公开(公告)号：KR102228630B1

公开(公告)日：2021-03-16

申请号：KR1020180171703A

申请日：2018-12-28

Applicant: 주식회사 삼양사 ,  한국화학연구원

Inventor： 이원중 ,  이득락 ,  오천림 ,  신승림 ,  전근 ,  안경룡 ,  박활기

IPC: C07D209/88 ,  G02B5/20 ,  G02F1/1335 ,  G03F7/028 ,  G03F7/105

CPC classification number: C07D209/88 ,  G02B5/20 ,  G02F1/1335 ,  G03F7/028 ,  G03F7/105

Abstract: 본 발명은 하기 화학식 1로 표시되는 카바졸 멀티 베타 옥심에스테르 유도체 화합물 및 이를 포함하는 광중합 개시제와 포토레지스트 조성물에 관한 것이다.
[화학식 1]

상기 화학식 1에서, A 및 R
1 내지 R
3 는 각각 발명의 상세한 설명에서 정의한 바와 같다.

公开(公告)号：WO2020139042A3

公开(公告)日：2020-07-02

申请号：PCT/KR2019/018657

申请日：2019-12-27

Applicant: 주식회사 삼양사 ,  한국화학연구원

Inventor： 이원중 ,  이득락 ,  오천림 ,  신승림 ,  전근 ,  안경룡 ,  박활기

IPC: C07D209/88 ,  G02B5/20 ,  G02F1/1335 ,  G03F7/028 ,  G03F7/105

Abstract: 본 발명은 하기 화학식 1로 표시되는 카바졸 멀티 베타 옥심에스테르 유도체 화합물 및 이를 포함하는 광중합 개시제와 포토레지스트 조성물에 관한 것이다. [화학식 1] 상기 화학식 1에서, A 및 R 1 내지 R 3 는 각각 발명의 상세한 설명에서 정의한 바와 같다.

公开(公告)号：WO2020139042A2

公开(公告)日：2020-07-02

申请号：PCT/KR2019/018657

申请日：2019-12-27

Applicant: 주식회사 삼양사 ,  한국화학연구원

Inventor： 이원중 ,  이득락 ,  오천림 ,  신승림 ,  전근 ,  안경룡 ,  박활기

IPC: C07D209/88 ,  G02B5/20 ,  G02F1/1335 ,  G03F7/028 ,  G03F7/105

Abstract: 본 발명은 하기 화학식 1로 표시되는 카바졸 멀티 베타 옥심에스테르 유도체 화합물 및 이를 포함하는 광중합 개시제와 포토레지스트 조성물에 관한 것이다. [화학식 1] 상기 화학식 1에서, A 및 R 1 내지 R 3 는 각각 발명의 상세한 설명에서 정의한 바와 같다.

公开(公告)号：KR101991903B1

公开(公告)日：2019-10-01

申请号：KR1020170167709

申请日：2017-12-07

Applicant: 주식회사 삼양사 ,  한국화학연구원

Inventor： 이원중 ,  오천림 ,  이득락 ,  신승림 ,  전근 ,  신종일 ,  안경룡 ,  박활기 ,  오유진

IPC: C07D209/82 ,  G03F7/031 ,  G03F7/027

公开(公告)号：KR101954701B1

公开(公告)日：2019-03-06

申请号：KR1020170116097

申请日：2017-09-11

Applicant: 한국화학연구원

Inventor： 신승림 ,  전근 ,  신종일 ,  안경룡 ,  오유진 ,  박활기

IPC: C09B35/035 ,  C09B67/20 ,  G03F7/105 ,  G03F7/032 ,  G03F7/00 ,  G02B5/20

公开(公告)号：KR102228630B1

公开(公告)日：2021-03-16

申请号：KR1020180171703

申请日：2018-12-28

Applicant: 주식회사 삼양사 ,  한국화학연구원

Inventor： 이원중 ,  이득락 ,  오천림 ,  신승림 ,  전근 ,  안경룡 ,  박활기

IPC: C07D209/88 ,  G03F7/028 ,  G03F7/105 ,  G02B5/20 ,  G02F1/1335

Abstract: 본발명은하기화학식 1로표시되는카바졸멀티베타옥심에스테르유도체화합물및 이를포함하는광중합개시제와포토레지스트조성물에관한것이다. [화학식 1] JPEG112018131472562-pat00057.jpg3962 상기화학식 1에서, A 및 R1 내지 R3는각각발명의상세한설명에서정의한바와같다.