公开(公告)号：KR1020150085277A

公开(公告)日：2015-07-23

申请号：KR1020140004971

申请日：2014-01-15

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 강상우 ,  신용현 ,  윤주영 ,  이상준 ,  박명수

IPC: G01N21/552 ,  G01N21/3504

Abstract: 본실시예에따른가스상태의흡착종분석장치는내부가진공으로유지되며, 적외선광이진출입되는입사창과출사창이측벽에동축배치되는반응기; 상기반응기의상부면에결합되며, 내부공간부가진공으로유지되는플라즈마장치; 상기반응기와플라즈마장치사이에개재되며, 상기플라즈마장치와마주보는면을분석대상물질이통과하는크리스털; 상기크리스털이중앙부근에결합되며, 일단은상기반응기의상부면에고정되어주변온도를조절하는크리스털히팅홀더; 상기크리스털히팅홀더와결합되며, 상기크리스털과대응되는위치에요홈이형성되는홀더부재; 상기출사창에서출력되는적외선빔을검출하는검출기; 및검출된빔의세기를이용하여시료의정성및 정량분석을수행하는분석기;를포함하며, 상기크리스털은상기플라즈마장치와마주보는면의표면에분산배치되는나노파티클을포함하는것을특징으로한다.

Abstract translation: 根据本发明实施方案的气相中吸附物质的分析装置包括其内部可以保持在真空状态的反应器，并且用于使红外光通过的入口窗和出口窗同轴地布置在 侧墙; 连接到反应器的上表面的等离子体装置，其中内部空间单元可以保持在真空状态; 设置在反应器和等离子体装置之间的晶体，其中分析物通过面向等离子体装置的表面; 固定在反应器的上表面并控制环境温度的晶体加热器，其中晶体连接到其中心; 连接到晶体加热保持器的保持器元件，其中在对应于晶体的位置形成有槽; 检测器，检测从出口窗口输出的红外线束; 以及通过使用所检测的光束强度对样品进行定性和定量分析的分析仪，其特征在于包括纳米颗粒，其中所述晶体被分配设置在面向所述等离子体装置的表面上。