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公开(公告)号：KR102230740B1
公开(公告)日：2021-03-23
申请号：KR1020190099687A
申请日：2019-08-14
CPC classification number: H01L21/67242 , G01J3/44 , G01N11/00 , G01N21/65 , H01L21/02205 , H01L21/0228 , H01L22/12 , H01L22/30
Abstract: 본 발명은, 재료가 수용되는 샘플용기와, 상기 샘플용기의 일측에 배치되며, 상기 샘플용기로부터 증발된 재료가 이송되는 버퍼챔버와, 상기 샘플용기와 버퍼챔버 사이에 배치되며, 상기 샘플용기를 개폐시키는 고정플랜지와, 상기 버퍼챔버와 연결되며, 증발된 재료를 수집하는 샘플링챔버와, 상기 버퍼챔버와 연결되며, 증발된 재료가 공급되어 증착막을 형성하는 증착챔버와, 상기 증착챔버와 연결되며, 상기 증발된 재료가 증착될 기판을 상기 증착챔버 내부로 로딩(loading) 또는 언로딩(un-loading)시키는 로드락챔버를 포함하며, 상기 샘플용기와 연결되며, 상기 샘플용기 내부에 수용된 재료의 점도를 측정하는 점도 측정 모듈, 상기 버퍼챔버와 연결되며, 상기 버퍼챔버 내부에 수용된 증발된 재료의 증기압을 측정하는 증기압 측정 모듈, 상기 로드락챔버 내부의 상기 기판 상에 증착된 증착막의 물성을 평가하는 박막 측정 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 인시츄 물성 평가 장치를 기술적 요지로 한다. 이에 의해 본 발명은 유기증착재료를 이용한 박막 증착 공정에 있어서 증착 전 재료인 전구체 뿐만 아니라 증착 후의 증착막에 대한 분석을 종합적으로 수행할 수 있는 인시츄 물성 평가 장치를 제공하게 된다.
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公开(公告)号：WO2020141669A1
公开(公告)日：2020-07-09
申请号：PCT/KR2019/007463
申请日：2019-06-20
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01L21/67 , C23C16/448 , H01L21/687
Abstract: 본 발명은 액상 전구체 디개서에 관한 것으로, 디개싱(degassing)시킬 액상 전구체가 수용되는 수용공간을 형성하는 캐니스터; 캐니스터와 진공라인을 통해 연결되고, 캐니스터에서 액상 전구체가 수용된 수용공간 내에 진공상태를 설정하여 주는 진공펌프; 및 캐니스터 내 수용공간에 마련되며, 수용공간 내에 수용된 액상 전구체가 수용공간 내 빈 공간인 디개싱 공간 상에 노출되는 표면적을 증대시켜주는 노출 표면적 증대수단이 마련되어 있어, 액상 전구체의 디개싱 효율을 증대시켜주며, 액상 전구체의 증기압에 대한 측정 정확성을 증진시켜줄 수 있는 기술이 개시된다.
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公开(公告)号：WO2019240482A1
公开(公告)日：2019-12-19
申请号：PCT/KR2019/007046
申请日：2019-06-12
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명에서는 로드락 챔버를 이용하여 장시간 열안정성 평가 시 대기와의 접촉을 방지하고, 테스트를 연속적으로 진행하면서 원하는 시간마다 샘플링이 가능한 고온 보관 장치가 개시된다. 재료가 수용되는 보관 용기; 보관 용기의 내부로부터 외부로 연장되는 액추에이터; 보관 용기의 상부에 배치되며, 보관 용기와 액추에이터를 고정하는 홀더; 보관 용기의 일부를 감싸도록 배치되어 재료를 증발시키는 가열부; 및 홀더와 연결되는 로드락 챔버를 포함하고, 액추에이터는, 구동에 의해 보관 용기의 내부를 왕복 이동하는 로드부를 포함하고, 로드락 챔버는 이송 부재를 포함하여 증발된 재료가 증착될기판을 홀더의 내부로 로딩(loading) 또는 언로딩(un-loading)하는 고온 보관장치가 개시된다.
