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公开(公告)号：KR101242437B1
公开(公告)日：2013-03-12
申请号：KR1020100114780
申请日：2010-11-18
Applicant: 한국화학연구원
IPC: C01B33/107 , B01J8/02 , B01J21/18 , B01J12/00
Abstract: 본 발명은 삼염화실란(trichlorosilane, 이하, TCS)의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 전자급 혹은 태양전지급 실리콘(silicon) 생산을 위한 삼염화실란(TCS)의 제조방법에 관한 것이다.
본 발명의 실시 예에 따른 삼염화실란의 제조 방법은, 반응기에 사염화실란과 수소를 공급하는 단계; 및 상기 사염화실란과 상기 수소가 반응하는 동안에 모노실란, 일염화실란 및 이염화실란 중 어느 하나를 상기 반응기 내로 공급하는 단계를 포함하는데, 일정량의 실리콘이 증착된 활성화된 촉매를 사용함으로써 삼염화실란(TCS)을 더욱 효율적으로 생산할 수 있다.-
公开(公告)号：KR100752739B1
公开(公告)日：2007-08-30
申请号：KR1020060024186
申请日：2006-03-16
IPC: C08J3/12 , C08F8/00 , C08F212/00 , B82Y30/00
Abstract: Provided is a method for preparing a crosslinked polymer bead having uniform shape and size of 1 mm or more continuously and more economically. A method comprises the steps of supplying a reactant comprising a monovinyl monomer, a crosslinking monomer and a catalyst and a carrier fluid phase separated from the reactant into the entrance of a reactor tube so as to allow them to be repeatedly branched and flow in the flow direction of the reactor pipe; converting the reactant into a polymer bead by polymerization during the retention period passing the reactor tube, and discharging the polymer bead and the carrier fluid at the exit of the reactor tube in turn.
Abstract translation: 提供一种连续且更经济地制备具有1mm以上的均匀形状和尺寸的交联聚合物珠粒的方法。 一种方法包括以下步骤：将包含单乙烯基单体，交联单体和催化剂的反应物以及与反应物分离的载体流体相提供到反应器管的入口中，以允许它们重复地分支并在流中流动 反应器管的方向; 在通过反应器管的保留时间期间通过聚合将反应物转化成聚合物珠，并依次在反应器管的出口处排出聚合物珠和载体流体。
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公开(公告)号：KR1020070080306A
公开(公告)日：2007-08-10
申请号：KR1020060011493
申请日：2006-02-07
Applicant: 한국화학연구원
IPC: H01L21/02
CPC classification number: C01B33/027 , B01J3/046 , B01J8/1827 , B01J8/1836 , B01J2208/00398 , B01J2208/00407 , C01B33/029 , C01B33/03
Abstract: A high pressure fluidized bed reactor for manufacturing a granular polycrystalline silicon is provided to minimize the contamination due to particles, to obtain easily silicon grains of high purity and to keep the difference of pressure between inner and outer regions of an inner space of the fluidized bed reactor itself in a low range by using a pressure difference control unit. A reactor cell encloses a reaction tube(2), so that an inner space of the reactor cell is divided into an inner region and an outer region by the reaction tube. A silicon grain layer is formed and a silicon precipitation is generated in the inner region of the inner space of the reactor cell except the outer region. A gas inlet unit is used for supplying a predetermined gas to the silicon grain layer. A product exhaust unit is used for exhausting polycrystalline grains and an exhaust gas from the inner region. An inert gas connection unit is used for keeping the outer region under an inert gas condition. A pressure control unit is used for measuring and controlling the pressures of the inner and outer regions. A pressure difference control unit keeps the difference of pressure between the inner and outer regions in a predetermined range of 0 to 1 bar.
