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公开(公告)号：WO2016190494A1
公开(公告)日：2016-12-01
申请号：PCT/KR2015/011538
申请日：2015-10-30
Applicant: 한국항공우주연구원
Abstract: 일 실시예에 따른 이물 제거 장치는, 본체; 및 상기 본체의 외주면에 장착되어 방사상 방향으로 연장되는 적어도 두 개의 날개 부재;를 포함하고, 상기 적어도 두 개의 날개 부재에는 고압 가스 분사 노즐 및 진공 흡입 노즐이 각각 구비되고, 상기 고압 가스 분사 노즐이 구비된 날개 부재 및 상기 진공 흡입 노즐이 구비된 날개 부재는 교대로 배치될 수 있다.
Abstract translation: 根据一个实施例的异物去除装置包括：主体; 以及至少两个叶片构件，其安装在所述主体的外周面上并沿径向方向延伸，其中所述至少两个叶片构件分别具有高压气体喷嘴和真空吸嘴，并且所述叶片构件设置有 设置有真空吸嘴的高压气体喷嘴和叶片构件可以交替布置。
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公开(公告)号：KR1020160137286A
公开(公告)日：2016-11-30
申请号：KR1020150092961
申请日：2015-06-30
Applicant: 한국항공우주연구원
Abstract: 일실시예에따른이물제거장치는, 본체; 및상기본체의외주면에장착되어방사상방향으로연장되는적어도두 개의날개부재;를포함하고, 상기적어도두 개의날개부재에는고압가스분사노즐및 진공흡입노즐이각각구비되고, 상기고압가스분사노즐이구비된날개부재및 상기진공흡입노즐이구비된날개부재는교대로배치될수 있다.
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公开(公告)号：KR102199976B1
公开(公告)日：2021-01-07
申请号：KR1020190118005
申请日：2019-09-25
Applicant: 한국항공우주연구원
IPC: H01L21/67 , H01L21/66 , H01L21/677 , G01N21/95
Abstract: 본발명은웨이퍼검사방법및 장치에관한것으로, 본발명에따른웨이퍼검사장치는, 제1 라인빔(line beam)을발생하는제1 라인빔발생기, 그리고웨이퍼를이송하는웨이퍼이송부를포함한다. 웨이퍼이송부는, 제1 라인빔의일단이웨이퍼지름을따라이동하면서, 웨이퍼지름을기준으로나누어지는웨이퍼상면의제1 절반부분에제1 라인빔이조사되도록웨이퍼를제1 방향으로이송시키며, 웨이퍼의제1 절반부분은지름을기준으로제1 라인빔발생기의반대측에위치한다. 본발명에의하면고속으로정확하게웨이퍼모서리(edge) 부근표면까지검사가가능한장점이있다.
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公开(公告)号：KR101749400B1
公开(公告)日：2017-06-21
申请号：KR1020150092961
申请日：2015-06-30
Applicant: 한국항공우주연구원
Abstract: 일실시예에따른이물제거장치는, 본체; 및상기본체의외주면에장착되어방사상방향으로연장되는적어도두 개의날개부재;를포함하고, 상기적어도두 개의날개부재에는고압가스분사노즐및 진공흡입노즐이각각구비되고, 상기고압가스분사노즐이구비된날개부재및 상기진공흡입노즐이구비된날개부재는교대로배치될수 있다.
Abstract translation: 根据实施例的除水装置包括：主体; 并且至少两个翼构件安装在主体的外圆周表面上并且沿径向延伸，其中至少两个翼构件分别设置有高压气体喷嘴和真空吸嘴， 具有真空吸嘴的翼构件和具有真空吸嘴的翼构件可以交替布置。
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