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公开(公告)号：WO2016190494A1
公开(公告)日：2016-12-01
申请号：PCT/KR2015/011538
申请日：2015-10-30
Applicant: 한국항공우주연구원
Abstract: 일 실시예에 따른 이물 제거 장치는, 본체; 및 상기 본체의 외주면에 장착되어 방사상 방향으로 연장되는 적어도 두 개의 날개 부재;를 포함하고, 상기 적어도 두 개의 날개 부재에는 고압 가스 분사 노즐 및 진공 흡입 노즐이 각각 구비되고, 상기 고압 가스 분사 노즐이 구비된 날개 부재 및 상기 진공 흡입 노즐이 구비된 날개 부재는 교대로 배치될 수 있다.
Abstract translation: 根据一个实施例的异物去除装置包括：主体; 以及至少两个叶片构件，其安装在所述主体的外周面上并沿径向方向延伸，其中所述至少两个叶片构件分别具有高压气体喷嘴和真空吸嘴，并且所述叶片构件设置有 设置有真空吸嘴的高压气体喷嘴和叶片构件可以交替布置。
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公开(公告)号：KR1020160022962A
公开(公告)日：2016-03-03
申请号：KR1020140108153
申请日：2014-08-20
Applicant: 한국항공우주연구원
CPC classification number: G01N21/94 , G01N21/8806 , G01N21/95 , G01N2021/8829 , G01N2201/0633 , G01N2201/0638
Abstract: 본발명은표면검사장치및 표면검사방법에관한것으로서, 더욱상세하게는표면의색깔이균일하지않은금속이나, 고분자재료등을포함하는불균일확산반사표면의이물검사가가능하도록하기위한표면검사장치및 표면검사방법에관한것이다.
Abstract translation: 表面检查装置和表面检查方法技术领域本发明涉及表面检查装置和表面检查方法，更具体地涉及能够检测异物扩散反射面上的异物的表面检查装置和表面检查方法，所述异常扩散反射面包括金属，聚合物材料和 具有不规则表面颜色的类似物。 表面检查装置包括：照明部，其包括照亮目标的光源; 以及检测部，其包括由所述光源的光形成在所述靶的表面上的光传感器检测色。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101496294B1
公开(公告)日：2015-03-02
申请号：KR1020130139778
申请日：2013-11-18
Applicant: 한국항공우주연구원
IPC: G01M1/36
Abstract: 본 발명은 회전체를 자동을 밸런싱 할 수 있는 장치 및 방법에 대한 것으로서, 특히 밸런싱을 위한 웨이트가 안착되는 밸런싱부와 상기 웨이트를 이동시키는 이동 수단을 포함하여 상기 이동 수단에 의해 웨이트를 특정 지점으로 배치한 후 회전하여 자동으로 밸런싱할 수 있는 것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种能够自动平衡旋转体的装置和方法，包括：平衡部分，其中安装有平衡重量; 以及移动重物的移动元件。 本发明可以通过移动元件在某一点上布置重物之后进行旋转而自动平衡。
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公开(公告)号：KR101749400B1
公开(公告)日：2017-06-21
申请号：KR1020150092961
申请日：2015-06-30
Applicant: 한국항공우주연구원
Abstract: 일실시예에따른이물제거장치는, 본체; 및상기본체의외주면에장착되어방사상방향으로연장되는적어도두 개의날개부재;를포함하고, 상기적어도두 개의날개부재에는고압가스분사노즐및 진공흡입노즐이각각구비되고, 상기고압가스분사노즐이구비된날개부재및 상기진공흡입노즐이구비된날개부재는교대로배치될수 있다.
Abstract translation: 根据实施例的除水装置包括：主体; 并且至少两个翼构件安装在主体的外圆周表面上并且沿径向延伸，其中至少两个翼构件分别设置有高压气体喷嘴和真空吸嘴， 具有真空吸嘴的翼构件和具有真空吸嘴的翼构件可以交替布置。
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公开(公告)号：KR1020160137286A
公开(公告)日：2016-11-30
申请号：KR1020150092961
申请日：2015-06-30
Applicant: 한국항공우주연구원
Abstract: 일실시예에따른이물제거장치는, 본체; 및상기본체의외주면에장착되어방사상방향으로연장되는적어도두 개의날개부재;를포함하고, 상기적어도두 개의날개부재에는고압가스분사노즐및 진공흡입노즐이각각구비되고, 상기고압가스분사노즐이구비된날개부재및 상기진공흡입노즐이구비된날개부재는교대로배치될수 있다.
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公开(公告)号：KR101372809B1
公开(公告)日：2014-03-12
申请号：KR1020120146603
申请日：2012-12-14
Applicant: 한국항공우주연구원
CPC classification number: B64F5/60 , G01M99/008
Abstract: The present invention relates to a control method for a rotor test device which can automatically stop a test when a limited wind speed, torque, or vibration value is reached in order to control the operation of a test device in a safe step without damage to a rotor, and can automatically operate a test where a numerical value is required to be regulated step by step. [Reference numerals] (S01) First input step; (S02) First test device control step; (S03) First measuring step; (S04) Rotor state determining step; (S05) Second test device control step; (S05a) Second input step; (S05b) Test end step; (S06) Second measuring step; (S07) Emergency stop determining step; (S08) Emergency control step; (S08a) Emergency stop step
Abstract translation: 转子试验装置的控制方法技术领域本发明涉及一种转子试验装置的控制方法，其能够在达到限制的风速，转矩或振动值的情况下自动停止试验，以便在安全的步骤中控制试验装置的操作而不损坏试验装置 转子，并可以自动进行需要逐步调节数值的试验。 （附图标记）（S01）第一输入步骤; （S02）第一测试装置控制步骤; （S03）第一测量步骤; （S04）转子状态判定步骤; （S05）第二测试装置控制步骤; （S05a）第二输入步骤; （S05b）测试结束步骤; （S06）第二测量步骤; （S07）紧急停止判定步骤; （S08）应急控制步骤; （S08a）紧急停止步骤
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公开(公告)号：KR102199976B1
公开(公告)日：2021-01-07
申请号：KR1020190118005
申请日：2019-09-25
Applicant: 한국항공우주연구원
IPC: H01L21/67 , H01L21/66 , H01L21/677 , G01N21/95
Abstract: 본발명은웨이퍼검사방법및 장치에관한것으로, 본발명에따른웨이퍼검사장치는, 제1 라인빔(line beam)을발생하는제1 라인빔발생기, 그리고웨이퍼를이송하는웨이퍼이송부를포함한다. 웨이퍼이송부는, 제1 라인빔의일단이웨이퍼지름을따라이동하면서, 웨이퍼지름을기준으로나누어지는웨이퍼상면의제1 절반부분에제1 라인빔이조사되도록웨이퍼를제1 방향으로이송시키며, 웨이퍼의제1 절반부분은지름을기준으로제1 라인빔발생기의반대측에위치한다. 본발명에의하면고속으로정확하게웨이퍼모서리(edge) 부근표면까지검사가가능한장점이있다.
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