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公开(公告)号:KR102058648B1
公开(公告)日:2019-12-23
申请号:KR1020180028780
申请日:2018-03-12
Applicant: 한국항공대학교산학협력단
IPC: H01L29/786 , H01L21/768
公开(公告)号:KR102058648B1
公开(公告)日:2019-12-23
申请号:KR1020180028780
申请日:2018-03-12
Applicant: 한국항공대학교산학협력단
IPC: H01L29/786 , H01L21/768