公开(公告)号：KR1020060096870A

公开(公告)日：2006-09-13

申请号：KR1020050018137

申请日：2005-03-04

Applicant: 한국화학연구원

Inventor： 장종산 ,  황영규 ,  정성화 ,  황진수 ,  임티아즈시라주딘뮬라 ,  니란잔슈라칸트람구

IPC: C23C26/00

Abstract: 본 발명은 계면활성제를 이용하는 금속이 치환된 메조포러스 금속산화물 박막의 제조 방법 및 이를 채용한 가스센서에 관한 것으로, 보다 상세하게는 (1) 비금속염 및 귀금속염을 에탄올에 용해시킨 혼합용액을 계면활성제가 녹아있는 용액에 용해시켜 졸 상태의 복합금속염화물-에탄올 전구체 용액을 제조하는 단계; (2) 상기 졸 용액을 기질의 표면 위에 코팅하는 단계; 및 (3) 상기 코팅된 기질을 열처리하여 최밀충전된 균일한 크기의 나노세공형 결정성 복합금속산화물 박막을 형성하는 단계를 포함하는 계면활성제를 이용하는 금속이 치환된 메조포러스 금속산화물 박막의 제조 방법 및 이를 채용한 가스센서에 대한 것이다.
본 발명에 의하면, 표면적이 매우 넓고, 결정성을 갖는 나노세공체 구조의 귀금속/금속산화물 박막을 제조하여 높은 감도로 가스를 검출할 수 있으며, 특히 환원형 가스인 CO에 대한 선택성 및 감도를 높일 수 있다.
메조포러스, SnO2, 가스 센서, CO, 스프레이 열분해법

公开(公告)号：KR100770363B1

公开(公告)日：2007-10-26

申请号：KR1020050018137

申请日：2005-03-04

Applicant: 한국화학연구원

Inventor： 장종산 ,  황영규 ,  정성화 ,  황진수 ,  임티아즈시라주딘뮬라 ,  니란잔슈라칸트람구

IPC: C23C26/00

Abstract: 본 발명은 계면활성제를 이용하는 금속 치환 메조포러스 금속산화물 박막의 제조 방법 및 이를 채용한 가스센서에 관한 것으로, 보다 상세하게는 (1) 계면활성제를 에탄올에 용해시킨 용액에 비귀(非貴)금속염 및 귀금속염을 첨가,혼합하여 졸 상태의 복합금속 염화물-에탄올 전구체 용액을 제조하는 단계; (2) 상기 졸 용액을 기질의 표면 위에 코팅하는 단계; 및 (3) 상기 코팅된 기질을 열처리하여 최밀충전된 균일한 크기의 나노세공형 결정성 복합금속산화물 박막을 형성하는 단계를 포함하는 계면활성제를 이용하는 금속 치환 메조포러스 금속산화물 박막의 제조 방법 및 이를 채용한 가스센서에 대한 것이다.
본 발명에 의하면, 표면적이 매우 넓고, 결정성을 갖는 나노세공체 구조의 귀금속/금속산화물 박막을 제조하여 높은 감도로 가스를 검출할 수 있으며, 특히 환원형 가스인 CO에 대한 선택성 및 감도를 높일 수 있다.
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