-
公开(公告)号：KR1020110034430A
公开(公告)日：2011-04-05
申请号：KR1020090091953
申请日：2009-09-28
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: PURPOSE: A particle beam mass spectroscopy is provided to improve the productivity and yield by monitoring the nano particles. CONSTITUTION: An aerodynamic lens(10) forms a particle beam by accelerating the gas flow. An electron gun(30) forms charged particle beam by ionizing the particle beam and accelerating thermoelectron. A deflector(40) refracts the charged particle beam by the kinetic energy to charge ratio. A sensor(50) measures current by the charged particle beam. A magnetic field generating unit creates restriction magnet field for restricting thermoelectron.
Abstract translation: 目的：提供粒子束质谱以通过监测纳米颗粒来提高生产率和产率。 构成：气动透镜（10）通过加速气流形成粒子束。 电子枪（30）通过电离粒子束并加速热电子形成带电粒子束。 偏转器（40）通过动能与充电比折射带电粒子束。 传感器（50）通过带电粒子束测量电流。 磁场产生单元产生用于限制热电子的限制磁场。
-
公开(公告)号：KR101104213B1
公开(公告)日：2012-01-09
申请号：KR1020090091953
申请日：2009-09-28
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 입자 빔 질량 분석기를 제공한다. 이 입자 빔 질량 분석기는 가스 유동(gas flow)을 입력받아 가스 유동을 가속하여 입자 빔을 형성하는 공기 역학 렌즈, 열전자를 가속하여 입자 빔을 이온화시키어 하전 입자 빔을 형성하는 전자총, 하전 입자빔을 운동 에너지 대 전하 비(kinetic energy to charge ratio)에 따라 굴절시키는 디플렉터, 및 굴절된 하전 입자 빔에 의한 전류를 측정하는 감지부를 포함한다. 상기 전자총은 입자 빔을 통과시키는 원통 형상의 내부 그물, 상기 내부 그물의 외부에 배치된 원통 형상의 외부 그물, 내부 그물 및 내부 그물의 사이에 배치되어 열전자를 생성하는 필라멘트, 및 외부 그물의 외부에 배치되어 열전자를 구속하는 구속 자기장을 생성하는 자기장 생성부를 포함한다.
전자총, 나노 파티클, 구속 자기장, 집속 자기장, 필라멘트, 입자 빔-
公开(公告)号：KR101062663B1
公开(公告)日：2011-09-06
申请号：KR1020090092123
申请日：2009-09-29
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01L21/00
Abstract: 본 발명은 유전체 창문 오염 방지 장치, 자체 플라즈마 광 방출 스펙트럼 장치, 및 입자 측정 장치를 제공한다. 이 유전체 창문 오염 방지 장치는 진공 용기에 부착된 플랜지와 결합하는 유전체 창문, 및 유전체 창문의 주위 또는 플랜지에 배치되어 오염 방지 가스를 상기 유전체 창문에 제공하는 노즐부를 포함한다.
나선형 노즐, 오염 방지 가스, 광 방출 스펙트럼, 플라즈마, 미세 입자.-
公开(公告)号：KR1020110034727A
公开(公告)日：2011-04-06
申请号：KR1020090092123
申请日：2009-09-29
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01L21/00
CPC classification number: H01L21/67028 , H01J37/32009 , H05H1/46
Abstract: PURPOSE: A dielectric window pollution preventing apparatus, a self plasma light emission spectrum device, and a particle measuring device are provided to prevent a dielectric window from being polluted due to process gas and process byproducts by spraying pollution preventing gas to the dielectric window through a nozzle unit. CONSTITUTION: A dielectric window is combined with a flange attached to a vacuum container. A nozzle unit(520a,520b) is arranged around the dielectric window or flange. The nozzle unit provides the pollution preventing gas to the dielectric window. The flange includes a first flange(515a) and a second flange(515b). The dielectric window includes a first dielectric window(528a) combined with the first flange and a second dielectric window(528b) combined with the second flange.
Abstract translation: 目的：提供一种电介质窗污染防止装置，自等离子体发光光谱装置和粒子测量装置，以防止由于处理气体和加工副产物而导致介质窗被污染，通过将污染防止气体喷射到电介质窗口 喷嘴单元。 构成：电介质窗与连接到真空容器的法兰结合。 喷嘴单元（520a，520b）布置在电介质窗或凸缘周围。 喷嘴单元向电介质窗提供防污染气体。 凸缘包括第一凸缘（515a）和第二凸缘（515b）。 电介质窗包括与第一凸缘组合的第一电介质窗口（528a）和与第二凸缘组合的第二电介质窗口（528b）。
-
-
-
Search Results
4
records
(took 0.019 seconds)
