절환하여 표시장치로 선택적으로 제공하는 신호선택스위치와, 상기 콘넥터를 통하여 인가되는 소정의 직류전압을 인가하여 가변저항기에 의해 소정의 분압된 전압을 출력하는 전압안정화부를 구비하고, 상기 신호선택스위치중 점검신호선택스위치에 의해 상기 콘넥터를 통하여 인가되는 밸브제어단자신호와 밸브시험단자신호를 절환하여 상기 표시장치로 제공토록 절환되게 하는 것을 포함하는 것이다.

公开(公告)号：KR100126586B1

公开(公告)日：1998-04-02

申请号：KR1019930029624

申请日：1993-12-24

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 박희복 ,  김윤태 ,  전치훈 ,  정기룡 ,  임태영

IPC: H01L21/68 ,  H01L21/66

Abstract: A trouble diagnosis apparatus is provided to easily distinguish defects of MFC(mass flow controller). The apparatus comprises: a connector(1) for applying a plurality of input/output signals; a signal selecting switch(4,5) for selectively providing the input signal(a) and output signals to a display uint(6); and voltage stabilizing unit(8) for outputting divided voltage by a variable resistor(11). The signal selecting switch(5) is switched a valve control terminal signal and a valve testing terminal signal applied to the connector(1), and provided to the display unit(6). Thereby, it is possible to easily distinguish defects of MFC.

Abstract translation: 提供故障诊断装置以便于区分MFC（质量流量控制器）的缺陷。 该装置包括：用于施加多个输入/输出信号的连接器（1）; 信号选择开关（4,5），用于选择性地提供输入信号（a）并将信号输出到显示器uint（6）; 以及用于通过可变电阻器（11）输出分压的稳压单元（8）。 信号选择开关（5）切换阀控制端子信号和施加到连接器（1）的阀测试端子信号，并提供给显示单元（6）。 因此，可以容易地区分MFC的缺陷。