Abstract:
실시 예에 따른 시편 두께 측정 방법은 비접촉 및 비파괴 방식으로 다층을 가지는 시편에 대한 두께를 측정할 수 있다. 또한, 각 층을 구성하는 물질에 대한 굴절률을 미리 알고 있는 경우, 상기 시편의 각 층의 테라헤르츠 파 반사 시간 차이를 통해 각 층의 두께를 일체로 측정할 수 있어, 상기 시편의 두께를 측정하는 시간을 단축할 수 있다. 또한 각 층을 구성하는 물질에 대한 굴절률을 모르는 경우, 상기 시편의 각 층의 테라헤르츠 파 투과 시간 차이 및 반사 시간 차이를 통해 각 층의 굴절률을 측정할 수 있고, 이와 동시에 상기 시편의 각 층의 테라헤르츠 파 투과 시간 차이 또는 반사 시간 차이를 통해 각 층의 두께도 측정하여, 다양한 시편들에 대한 두께를 측정할 수 있는 점에서 높은 활용도를 갖는 효과가 있다.
Abstract:
외부 벽체, 및 제논 램프로부터의 제논 램프 광을 광소결 대상체 방향으로 반사하되, 제논 램프 광에 의하여 발생하는 열을 냉각시키는 냉각수가 유동하도록 상기 외부 벽체와 소정 간격 이격한 내부 측면 벽체 및 내부 상면 벽체로 이루어진 내부 벽체를 포함하되, 상기 내부 측면 벽체의 적어도 일부분과 상기 내부 상면 벽체의 적어도 일부분의 두께는 서로 동일한, 리플렉터가 제공된다.
Abstract:
두께 측정 장치가 제공된다. 상기 두께 측정 장치는, 반사 모드 및 투과 모드 중 적어도 하나의 모드에 따른 테라헤르츠파를 수신하는 테라헤르츠파 신호 처리부, 상기 제1 반사 테라헤르츠파와 상기 제2 반사 테라헤르츠파 간의 제2 시간 차이 정보를 고려하여 상기 두께 측정 대상체의 굴절율 정보를 획득하는 굴절율 정보 획득부, 및 상기 굴절율 정보를 고려하여 상기 두께 측정 대상체의 두께 정보를 획득하는 두께 정보 획득부를 포함할 수 있다.
Abstract:
본 발명은 기판; 그래핀 층; 및 금속 나노와이어를 포함하는 투명전극으로서, 상기 금속 나노와이어 층은 자외선, 적외선 및 이들의 복합광 중에서 선택되는 어느 하나;와 극단파 백색광;을 함께 조사하는 복합 광 조사를 통해 상기 그래핀 층에 함침되어 광접합된 것을 특징으로 하는 투명전극에 관한 것으로서, 상온 및 대기 조건과 1 내지 100 ms 이내의 짧은 시간에 선택적 또는 대면적으로 광접합 할 수 있으며, 우수한 면저항과 투과도를 나타낸다.
Abstract:
본 발명은 반도체 산화물 잉크를 극단파 백색광, 근적외선 및 원자외선을 이용한 복합 광원으로 광소결하는 방법에 관한 것으로 스트론튬 티타늄 옥사이드(SrTiO 3 ), 바륨 티타늄 옥사이드(BaTiO 3 ) 또는 이들의 혼합물 중에서 선택되는 반도체 산화물 및 분산안정제를 포함하는 복합 광 소결용 반도체 산화물 잉크를 상온 및 대기 조건과 1 내지 100 ms 이내의 짧은 시간에 선택적 또는 대면적으로 어닐링 및 소결할 수 있다.
Abstract:
본 발명에 따르면 테라헤르츠파를 이용하여 그래핀의 산화, 환원 영역을 빠른 시간 내에 정확하게 탐지하여 전도성을 측정할 수 있어 그래핀 전도성 검사 시간을 줄일 수 있다. 또한, 그래핀에 산화 영역이 존재하면 바로 전자기파를 조사하여 환원시킴으로서 전도성을 높여 수리 시간을 최소화할 수 있다.
Abstract:
테라헤르츠파를 이용한 플라즈마 공정 모니터링 장치가 제공된다. 상기 테라헤르츠파를 이용한 플라즈마 공정 모니터링 장치는, 내부에 웨이퍼가 인입되어 있는 플라즈마 챔버의 외측에 상기 웨이퍼의 폭 방향과 평행한 방향으로 배치되며, 테라헤르츠파를 이용하여, 상기 웨이퍼 상에 막을 형성하기 위한 플라즈마 공정 시 상기 플라즈마 챔버의 내부에 형성되는 플라즈마를 모니터링하는 제1 모니터링 모듈; 및 상기 웨이퍼를 향하도록 상기 플라즈마 챔버의 외측에 상기 웨이퍼의 두께 방향으로 배치되며, 상기 테라헤르츠파를 이용하여, 상기 플라즈마 공정을 통하여 표면에 막이 형성되는 상기 웨이퍼를 모니터링하는 제2 모니터링 모듈을 포함할 수 있다.
Abstract:
본 발명은 하이브리드 금속 패턴의 제조방법 및 이를 통해 제조된 하이브리드 금속 패턴에 관한 것으로서, 액중 전기선 폭발법과 광소결을 이용하여 플렉서블 기판을 비롯한 다양한 재료의 기판 상에 손상없이 상온에서 하이브리드 금속 패턴을 제조할 수 있다. 보다 구체적으로, 본 발명의 조건에 따라 액중 전기선 폭발법을 수행하면 균일한 나노 크기와 마이크로 크기를 갖는 금속 입자를 간단한 공정을 통해 제조할 수 있을 뿐만 아니라, 별다른 분산 공정 및 포집공정을 생략할 수 있으며, 여기에 금속 전구체를 첨가하여 전도성 하이브리드 잉크를 제조하고, 이를 광소결하면 매우 단순한 공정을 통해서 하이브리드 금속 패턴을 제조할 수 있다.
Abstract:
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 두께 측정 장치는 전자기파를 시편 방향으로 조사하는 방출부, 상기 시편이 위치하는 방향에서부터 출력되는 전자기파를 수신하는 수신부 및 상기 수신부로부터 신호를 받아 상기 시편의 두께를 산출하는 제어부를 포함하고, 상기 시편이 제1 두께를 갖는 경우, 상기 수신부는 제1 전자기파를 수신하고, 상기 시편이 제2 두께를 갖는 경우, 상기 수신부는 제2 전자기파를 수신하고, 상기 제1 전자기파는 제1 시점에서 제1 피크값을 가지고, 상기 제2 전자기파는 제2 시점에서 제2 피크값을 가지고, 상기 제1 두께가 상기 제2 두께보다 큰 경우, 상기 제1 피크값은 상기 제2 피크값보다 작은 값이다.