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公开(公告)号：KR100126586B1
公开(公告)日：1998-04-02
申请号：KR1019930029624
申请日：1993-12-24
Applicant: 한국전자통신연구원
Abstract: A trouble diagnosis apparatus is provided to easily distinguish defects of MFC(mass flow controller). The apparatus comprises: a connector(1) for applying a plurality of input/output signals; a signal selecting switch(4,5) for selectively providing the input signal(a) and output signals to a display uint(6); and voltage stabilizing unit(8) for outputting divided voltage by a variable resistor(11). The signal selecting switch(5) is switched a valve control terminal signal and a valve testing terminal signal applied to the connector(1), and provided to the display unit(6). Thereby, it is possible to easily distinguish defects of MFC.
Abstract translation: 提供故障诊断装置以便于区分MFC（质量流量控制器）的缺陷。 该装置包括：用于施加多个输入/输出信号的连接器（1）; 信号选择开关（4,5），用于选择性地提供输入信号（a）并将信号输出到显示器uint（6）; 以及用于通过可变电阻器（11）输出分压的稳压单元（8）。 信号选择开关（5）切换阀控制端子信号和施加到连接器（1）的阀测试端子信号，并提供给显示单元（6）。 因此，可以容易地区分MFC的缺陷。
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公开(公告)号：KR1019950021336A
公开(公告)日：1995-07-26
申请号：KR1019930029997
申请日：1993-12-27
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L21/68
Abstract: 본 발명은 반도체 제조공정의 통합화를 위한 클러스터 장비에 관한 것으로 특히 클러스터 장비용 카셋트 엘리베이터의 웨이퍼 위치 감지방법 및 장치에 관한 것으로 웨이퍼의 위치를 정확하게 감지하여 오동작을 피할 수 있도록 하기 위하여 클러스터 장비용 플랫폼에 웨이퍼를 공급, 회수하는 카셋트 엘리베이터의 UCL(Universal Cassetter Locator)에 놓여진 카셋트의 웨이퍼 위치를 명확히 감지하도록 플렛폼의 카셋트챔버에 가시광선의 광원(Visible Light Source)을 설치하여 웨이퍼를 인식하도록 함을 특징으로 함.
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公开(公告)号：KR1019950021334A
公开(公告)日：1995-07-26
申请号：KR1019930029355
申请日：1993-12-23
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L21/68
Abstract: 본 발명은 반도체공정을 통합하기 위한 반도체 제조장치에 관한 것으로 특히 치구를 사용하여 웨이퍼 반송장치와 공정 모듈간의 위치를 정렬할 수 있는 반도체 제조용 클러스트 장비에 관한 것이다.
종래의 클러스트는 웨이퍼 반송장치를 통해 공정챔버 내에 웨이퍼 정렬을 위한 입출력이 육안관찰에 의한 피동적인 방법으로 정량적으로 이루어지지 않으므로 공정챔버의 중심에 정확히 놓이지 않는 단점이 있었다.
본 발명은 상술한 문제점들을 극복하기 위한 것으로 웨이퍼 반송로봇이 내장된 공통된 하나의 반송챔버나 다수의 격리 밸브 및 부대 진공장치로 구성되는 클러스터 플렛폼과 이의 각 부착면에 다수의 공정모듈 및 카세트 모듈등의 부착모듈들이 장착되는 형태로 구성되어지는 복합반도체 제조장비에 있어서, 상기 웨이퍼의 반송을 위한 반송로봇과 상기 공정 모듈들간의 위치를 정렬하기 위해 각 공정모듈 내에 위치정렬 치구를 장착하여 R,θ좌표를 추출하여 정렬하는 반도체 제조용 클러스트 장비이다.-
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1019950021335A
公开(公告)日：1995-07-26
申请号：KR1019930029624
申请日：1993-12-24
Applicant: 한국전자통신연구원
Abstract: 본 발명은 산업용 장비 특히 반도체 제조장비에 많이 사용되고 있는 MFC(mass flow controller)의 고장진단장치에 관한 것이다.
