公开(公告)号：KR100135954B1

公开(公告)日：1998-04-29

申请号：KR1019940001052

申请日：1994-01-20

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 김동호 ,  김창순 ,  유성규 ,  전병혁

IPC: G01J3/28

Abstract: Y자형 광섬유다발을 이용한 전파장 동시측정 분광광도계에 관한 것으로 액체상태의 각종 화학물질의 분광특성을 순간적으로 측정하기 위한 전파장 동시측정 분광광도계에 관한 것으로 광원 A 1와 광원 B 2에서 나오는 각기 다른 파장영역의 빛을 Y자형 광섬유다발 3에 연결하여 시료에 입사시킴으로서 광범위한 파장영역의 분광특성을 동시에 측정할 수 있게 함을 특징으로 하는 Y자형 광섬유다발을 이용한 전파장 동시측정 분광광도계.

公开(公告)号：KR1019970010932B1

公开(公告)日：1997-07-02

申请号：KR1019940001051

申请日：1994-01-20

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 김창순 ,  김동호 ,  유성규 ,  정기룡

IPC: G01J3/00

Abstract: A color measuring apparatus by using an optical fiber and a small equator is disclosed. In the color measuring apparatus, light from a light source(1) is irradiated to a measuring sample through an optical fiber bundle(3) and is transmitted to a equator(4) so that a reflected light is multi-reflected in the equator(4). An inside of the equator(4) is coated by a material having a high reflexibility. Some illuminance of a surface of equator(4) which is multi-reflected and leveled in the equator(4) is again transmitted to a spectroscope(2) via optical fiber bundle(3).

Abstract translation: 公开了一种使用光纤和小赤道的色彩测量装置。 在颜色测量装置中，来自光源（1）的光通过光纤束（3）照射到测量样品，并被传送到赤道（4），使得反射光在赤道中被多重反射 4）。 赤道（4）的内部被具有高反射性的材料涂覆。 在赤道（4）中被多反射和平坦化的赤道（4）的表面的一些照度通过光纤束（3）再次传输到分光镜（2）。

公开(公告)号：KR1020010011862A

公开(公告)日：2001-02-15

申请号：KR1019990031425

申请日：1999-07-30

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 임해용 ,  김인선 ,  김동호 ,  박용기

IPC: H01L21/34

Abstract: PURPOSE: A method for forming a YBCO(YBa2Cu3O7-delta) thin film using a sapphire substrate is to improve a critical current density and a critical temperature of the YBCO to be formed on an upper part of a CeO2 film by improving a surface roughness of the CeO2 to be used as a buffer film. CONSTITUTION: A method for forming a YBCO thin film comprises the steps of: locating a sapphire substrate(30) on a substrate holder of a resonance chamber in a PLD(Pulsed Laser Deposition) equipment; regulating and maintaining the temperature of the substrate holder in the range of 750 to 850 deg.C; depositing a CeO2 film(32) as a buffer film on the sapphire substrate by scanning a laser beam to a target of the CeO2 material after regulating the inner pressure of the resonance chamber in the range of 45 to 55 mTorr, and an energy density of an excimer laser in the range of 0.8 to 2.0 J/square centimeter; and depositing a YBCO thin film(34) on the CeO2 film by an in-situ within the resonance chamber. The CeO2 is formed at a thickness of 10 to 100 nm.

Abstract translation: 目的：使用蓝宝石衬底形成YBCO（YBa2Cu3O7-δ）薄膜的方法是通过改善在CeO 2膜的上部上形成的YBCO的临界电流密度和临界温度来提高其表面粗糙度 CeO2用作缓冲膜。 构成：用于形成YBCO薄膜的方法包括以下步骤：将蓝宝石衬底（30）定位在PLD（脉冲激光沉积）设备中的谐振室的衬底保持器上; 将基板保持器的温度调节和维持在750〜850℃的范围内; 通过在将共振室的内部压力调节到45〜55mTorr的范围内，将激光束扫描到CeO 2材料的靶上，在蓝宝石衬底上沉积CeO 2膜（32）作为缓冲膜，并且将能量密度 准分子激光器的范围为0.8〜2.0J /平方厘米; 以及在共振室内原位沉积在CeO 2膜上的YBCO薄膜（34）。 CeO 2的厚度为10〜100nm。