Abstract translation: 提供了一种用于制造粒状多晶硅的高压流化床反应器以最小化由于颗粒引起的污染，从而容易获得高纯度的硅晶粒并且保持流化床内部空间的内部和外部区域之间的压力差 反应器本身通过使用压力差控制单元在低范围内。 反应器单元包围反应管（2），使得反应器单元的内部空间被反应管分成内部区域和外部区域。 形成硅晶粒层，并且在除了外部区域之外的反应器电池的内部空间的内部区域中产生硅沉淀。 气体入口单元用于向硅晶粒层提供预定的气体。 产品排气单元用于从内部区域排出多晶颗粒和排气。 惰性气体连接单元用于将外部区域保持在惰性气体条件下。 压力控制单元用于测量和控制内部和外部区域的压力。 压力差控制单元将内外区域之间的压力差保持在0〜1巴的预定范围内。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101329030B1
公开(公告)日：2013-11-13
申请号：KR1020100095938
申请日：2010-10-01
Applicant: 한국화학연구원 , 주식회사 실리콘밸류
IPC: B01J8/18 , C01B33/027
CPC classification number: B01J8/1872 , B01J8/1836 , B01J19/02 , B01J2208/00398 , B01J2208/00415 , B01J2208/00495 , B01J2208/00902 , B01J2208/00991 , B01J2219/00247 , B01J2219/00252 , B01J2219/0209 , B01J2219/0218 , B01J2219/0227 , C01B33/027
Abstract: 본 발명의 유동층 반응기는 헤드, 상기 헤드의 아래에 위치하여 상기 헤드와 연결되고 제1 반응관이 삽입되는 제1 몸체부, 상기 제1 몸체부의 아래에 위치하여 상기 제1 몸체부와 연결되고 제2 반응관이 삽입되는 제2 몸체부 및 상기 제2 몸체부의 아래에 위치하여 상기 제2 몸체부와 연결되며 유동가스공급노즐, 반응가스공급노즐, 히터 및 전극이 조립되는 저면부를 포함한다.
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公开(公告)号：KR100813131B1
公开(公告)日：2008-03-17
申请号：KR1020060053826
申请日：2006-06-15
Applicant: 한국화학연구원
CPC classification number: C30B29/06 , B01J8/1809 , B01J8/1827 , B01J8/1836 , B01J8/24 , B01J8/34 , B01J19/02 , B01J2208/00398 , B01J2208/00407 , B01J2208/00415 , B01J2208/00495 , B01J2208/00539 , B01J2208/0084 , B01J2208/00991 , B01J2219/0209 , B01J2219/0218 , B01J2219/0236 , B01J2219/0254 , B01J2219/0272 , B01J2219/029 , C01B33/027 , C30B28/14
Abstract: 본 발명은 유동층 반응기를 이용한 다결정 실리콘 제조방법에 관한 것으로서, 특히 다결정 실리콘의 제조장치에서 반응관 내벽면에 형성되는 실리콘 퇴적물을 효과적으로 제거하면서 실리콘 입자를 제조할 수 있게 하는 다결정 실리콘의 지속 가능한 제조방법에 관한 것이다.
입자형태의 다결정 실리콘을 제조함에 있어서, 본 발명은, 반응관 내부에서 형성된 실리콘 입자들의 층이 유동하는 상태에서 실리콘 석출이 일어날 수 있도록 실리콘 원소를 함유한 반응가스를 공급하는 반응가스주입수단의 반응가스 출구가 상기 실리콘 입자들의 층 내부에 위치하고, 상기 출구의 높이를 기준으로 할 때 출구의 상측과 하측이 반응가스에 의해 실리콘 석출반응이 진행되는 반응영역과 실리콘 입자들의 가열을 위한 가열영역으로 각각 구분되는 입자형태의 다결정 실리콘을 제조하기 위한 유동층 반응기를 이용하되, 상기 반응가스주입수단에 의해 상기 반응가스를 공급함으로써 반응가스와 접촉하는 실리콘 입자들의 표면에 실리콘이 석출됨과 동시에 상기 반응영역을 에워싸는 반응관의 내벽면에 실리콘 퇴적물이 누적되는 실리콘 입자들 제조 단계와; 상기 반응가스를 공급하는 것을 중단한 다음, 상기 반응관 내부에 잔류하는 실리콘 입자들의 잔류층의 높이가 상기 출구의 높이를 초과하지 않도록 실리콘 입자들의 일부를 상기 유동층 반응기의 외부로 배출시키는 실리콘 입자들 부분 배출 단계와; 상기 실리콘 퇴적물과 반응하여 기상의 실리콘 화합물을 생성시킬 수 있는 에칭가스를 상기 반응영역의 공간으로 공급함으로써 실 리콘 퇴적물을 제거하는 실리콘 퇴적물 제거 단계;를 포함한다.
이러한 본 발명에 의하면, 유동층 반응기를 안정적으로 지속 가능하게 운전할 수 있고, 또한 상기 실리콘 입자들 제조 단계, 실리콘 입자들 부분 배출 단계, 실리콘 퇴적물 제거 단계, 실리콘 입자들 보충 단계가 순서대로 진행되는 실리콘 석출 운전 사이클을 반복하면서 유동층 반응기를 해체하지 않고 다결정 실리콘 입자를 제조하는 것이 가능하다.