본 발명은 주장비와 연결되게 하여 복수의 입출력신호가 인가되게 하는 콘넥터와, 상기 콘넥터를 통하여 인가되는 입력제어신호ⓐ와 출력신호③를 절환하여 표시장치로 선택적으로 제공하는 신호선택스위치와, 상기 콘넥터를 통하여 인가되는 소정의 직류전압을 인가하여 가변저항기에 의해 소정의 분압된 전압을 출력하는 전압안정화부를 구비하고, 상기 신호선택스위치중 점검신호선택스위치에 의해 상기 콘넥터를 통하여 인가되는 밸브제어단자신호와 밸브시험단자신호를 절환하여 상기 표시장치로 제공토록 절환되게 하는 것을 포함하는 것이다.-
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公开(公告)号：KR100133489B1
公开(公告)日：1998-04-23
申请号：KR1019930029355
申请日：1993-12-23
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L21/68
Abstract: 본 발명은 반도체 공정을 통합하기 위한 반도체 제조장치에 관한 것으로 특히 치구를 사용하여 웨이퍼 반송장치와 공정모듈간의 위치를 정렬할 수 있는 반도체 제조용 클러스트 장비의 위치정렬장치에 관한 것이다.
종래의 클러스트는 웨이퍼 반송장치를 통해 공정챔버 내에 웨이퍼 정렬을 위한 입출력이 육안관찰에 의한 피동적인 방법으로 정량적으로 이루어지지 않으므로 공정챔버의 중심에 정확히 놓이지 않는 단점이 있었다.
본 발명은 상술한 문제점들을 극복하기 위한 것으로 웨이퍼 반송로봇이 내장된 공통된 하나의 반송챔버나 다수의 격리밸브 및 부대 진공장치로 구성되는 클러스터 플랫폼과 이의 각 부착면에 다수의 공정모듈 및 카세트모듈 등의 부착모듈들이 장착되는 형태로 구성되어지는 복합 반도체 제조장비에 있어서, 상기 웨이퍼의 반송을 위한 반송로봇과 상기 공정모듈들간의 위치를 정렬하기 위해 각 공정모듈 내에 위치정렬치구를 장착하여, R, θ좌표를 추출하여 정렬하는 반도체 제조용 클러스트 장비의 위치정렬장치이다.-
公开(公告)号：KR100126588B1
公开(公告)日：1998-04-02
申请号：KR1019930029998
申请日：1993-12-27
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L21/68
Abstract: An aligning apparatus and method of wafer carrier is provided to exactly align the process chamber and the wafer carrier. The aligning method comprises the steps of: locating a light receiving unit(112) on the center of each facet of a platform(110); and locating a light emitting unit(107) used as visible light source to lower part of an arm for supporting an end effector of wafer carrier(100). Thereby, it is possible to exactly align the process chamber, cooling module and align module to the wafer carrier using photo-sensing device such as the light receiving and emitting units(112,107).
Abstract translation: 提供晶片载体的对准装置和方法以精确对准处理室和晶片载体。 对准方法包括以下步骤：将光接收单元（112）定位在平台（110）的每个小平面的中心; 以及将用作可见光源的发光单元（107）定位到用于支撑晶片载体（100）的末端执行器的臂的下部。 因此，可以使用诸如光接收和发射单元（112,107）的光感测装置将处理室，冷却模块和对准模块精确地对准晶片载体。
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公开(公告)号：KR100126587B1
公开(公告)日：1998-04-02
申请号：KR1019930029997
申请日：1993-12-27
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L21/68
Abstract: An apparatus and method for sensing an wafer position of cassette elevator is provided to exactly sense the position of wafer. The wafer position sensing apparatus comprises: a light emitting unit(19) used as an visible light source and located to back-side of an wafer cassette elevator chamber(1); and a light receiving unit(15) used as sensing module of wafer and located to a chamber door of the wafer cassette. Thereby, it is possible to exactly sense the wafer position in the cassette formed on UCL(universal cassette locator).
Abstract translation: 提供用于检测盒式电梯的晶片位置的装置和方法以精确地感测晶片的位置。 晶片位置检测装置包括：发光单元（19），用作可见光源并位于晶片盒式电梯室（1）的后侧; 以及光接收单元（15），用作晶片的感测模块并且位于晶片盒的室门上。 因此，可以精确地感测在UCL（通用盒定位器）上形成的盒中的晶片位置。
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