公开(公告)号：KR101036442B1

公开(公告)日：2011-05-24

申请号：KR1020090029361

申请日：2009-04-06

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 강상우 ,  윤주영 ,  신용현 ,  안봉현 ,  조승현

IPC: H01L21/00

Abstract: 본 발명은 반도체 디스플레이 공정에서 발생하는 오염입자를 음파를 이용해 집속하고 선별 및 분리하는 장치 및 방법에 관한 것으로, 본 발명의 이용해 의하여 오염입자 측정장치의 효율을 극대화시킬 수 있다.
음파, 트랜스듀서, 반사체, 오염입자, 입자 측정기, 선별, 분리, 집속

公开(公告)号：KR1020100111012A

公开(公告)日：2010-10-14

申请号：KR1020090029361

申请日：2009-04-06

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 강상우 ,  윤주영 ,  신용현 ,  안봉현 ,  조승현

IPC: H01L21/00

CPC classification number: H01L21/67017 ,  B01D51/02

Abstract: PURPOSE: An apparatus and a method for collecting contaminated particles using sonic waves are provided to collect, separate, and select the contaminated particles in a semiconductor and display process. CONSTITUTION: An apparatus for collecting contaminated particles using sonic waves includes a discharge pipe(100), a transducer(210), a sonic wave emitting unit(220), and a reflector(300). The discharge pipe includes an inlet(110) and an outlet(120). The transducer generates a sonic wave. The sonic wave emitting unit has a sonic wave emitting surface(220S) separated from the central axis of the discharge pipe in a transverse direction. The reflector has a reflective surface(300S) facing the sonic wave emitting surface from the central axis of the discharge pipe.

Abstract translation: 目的：提供一种使用声波收集污染颗粒的设备和方法，用于在半导体和显示过程中收集，分离和选择污染颗粒。 构成：使用声波收集污染颗粒的装置包括排放管（100），换能器（210），声波发射单元（220）和反射器（300）。 排出管包括入口（110）和出口（120）。 换能器产生声波。 声波发射单元具有在横向上与放电管的中心轴分离的声波发射表面（220S）。 反射器具有从排出管的中心轴线朝向声波发射表面的反射表面（300S）。