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公开(公告)号：WO2019182406A1
公开(公告)日：2019-09-26
申请号：PCT/KR2019/003375
申请日：2019-03-22
Applicant: 한양대학교 산학협력단
Abstract: 외부 벽체, 및 제논 램프로부터의 제논 램프 광을 광소결 대상체 방향으로 반사하되, 제논 램프 광에 의하여 발생하는 열을 냉각시키는 냉각수가 유동하도록 상기 외부 벽체와 소정 간격 이격한 내부 측면 벽체 및 내부 상면 벽체로 이루어진 내부 벽체를 포함하되, 상기 내부 측면 벽체의 적어도 일부분과 상기 내부 상면 벽체의 적어도 일부분의 두께는 서로 동일한, 리플렉터가 제공된다.
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公开(公告)号：KR102218890B1
公开(公告)日：2021-02-23
申请号：KR1020190080280
申请日：2019-07-03
Applicant: 한양대학교 산학협력단
IPC: H01L29/66 , H01L21/324 , H01L21/263 , H01L21/02
Abstract: 기판상에산화물반도체소스용액을제공하여, 예비산화물반도체층을형성하는단계, 상기예비산화물반도체층에제1 광소결에너지를조사하여산화물반도체층을형성하는단계, 상기산화물반도체층상에전극잉크를제공하여, 예비전극을형성하는단계, 및상기예비전극에제2 광소결에너지를조사하여전극을형성하는단계를포함하는연속광소결박막트랜지스터제조방법이제공된다.
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公开(公告)号：KR1020210004220A
公开(公告)日：2021-01-13
申请号：KR1020190080280
申请日：2019-07-03
Applicant: 한양대학교 산학협력단
IPC: H01L29/66 , H01L21/324 , H01L21/263 , H01L21/02
Abstract: 기판상에산화물반도체소스용액을제공하여, 예비산화물반도체층을형성하는단계, 상기예비산화물반도체층에제1 광소결에너지를조사하여산화물반도체층을형성하는단계, 상기산화물반도체층상에전극잉크를제공하여, 예비전극을형성하는단계, 및상기예비전극에제2 광소결에너지를조사하여전극을형성하는단계를포함하는연속광소결박막트랜지스터제조방법이제공된다.
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