시편 두께 측정 장치 및 시편 두께 측정 방법

    公开(公告)号:WO2020045852A1

    公开(公告)日:2020-03-05

    申请号:PCT/KR2019/010184

    申请日:2019-08-12

    Abstract: 실시 예에 따른 시편 두께 측정 방법은 비접촉 및 비파괴 방식으로 다층을 가지는 시편에 대한 두께를 측정할 수 있다. 또한, 각 층을 구성하는 물질에 대한 굴절률을 미리 알고 있는 경우, 상기 시편의 각 층의 테라헤르츠 파 반사 시간 차이를 통해 각 층의 두께를 일체로 측정할 수 있어, 상기 시편의 두께를 측정하는 시간을 단축할 수 있다. 또한 각 층을 구성하는 물질에 대한 굴절률을 모르는 경우, 상기 시편의 각 층의 테라헤르츠 파 투과 시간 차이 및 반사 시간 차이를 통해 각 층의 굴절률을 측정할 수 있고, 이와 동시에 상기 시편의 각 층의 테라헤르츠 파 투과 시간 차이 또는 반사 시간 차이를 통해 각 층의 두께도 측정하여, 다양한 시편들에 대한 두께를 측정할 수 있는 점에서 높은 활용도를 갖는 효과가 있다.

    두께 측정 장치, 두께 측정 방법 및 두께 측정 프로그램

    公开(公告)号:WO2018182360A1

    公开(公告)日:2018-10-04

    申请号:PCT/KR2018/003783

    申请日:2018-03-30

    CPC classification number: G01B15/02 G06F17/10

    Abstract: 두께 측정 장치가 제공된다. 상기 두께 측정 장치는, 반사 모드 및 투과 모드 중 적어도 하나의 모드에 따른 테라헤르츠파를 수신하는 테라헤르츠파 신호 처리부, 상기 제1 반사 테라헤르츠파와 상기 제2 반사 테라헤르츠파 간의 제2 시간 차이 정보를 고려하여 상기 두께 측정 대상체의 굴절율 정보를 획득하는 굴절율 정보 획득부, 및 상기 굴절율 정보를 고려하여 상기 두께 측정 대상체의 두께 정보를 획득하는 두께 정보 획득부를 포함할 수 있다.

    복합광원을 이용한 금속 나노와이어와 그래핀 옥사이드 기반의 투명전극 및 이의 제조방법
    4.
    发明申请
    복합광원을 이용한 금속 나노와이어와 그래핀 옥사이드 기반의 투명전극 및 이의 제조방법 审中-公开
    使用组合光源的金属纳米线和基于氧化镍的透明电极及其制造方法

    公开(公告)号:WO2016052878A1

    公开(公告)日:2016-04-07

    申请号:PCT/KR2015/009457

    申请日:2015-09-08

    CPC classification number: H01B1/02 H01B5/14 H01B13/00

    Abstract: 본 발명은 기판; 그래핀 층; 및 금속 나노와이어를 포함하는 투명전극으로서, 상기 금속 나노와이어 층은 자외선, 적외선 및 이들의 복합광 중에서 선택되는 어느 하나;와 극단파 백색광;을 함께 조사하는 복합 광 조사를 통해 상기 그래핀 층에 함침되어 광접합된 것을 특징으로 하는 투명전극에 관한 것으로서, 상온 및 대기 조건과 1 내지 100 ms 이내의 짧은 시간에 선택적 또는 대면적으로 광접합 할 수 있으며, 우수한 면저항과 투과도를 나타낸다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种透明电极,包括:基板; 石墨烯层; 和金属纳米线,其中通过组合的光照射将金属纳米线层浸入并焊接到石墨烯层中,其中选自紫外光,红外光及其组合的光中的任何一种; 并且强烈的脉冲光照射在一起。 本发明可以在室温和大气条件下,在1〜100ms之间的短时间内实现选择性或大面积的轻焊,并且表现出优异的表面电阻和透射率。

    극단파 백색광, 근적외선 및 원자외선을 이용한 반도체 산화물의 복합 광 어닐링 및 소결 방법
    5.
    发明申请
    극단파 백색광, 근적외선 및 원자외선을 이용한 반도체 산화물의 복합 광 어닐링 및 소결 방법 审中-公开
    半导体氧化物的复合光退火和烧结方法,使用强化脉冲光,近红外光谱和极紫外线辐射

    公开(公告)号:WO2016006787A1

    公开(公告)日:2016-01-14

    申请号:PCT/KR2015/001550

    申请日:2015-02-16

    Inventor: 김학성 황현준

    CPC classification number: C09D11/52 H01B1/14 H01B5/14

    Abstract: 본 발명은 반도체 산화물 잉크를 극단파 백색광, 근적외선 및 원자외선을 이용한 복합 광원으로 광소결하는 방법에 관한 것으로 스트론튬 티타늄 옥사이드(SrTiO 3 ), 바륨 티타늄 옥사이드(BaTiO 3 ) 또는 이들의 혼합물 중에서 선택되는 반도체 산화물 및 분산안정제를 포함하는 복합 광 소결용 반도체 산화물 잉크를 상온 및 대기 조건과 1 내지 100 ms 이내의 짧은 시간에 선택적 또는 대면적으로 어닐링 및 소결할 수 있다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种通过使用强脉冲光,近红外线和远紫外线的复合光源轻烧烧半导体氧化物墨的方法,该方法能够退火和烧结用于复合光烧结的半导体氧化物油墨 ,选择性地或大面积地在室温和大气条件下长时间在1至100ms之间,用于复合光烧结的半导体氧化物油墨包括:选自氧化钛锶(SrTiO 3),氧化钡钛氧化物 (BaTiO 3)或其混合物; 和分散稳定剂。

    그래핀의 전도성 검사 장치 및 검사 방법
    6.
    发明申请
    그래핀의 전도성 검사 장치 및 검사 방법 审中-公开
    测量石墨电导率的装置和方法

    公开(公告)号:WO2015126111A1

    公开(公告)日:2015-08-27

    申请号:PCT/KR2015/001532

    申请日:2015-02-16

    Abstract: 본 발명에 따르면 테라헤르츠파를 이용하여 그래핀의 산화, 환원 영역을 빠른 시간 내에 정확하게 탐지하여 전도성을 측정할 수 있어 그래핀 전도성 검사 시간을 줄일 수 있다. 또한, 그래핀에 산화 영역이 존재하면 바로 전자기파를 조사하여 환원시킴으로서 전도성을 높여 수리 시간을 최소화할 수 있다.

