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公开(公告)号：KR1020180075347A
公开(公告)日：2018-07-04
申请号：KR1020160179579
申请日：2016-12-26
Applicant: 한남대학교 산학협력단 , (주) 엠에스머트리얼즈
CPC classification number: C09G1/02 , C09K3/1409 , C09K3/1454
Abstract: 본발명의연마슬러리조성물은기존의화학-기계적연마슬러리조성물에비해연마효율및 분산안정성이우수하고피연마면의스크래치를최소화할수 있으며, 다양한종류의웨이퍼에서우수한연마효율을달성할수 있다. 또한본 발명은연마제로입자의크기가서로다른제1입자및 제2입자를사용하고, 연마보조제로개질말레인산공중합체를사용함으로써피연마면의결함및 스크래치를최소화할수 있어반도체웨이퍼공정용연마제및 바이오메디컬, 의약, 화장품응용분야등의생화학, 에너지, 촉매, 구조재료응용등의에너지환경재료쪽에폭넓게사용될수 있다.
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公开(公告)号：KR1020180076042A
公开(公告)日：2018-07-05
申请号：KR1020160180119
申请日：2016-12-27
Applicant: 한남대학교 산학협력단 , (주) 엠에스머트리얼즈
CPC classification number: F27B7/06 , F27B7/22 , F27B7/28 , F27B7/33 , F27B7/42 , F27D1/0006 , F27D7/02
Abstract: 본발명은소성가공에사용되는로터리킬른및 이의제어방법에관한것으로, 더욱상세하게는소성공정을수행하는소성장치가, 내부에소성장치의회전방향과반대방향으로회전하는내부회전장치를더 포함하여구성되어산화물분말을소성할때 회전튜브내벽에분말이달라붙는현상을방지할 수있는로터리킬른및 소성원료의투입에서부터배출까지전 작업을자동으로수행할수 있는로터리킬른제어방법이다.
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公开(公告)号：KR101884459B1
公开(公告)日：2018-08-01
申请号：KR1020160180119
申请日：2016-12-27
Applicant: 한남대학교 산학협력단 , (주) 엠에스머트리얼즈
Abstract: 본발명은소성가공에사용되는로터리킬른및 이의제어방법에관한것으로, 더욱상세하게는소성공정을수행하는소성장치가, 내부에소성장치의회전방향과반대방향으로회전하는내부회전장치를더 포함하여구성되어산화물분말을소성할때 회전튜브내벽에분말이달라붙는현상을방지할 수있는로터리킬른및 소성원료의투입에서부터배출까지전 작업을자동으로수행할수 있는로터리킬른제어방법이다.
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公开(公告)号：KR101874999B1
公开(公告)日：2018-07-05
申请号：KR1020160179579
申请日：2016-12-26
Applicant: 한남대학교 산학협력단 , (주) 엠에스머트리얼즈
Abstract: 본발명의연마슬러리조성물은기존의화학-기계적연마슬러리조성물에비해연마효율및 분산안정성이우수하고피연마면의스크래치를최소화할수 있으며, 다양한종류의웨이퍼에서우수한연마효율을달성할수 있다. 또한본 발명은연마제로입자의크기가서로다른제1입자및 제2입자를사용하고, 연마보조제로개질말레인산공중합체를사용함으로써피연마면의결함및 스크래치를최소화할수 있어반도체웨이퍼공정용연마제및 바이오메디컬, 의약, 화장품응용분야등의생화학, 에너지, 촉매, 구조재료응용등의에너지환경재료쪽에폭넓게사용될수 있다.
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