다결정, 실리콘, 석출, 퇴적물, 유동층 반응기, 반응관, 에칭-
公开(公告)号：KR100783667B1
公开(公告)日：2007-12-07
申请号：KR1020060075897
申请日：2006-08-10
Applicant: 한국화학연구원
IPC: C30B29/06
CPC classification number: C01B33/027 , C23C16/24 , C23C16/4401 , C23C16/442
Abstract: A method and apparatus for preparing granular polycrystal silicon is provided to maintain a silicon precipitation operating condition stably by supplying a sufficient amount of heat, thereby increasing the throughput of a fluid bed reactor. A flow gas(10) and silicon particles(3) are heated by an internal heater(8a) installed between a reaction gas supply source(4) and an inner wall of a reaction tube(2). The flow gas is supplied so that the silicon particles are mixed in a continuously flowing state between a reaction region(Zr) and a heating region(Zh). Silicon particles with increased grain size are generated in the reaction region by supplying the reaction gas. A discharge gas(13) is drained outwardly from a fluid bed reactor. A portion of the silicon particles is discharged outwardly from the fluid bed reactor.
Abstract translation: 提供了一种用于制备颗粒状多晶硅的方法和装置，通过提供足够的热量来稳定地维持硅沉淀操作状态，从而提高了流化床反应器的生产量。 流动气体（10）和硅颗粒（3）被安装在反应气体供应源（4）和反应管（2）的内壁之间的内部加热器（8a）加热。 供给流动气体，使得硅粒子在反应区域（Zr）和加热区域（Zh）之间以连续流动状态混合。 通过供给反应气体，在反应区域产生粒径增大的硅粒子。 排放气体（13）从流化床反应器向外排出。 一部分硅颗粒从流化床反应器向外排出。
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公开(公告)号：KR100768147B1
公开(公告)日：2007-10-18
申请号：KR1020060042301
申请日：2006-05-11
Applicant: 한국화학연구원
CPC classification number: C01B33/035 , Y10T117/10 , Y10T117/1004
Abstract: A method and an apparatus for manufacturing a polycrystal rod using a combined core member is provided to easily heat a second core member by preheating the second core member using a first core member electrically heated. A first core member(C1) made of resistive material and a second core member(C2) made of silicon are installed in an internal space of an eduction reactor. The first core member is electrically heated, and the second core member is preheated by using the heated first core member. The preheated second core member is electrically heated. A process gas is fed into the internal space of the eduction reactor while the first and second core members are electrically heated.
Abstract translation: 提供一种使用组合芯部件制造多晶棒的方法和装置，以便通过使用电加热的第一芯部件预热第二芯部件来容易地加热第二芯部件。 由电阻材料制成的第一芯构件（C1）和由硅制成的第二芯构件（C2）安装在排水反应器的内部空间中。 第一芯构件被电加热，并且通过使用加热的第一芯构件来预热第二芯构件。 预热的第二芯构件被电加热。 当第一和第二芯构件被电加热时，工艺气体被供给到排水反应器的内部空间中。
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公开(公告)号：KR100544628B1
公开(公告)日：2006-01-23
申请号：KR1020030014245
申请日：2003-03-07
Applicant: 한국화학연구원
CPC classification number: B82Y30/00 , C01G25/02 , C01P2004/03 , C01P2004/32 , C01P2004/51 , C01P2004/62 , C01P2004/64
Abstract: 본 발명은 0.001∼0.5몰/ℓ의 농도를 갖는 지르코늄 염 수용액을 25℃의 온도에서 1개 또는 다수의 반응관으로 이루어진 반응기의 반응관 내부로 연속적으로 공급하고, 연속적인 흐름 상태에서 상기 반응기 내부에 있는 상기 지르코늄 염 수용액을 끓는점 또는 그 이하의 온도까지 가열시켜 생성되는 상기 지르코니아 수화물 졸을 상기 반응관 출구를 통해 배출함으로써 평균입경 값(d
p )이 약 1∼1,000 nm 범위 내에 있는 nm크기를 갖는 구형의 지르코니아 수화물 입자가 분산된 지르코니아 수화물 졸을 연속적으로 제조하는 방법에 관한 것이다.
종래의 회분식 또는 반연속식의 교반조형 반응기를 이용하는 제조 방법과는 달리, 본 발명에 의한 관형 반응기를 이용하는 연속 제조 방법은 여러 가지 조업 변수들을 일정 범위 이내에서 제어하는 것을 용이하게 하여 최종적으로 얻어지는 지르코니아 수화물 졸 또는 지르코니아 분말 제품의 품질을 향상시키는 데에 크게 기여할 수 있다.
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