    Abstract translation: 根据本发明,可以使用太赫兹波在短时间内精确地检测石墨烯的氧化和还原区域,以测量石墨烯的导电性,因此可以减少测试石墨烯导电性所需的时间。 此外,当在石墨烯中存在氧化区域时,可以通过向其中照射电磁波来立即还原氧化区域,以增加石墨烯的导电性,从而使恢复石墨烯所需的时间最小化。

    테라헤르츠파를 이용한 플라즈마 공정 모니터링 장치 및 그 모니터링 방법

    公开(公告)号:WO2023075349A1

    公开(公告)日:2023-05-04

    申请号:PCT/KR2022/016322

    申请日:2022-10-25

    Abstract: 테라헤르츠파를 이용한 플라즈마 공정 모니터링 장치가 제공된다. 상기 테라헤르츠파를 이용한 플라즈마 공정 모니터링 장치는, 내부에 웨이퍼가 인입되어 있는 플라즈마 챔버의 외측에 상기 웨이퍼의 폭 방향과 평행한 방향으로 배치되며, 테라헤르츠파를 이용하여, 상기 웨이퍼 상에 막을 형성하기 위한 플라즈마 공정 시 상기 플라즈마 챔버의 내부에 형성되는 플라즈마를 모니터링하는 제1 모니터링 모듈; 및 상기 웨이퍼를 향하도록 상기 플라즈마 챔버의 외측에 상기 웨이퍼의 두께 방향으로 배치되며, 상기 테라헤르츠파를 이용하여, 상기 플라즈마 공정을 통하여 표면에 막이 형성되는 상기 웨이퍼를 모니터링하는 제2 모니터링 모듈을 포함할 수 있다.

    전기선 폭발법 및 광소결을 통한 하이브리드 금속 패턴의 제조방법 및 이로부터 제조된 하이브리드 금속 패턴
    8.
    发明申请
    전기선 폭발법 및 광소결을 통한 하이브리드 금속 패턴의 제조방법 및 이로부터 제조된 하이브리드 금속 패턴 审中-公开
    通过电线爆炸和轻烧制备混合金属图案的方法及其制备的混合金属图案

    公开(公告)号:WO2016114546A1

    公开(公告)日:2016-07-21

    申请号:PCT/KR2016/000271

    申请日:2016-01-12

    Inventor: 김학성 정완호

    Abstract: 본 발명은 하이브리드 금속 패턴의 제조방법 및 이를 통해 제조된 하이브리드 금속 패턴에 관한 것으로서, 액중 전기선 폭발법과 광소결을 이용하여 플렉서블 기판을 비롯한 다양한 재료의 기판 상에 손상없이 상온에서 하이브리드 금속 패턴을 제조할 수 있다. 보다 구체적으로, 본 발명의 조건에 따라 액중 전기선 폭발법을 수행하면 균일한 나노 크기와 마이크로 크기를 갖는 금속 입자를 간단한 공정을 통해 제조할 수 있을 뿐만 아니라, 별다른 분산 공정 및 포집공정을 생략할 수 있으며, 여기에 금속 전구체를 첨가하여 전도성 하이브리드 잉크를 제조하고, 이를 광소결하면 매우 단순한 공정을 통해서 하이브리드 금속 패턴을 제조할 수 있다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种制备混合金属图案的方法及其制备的复合金属图案,并且可以在室温下制备杂化金属图案,而不会损坏由各种材料制成的基板,例如柔性基板,通过 使用电线爆炸在液体和轻烧结。 更具体地说,当根据本发明的条件进行液体中的电线爆炸时,可以通过简单的工艺制备具有均匀的纳米和微米尺寸的金属颗粒,并且可以留下特定的分散过程和收集过程 并且当通过向金属颗粒添加金属前体并对其进行烧结来制备导电混合油墨时,可以通过非常简单的工艺制备混合金属图案。

    두께 측정 장치
    9.
    发明申请

    公开(公告)号:WO2021015517A1

    公开(公告)日:2021-01-28

    申请号:PCT/KR2020/009536

    申请日:2020-07-20

    Abstract: 본 발명의 일 실시 예에 따르면, 두께 측정 장치는 전자기파를 시편 방향으로 조사하는 방출부, 상기 시편이 위치하는 방향에서부터 출력되는 전자기파를 수신하는 수신부 및 상기 수신부로부터 신호를 받아 상기 시편의 두께를 산출하는 제어부를 포함하고, 상기 시편이 제1 두께를 갖는 경우, 상기 수신부는 제1 전자기파를 수신하고, 상기 시편이 제2 두께를 갖는 경우, 상기 수신부는 제2 전자기파를 수신하고, 상기 제1 전자기파는 제1 시점에서 제1 피크값을 가지고, 상기 제2 전자기파는 제2 시점에서 제2 피크값을 가지고, 상기 제1 두께가 상기 제2 두께보다 큰 경우, 상기 제1 피크값은 상기 제2 피크값보다 작은 값이다.

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