公开(公告)号：KR100302645B1

公开(公告)日：2001-09-29

申请号：KR1019990031425

申请日：1999-07-30

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 임해용 ,  김인선 ,  김동호 ,  박용기

IPC: H01L21/34

Abstract: 본발명은임계전류밀도및 임계온도를향상시킬수 있는사파이어기판을이용한 YBCO박막의형성방법에관한것이다. 본발명에따른사파이어기판을이용한 YBCO박막의형성방법은, 사파이어기판을 PLD설비의진공챔버의기판홀더상에위치시키는단계, 상기기판홀더의온도를 750 ℃내지 850 ℃로조절하고그 온도를유지하는단계, 상기진공챔버의내부압력을 45 mTorr 내지 55 mTorr로조절하고, 엑시머레이저의에너지밀도를 0.8 J/㎠내지 2.0 J/㎠로조절하여세륨옥사이드재질의타겟에레이저빔을주사함으로써상기사파이어기판상에버퍼막으로세륨옥사이드막을증착하는단계및 상기진공챔버내부에서인시튜로상기세륨옥사이드막상에 YBCO박막을증착하는단계를포함하여이루어지는것을특징으로한다. 따라서, YBCO박막의임계전류밀도및 임계온도가향상되어상기 YBCO박막이응용되는마이크로파소자, 한류기, SQUID 및 SFQ 등의전자소자의신뢰도를향상시킬수 있는효과가있다.

公开(公告)号：KR1020010017666A

公开(公告)日：2001-03-05

申请号：KR1019990033321

申请日：1999-08-13

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 임해용 ,  김인선 ,  김동호 ,  박용기

IPC: H01L39/24

Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a step-edge Josephson junction is to reduce a manufacturing cost by forming a Josephson junction on an inexpensive sapphire substrate, and to provide a current-voltage characteristic having a high critical value of critical current(Ic) multiplied by normal resistance(Rn) by making a step edge have a low inclination angle. CONSTITUTION: A gold layer is formed on a sapphire substrate. The first photoresist pattern is formed on the gold layer. The gold and a part of the sapphire substrate are dry-etched to an inclined step shape by using the first photoresist pattern and an etching mask. The photoresist pattern and the gold layer are eliminated. A cerium oxide layer is formed on the sapphire substrate having the step shape. A YBCO layer is formed on the cerium oxide layer. The second photoresist pattern having a desired junction shape is formed on the YBCO layer. The YBCO layer and the cerium oxide layer are sequentially dry-etched by using the second photoresist pattern as an etching mask.

Abstract translation: 目的：制造阶梯式约瑟夫逊结的方法是通过在便宜的蓝宝石衬底上形成约瑟夫逊结来降低制造成本，并提供具有高临界临界电流（Ic）乘以的电流 - 电压特性 通过使台阶边缘具有低倾斜角度的正常电阻（Rn）。 构成：在蓝宝石衬底上形成金层。 第一光致抗蚀剂图案形成在金层上。 通过使用第一光致抗蚀剂图案和蚀刻掩模，将金和蓝宝石衬底的一部分干蚀刻成倾斜的台阶形状。 消除了光刻胶图案和金层。 在具有台阶形状的蓝宝石基板上形成氧化铈层。 YBCO层形成在氧化铈层上。 具有所需结点形状的第二光致抗蚀剂图案形成在YBCO层上。 通过使用第二光致抗蚀剂图案作为蚀刻掩模，依次干蚀刻YBCO层和氧化铈层。

公开(公告)号：KR1020000051127A

公开(公告)日：2000-08-16

申请号：KR1019990001404

申请日：1999-01-19

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 전병혁 ,  정세채 ,  김동호

IPC: G01N21/00

Abstract: PURPOSE: A multi functional spectrograph adopting a CCD detector and an integrator is provided to improve productivity and precision of detection of light property such as absorption, permeability, reflectivity, light emitting distribution and the like without using any additional equipments such as spectrophotometer, reflect meter, spectrum analyzer, etc. CONSTITUTION: A multi functional spectrograph adopting a CCD detector and an integrator includes a light source(11) formed with a tungsten lamp(1), a laser(2) and a spectrum(10), an integrator(4) fixed with a light cover inside for preventing reflection of light directly on a part to detect when radiating light beams on a sample(13) laid on a lower part, and a detecting part(12) including a spectrum(6), a CCD detector(5) and a high speed data obtaining element(7) respectively connected with each other by optical fibers(3) and optical fiber probes(9).

Abstract translation: 目的：提供采用CCD检测器和积分器的多功能光谱仪，以提高吸收，渗透性，反射率，发光分布等光特性检测的生产率和精度，无需使用分光光度计，反射计等附加设备 ，频谱分析仪等。构成：采用CCD检测器和积分器的多功能光谱仪包括由钨灯（1），激光器（2）和光谱（10），积分器（10）形成的光源（11） 4）固定有内部的灯罩，用于防止光直射在部件上的反射，以便在放置在下部的样品（13）上辐射光束时检测;以及检测部分（12），包括光谱（6）， CCD检测器（5）和分别通过光纤（3）和光纤探针（9）彼此连接的高速数据获取元件（7）。

公开(公告)号：KR1019950023970A

公开(公告)日：1995-08-21

申请号：KR1019940001051

申请日：1994-01-20

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 김창순 ,  김동호 ,  유성규 ,  정기룡

IPC: G01J3/00

Abstract: 광섬유와 소형적부구를 이용한 색채측정기에 관한 것으로서, 광원(1)에서 나오는 빛을 광섬유다발(3)을 경유 측정시료에 조사한후 적분구(4)에 연결하여 반사광을 적분구내에서 다중반사를 하도록 하되 적분구(4)의 내부는 반사율이 높은 물질로 도포하며 적분구(4)에서 다중반사하여 평준화된 적분구면의 일부 조도를 다시 광섬유다발(3)을 경유분광장치(2)로 연결함과 동시 45/0도 측정방식의 보조장치(5)를 병열연결함으로서 분광한후 어레이디텍터로 파장별 강도를 측정하고 이 값들을 컴퓨터(6)로 읽어와서 색채계산을 위한 소프트웨어로 색채를 계산하여 화면이나 프린터로 출력하게 하는 것을 특징으로 하는 광섬유와 소형적분구를 이용한 색채측정기.