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公开(公告)号：KR102230740B1
公开(公告)日：2021-03-23
申请号：KR1020190099687
申请日：2019-08-14
Abstract: 본발명은, 재료가수용되는샘플용기와, 상기샘플용기의일측에배치되며, 상기샘플용기로부터증발된재료가이송되는버퍼챔버와, 상기샘플용기와버퍼챔버사이에배치되며, 상기샘플용기를개폐시키는고정플랜지와, 상기버퍼챔버와연결되며, 증발된재료를수집하는샘플링챔버와, 상기버퍼챔버와연결되며, 증발된재료가공급되어증착막을형성하는증착챔버와, 상기증착챔버와연결되며, 상기증발된재료가증착될기판을상기증착챔버내부로로딩(loading) 또는언로딩(un-loading)시키는로드락챔버를포함하며, 상기샘플용기와연결되며, 상기샘플용기내부에수용된재료의점도를측정하는점도측정모듈, 상기버퍼챔버와연결되며, 상기버퍼챔버내부에수용된증발된재료의증기압을측정하는증기압측정모듈, 상기로드락챔버내부의상기기판상에증착된증착막의물성을평가하는박막측정모듈을포함하는것을특징으로하는인시츄물성평가장치를기술적요지로한다. 이에의해본 발명은유기증착재료를이용한박막증착공정에있어서증착전 재료인전구체뿐만아니라증착후의증착막에대한분석을종합적으로수행할수 있는인시츄물성평가장치를제공하게된다.
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公开(公告)号：KR1020210021192A
公开(公告)日：2021-02-25
申请号：KR1020190099687
申请日：2019-08-14
Abstract: 본발명은, 재료가수용되는샘플용기와, 상기샘플용기의일측에배치되며, 상기샘플용기로부터증발된재료가이송되는버퍼챔버와, 상기샘플용기와버퍼챔버사이에배치되며, 상기샘플용기를개폐시키는고정플랜지와, 상기버퍼챔버와연결되며, 증발된재료를수집하는샘플링챔버와, 상기버퍼챔버와연결되며, 증발된재료가공급되어증착막을형성하는증착챔버와, 상기증착챔버와연결되며, 상기증발된재료가증착될기판을상기증착챔버내부로로딩(loading) 또는언로딩(un-loading)시키는로드락챔버를포함하며, 상기샘플용기와연결되며, 상기샘플용기내부에수용된재료의점도를측정하는점도측정모듈, 상기버퍼챔버와연결되며, 상기버퍼챔버내부에수용된증발된재료의증기압을측정하는증기압측정모듈, 상기로드락챔버내부의상기기판상에증착된증착막의물성을평가하는박막측정모듈을포함하는것을특징으로하는인시츄물성평가장치를기술적요지로한다. 이에의해본 발명은유기증착재료를이용한박막증착공정에있어서증착전 재료인전구체뿐만아니라증착후의증착막에대한분석을종합적으로수행할수 있는인시츄물성평가장치를제공하게된다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR102204627B1
公开(公告)日：2021-01-20
申请号：KR1020180173329
申请日：2018-12-31
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01L21/67 , C23C16/448 , H01L21/687
Abstract: 본발명은반도체제조공정등에이용되는액상전구체디개서에관한것으로, 본발명에따르면, 디개싱(degassing)시킬액상전구체가수용되는수용공간을형성하는캐니스터; 상기캐니스터와진공라인을통해연결되고, 상기캐니스터에서상기액상전구체가수용된상기수용공간내에진공상태를설정하여주는진공펌프; 상기캐니스터내의상기수용공간내에배치되며, 상면에공급된상기액상전구체가원심력에의해상면상에고르게분산도포된후 테두리측으로이동되도록회전하는스핀디스크(spin disk); 및상기스핀디스크를회전시켜주는회전수단; 을포함하므로, 액상전구체의디개싱효율을증대시켜주며, 액상전구체의증기압에대한측정의정확성을향상시켜줄수 있는기술이개시된다.
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公开(公告)号：KR102147363B1
公开(公告)日：2020-08-25
申请号：KR1020180174059
申请日：2018-12-31
IPC: G05B19/4065 , G05B19/418
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公开(公告)号：KR101921567B1
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：KR1020160136438
申请日：2016-10-20
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H02S10/10 , H02S20/30 , H02S40/22 , H02N11/00 , H01L31/042 , H01L41/113 , H02K35/00 , H02S40/10
CPC classification number: Y02E10/52
Abstract: 자체적으로운용에필요한기본전력을생산하여, 세정과정을구현하는태양광발전모듈이개시된다. 본발명에따르면, 물위에부유한상태로별도의외부전원의공급없이도, 압전모듈을이용하여주기적으로초음파세정을수행하여자체유지보수를구현하고, 구동에필요한기본전력을태양열과파랑에너지를이용한열전모듈과압전모듈을통해확보하는수상형복합발전장치를제공할수 있다.
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