公开(公告)号：WO2020071817A1

公开(公告)日：2020-04-09

申请号：PCT/KR2019/012966

申请日：2019-10-02

Applicant: 한양대학교 산학협력단

Inventor： 안진호 ,  신현진 ,  위성주 ,  장용주

IPC: G03F1/80 ,  G03F1/62 ,  G03F1/66 ,  H01L21/67

Abstract: 본 발명은 펠리클 식각 지그 및 펠리클 식각 시스템에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 펠리클 식각 지그는 설정 두께 및 설정 면적을 갖는 제1 지지판; 중앙 영역에 식각홀이 형성되고, 상기 제1 지지판의 상면에 결합 및 분리 가능하게 제공되는 제2 지지판; 및 설정 길이를 갖는 로드 형상을 가지고 일측 단부는 상기 제1 지지판에 연결되되, 길이 방향이 상기 제1 지지판 및 상기 제2 지지판의 넓이 방향에 대해 수직하게 제공되는 지지부를 포함한다.

公开(公告)号：KR1020090105761A

公开(公告)日：2009-10-07

申请号：KR1020080031403

申请日：2008-04-03

Applicant: 삼성전자주식회사 ,  한양대학교 산학협력단

Inventor： 윤선미 ,  신현진 ,  최재영 ,  백운규 ,  차인성

IPC: B82B3/00 ,  H01L31/04 ,  H01J11/22 ,  B82Y40/00

CPC classification number: H01B1/24 ,  Y10T428/30

Abstract: PURPOSE: A carbon nanotube transparent electrode and a preparation method thereof are provided to increase adhesion force to a substrate, film uniformity, and roughness. CONSTITUTION: A carbon nanotube transparent electrode comprises a CNT layer(20), and cover layer(30). The CNT layer is made of CNTs. The cover layer contains conductive particles and polymers. The cover layer covers either top or bottom or both the top and the bottom of the CNT layer. The polymer represents dopant, which dopes some of the conductive particles. The polymer is one or more materials selected from the group consisting of polyacrylic acid(PAA), polystyrene sulfonate(PSS), Nafion®, sodium polyacrylate, polyanetholesulfonic acid sodium salt, and nitrocellulose.

Abstract translation: 目的：提供碳纳米管透明电极及其制备方法，以增加对基材的粘附力，膜均匀性和粗糙度。 构成：碳纳米管透明电极包括CNT层（20）和覆盖层（30）。 CNT层由CNT制成。 覆盖层包含导电颗粒和聚合物。 覆盖层覆盖CNT层的顶部或底部或覆盖顶部和底部。 聚合物表示掺杂剂，其掺杂一些导电颗粒。 聚合物是选自聚丙烯酸（PAA），聚苯乙烯磺酸盐（PSS），聚丙烯酸钠，聚苯醚磺酸钠盐和硝化纤维素的一种或多种材料。

公开(公告)号：KR102140870B1

公开(公告)日：2020-08-12

申请号：KR1020180119128

申请日：2018-10-05

Applicant: 한양대학교 산학협력단

Inventor： 안진호 ,  신현진 ,  위성주 ,  장용주

IPC: G03F1/80 ,  G03F1/62 ,  G03F1/66 ,  H01L21/67