公开(公告)号：KR100324461B1

公开(公告)日：2002-02-27

申请号：KR1019990033321

申请日：1999-08-13

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 임해용 ,  김인선 ,  김동호 ,  박용기

IPC: H01L39/24

Abstract: 본발명은계단형모서리조셉슨접합의제조방법에관한것이다. 본발명에따른계단형모서리조셉슨접합의제조방법은사파이어기판상에금(Au)막을형성하는단계; 상기금막상에제 1 포토레지스트패턴을형성하는단계; 상기제 1 포토레지스트패턴을식각마스크로사용하여상기금막및 상기사파이어기판의일부가경사진계단형상으로되도록식각하는제 1 건식식각단계; 상기제 1 포토레지스트패턴과금막을제거하는단계; 상기계단형상을갖는사파이어기판상에세륨옥사이드막을형성하는단계; 상기세륨옥사이드막상에 YBCO막을형성하는단계; 상기 YBCO막상에원하는접합형상의제 2 포토레지스트패턴을형성하는단계; 및상기제 2 포토레지스트패턴을식각마스크로사용하여상기 YBCO막과상기세륨옥사이드막을순차적으로식각하는제 2 건식식각단계;를포함하여이루어지는것을특징으로한다. 따라서, 재현성있는조셉슨접합을제조할수 있고, 초전도박막의임계전류값과정상저항값을용이하게조절할수 있는효과가있다.

公开(公告)号：KR1019950023971A

公开(公告)日：1995-08-21

申请号：KR1019940001052

申请日：1994-01-20

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 김동호 ,  김창순 ,  유성규 ,  전병혁

IPC: G01J3/28

Abstract: Y자형 광섬유다발을 이용한 전파장 동시측정 분광광도계에 관한 것으로 액체상태의 각종 화학물질의 분광특성을 순간적으로 측정하기 위한 전파장 동시측정 분광광도계에 관한 것으로 광원A1와 광원B2에서 나오는 각기 다른 파장영역의 빛을 Y자형 광섬유다발 3에 연결하여 시료에 입사시킴으로서 광범위한 파장영역이 분광특성을 동시에 측정할 수 있게 함을 특징으로 하는 Y자형 광섬유다발을 이용한 전파장 동시측정 분광광도계.

公开(公告)号：KR100302547B1

公开(公告)日：2001-09-22

申请号：KR1019990001404

申请日：1999-01-19

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 전병혁 ,  정세채 ,  김동호

IPC: G01N21/00

Abstract: 본발명은시료의흡수율, 투과율, 반사율, 발광분포등을한 번의시료로딩으로써간편하고정밀하게측정할수 있는다기능분광분석기에관한것으로서, 더욱상세하게는 CCD 및적분구를채택함으로써미세광량을측정가능하도록하고이를통하여다양한형태의시료를각기다른광학적특성을한 번의시료로딩(Loading)으로써짧은시간동안측정가능하도록한 CCD 검출기와적분구를채택한다기능분광분석기에관한것이다. 본발명의분광분석기는크게광원부(11)와시료(13)를로딩(Loading)할수 있는적분구(4), 그리고컴퓨터(8)를포함한측정부(12)로나누어져있다. 상기, 광원부(11)는텅스텐램프(1)와레이저(2) 및분광기(Monochromator) (10)로형성되어있으나그 외에 UV 램프(UV Lamp) 또는후레쉬램프등 다양한종류의광원을사용할수 있으며광원의경로는모두광파이버(Optical fiber)(3)와광파이버탐침(Optical fiber Probe)(9)을사용하고있다. 상기, 적분구(4)의내부는 PTFE로코팅이되어있고광원을시료(Sample)에주사하였을때 직접적으로검출(Detection)하는부분으로반사되지않게빛 가리개(14)를고정시켰으며또한시료(13)는적분구(4) 하부의측정부위에맞대놓고측정하게된다. 상기, 측정부(12)는빛을분광시키는분광기(Spectrograph)(6)와분광된파장을 CCD 검출기(detector)(5)로측정하게되며데이터취득기(Acquisition)(7)를거쳐컴퓨터(8)에서소프트웨어로흡수율, 투과율, 반사율, 발광분포등 기타여러가지를한 번에측정할수 있다.