정전용량형 가스센서 및 그 제조 방법

    公开(公告)号:WO2022114660A1

    公开(公告)日:2022-06-02

    申请号:PCT/KR2021/016893

    申请日:2021-11-17

    Abstract: 정전용량형 가스센서가 제공된다. 상기 정전용량형 가스센서는, 타겟 가스를 흡탈착하는 감응 물질, 상기 감응 물질을 둘러싸는 상부 전극, 상기 상부 전극과 대향하는 하부 전극, 및 상기 상부 전극 및 상기 하부 전극 사이에 배치되는 다공성 구조체를 포함하되, 상기 감응 물질이 상기 타겟 가스를 흡탈착함에 따라, 커패시턴스(capacitance)가 변화되는 것을 포함할 수 있다.

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