公开(公告)号：WO2019117559A1

公开(公告)日：2019-06-20

申请号：PCT/KR2018/015585

申请日：2018-12-10

Applicant: 한양대학교 에리카산학협력단

Inventor： 박태주 ,  김대현 ,  김대웅 ,  석태준 ,  진현수

IPC: H01L21/285 ,  H01L21/02 ,  H01L21/324

CPC classification number: H01L21/02 ,  H01L21/285 ,  H01L21/324

Abstract: 전이금속-디칼코게나이드 박막의 제조 방법이 제공된다. 상기 전이금속-디칼코게나이드 박막의 제조 방법은, 챔버 내에 베이스 기판이 준비되는 단계, 전이금속을 포함하는 전구체가 준비되는 단계, 상기 베이스 기판 상에 상기 전구체를 제공하는 단계 및 상기 챔버를 퍼지하는 단계를 복수회 반복 수행하여, 상기 베이스 기판 상에 상기 전구체가 흡착된 예비 박막을 형성하는 단계, 및 칼코겐(Chalcogen) 원소를 포함한 가스 분위기에서, 상기 예비 박막을 열처리하여, 전이금속-디칼코게나이드(Transition metal dichalcogenide) 박막이 제조되는 단계를 포함할 수 있다.

公开(公告)号：KR102263508B1

公开(公告)日：2021-06-10

申请号：KR1020190084617

申请日：2019-07-12

Applicant: 한양대학교 에리카산학협력단

Inventor： 김우희 ,  유봉영 ,  박태주 ,  김대현

IPC: H01L21/18 ,  H01L21/285 ,  H01L21/02 ,  H01L21/28

公开(公告)号：KR2020160004136U

公开(公告)日：2016-12-06

申请号：KR2020150003321

申请日：2015-05-26

Applicant: 한양대학교 에리카산학협력단

Inventor： 박태주 ,  김원준 ,  장은용 ,  김대현

IPC: C23C16/44

Abstract: 본고안은, 파우더코팅장치의진공챔버내에회전가능하게설치되어파우더를코팅하기위한리액터로서, 내부리액터가삽입되는공간을포함하는리액터몸체; 및상기리액터몸체로부터분리될수 있고장입된파우더가교반되도록하면서박막이코팅되도록하는공간을제공하는내부리액터를포함하며, 상기리액터몸체와상기내부리액터는서로분리되어탈부착이가능하도록구비되며, 상기내부리액터의내측부에는서로이격되게구비된복수의돌기부가돌출되게구비되어있으며, 상기돌기부와상기돌기부사이의모서리는완만한형태를갖는것을특징으로하는파우더코팅장치의리액터에관한것이다. 본고안에의하면, 내부리액터와리액터몸체를분리할수 있어클리닝공정이용이하고, 부품교체시 바꿔야하는부분을줄일수 있으며, 제품의수득률을증가시킬수 있고, 클리닝단계에서잔여파우더를제거하기쉽게하여차후공정때 발생할수 있는오염문제를억제할수 있다.

公开(公告)号：KR101522819B1

公开(公告)日：2015-05-27

申请号：KR1020140140938

申请日：2014-10-17

Applicant: 한양대학교 에리카산학협력단

Inventor： 김대현 ,  박태주 ,  유우항

IPC: H01L29/778

CPC classification number: H01L29/7786 ,  H01L21/02554 ,  H01L21/02592 ,  H01L21/0262 ,  H01L29/0657 ,  H01L29/2206 ,  H01L29/247 ,  H01L29/66969 ,  H01L29/778 ,  H01L27/115

Abstract: 2차원전자가스를포함하는전자소자가제공된다. 상기전자소자는, 기판, 상기기판상에배치되고, 이성분계산화물로형성된제1 물질막, 상기제1 물질막상에배치되고, 이성분계산화물로형성된제2 물질막, 및상기제1 물질막및 상기제2 물질막사이에생성된제1 2차원전자가스를포함한다.

Abstract translation: 公开了包括二维电子气体的电子设备。 电子装置包括： 底物; 第一材料膜，其被布置在基板上并且由双组分氧化物形成; 第二材料膜，其布置在第一材料膜上并且由双组分氧化物形成; 以及在第一和第二材料膜之间产生的第一二维电子气。 因此，制造过程简化，制造成本降低。

公开(公告)号：KR200482949Y1

公开(公告)日：2017-03-20

申请号：KR2020150003321

申请日：2015-05-26

Applicant: 한양대학교 에리카산학협력단

Inventor： 박태주 ,  김원준 ,  장은용 ,  김대현

IPC: C23C16/44

Abstract: 본고안은, 파우더코팅장치의진공챔버내에회전가능하게설치되어파우더를코팅하기위한리액터로서, 내부리액터가삽입되는공간을포함하는리액터몸체; 및상기리액터몸체로부터분리될수 있고장입된파우더가교반되도록하면서박막이코팅되도록하는공간을제공하는내부리액터를포함하며, 상기리액터몸체와상기내부리액터는서로분리되어탈부착이가능하도록구비되며, 상기내부리액터의내측부에는서로이격되게구비된복수의돌기부가돌출되게구비되어있으며, 상기돌기부와상기돌기부사이의모서리는완만한형태를갖는것을특징으로하는파우더코팅장치의리액터에관한것이다. 본고안에의하면, 내부리액터와리액터몸체를분리할수 있어클리닝공정이용이하고, 부품교체시 바꿔야하는부분을줄일수 있으며, 제품의수득률을증가시킬수 있고, 클리닝단계에서잔여파우더를제거하기쉽게하여차후공정때 발생할수 있는오염문제를억제할수 있다.

Abstract translation: 本发明的设计是，它是用于涂覆粉末可旋转地安装在粉末涂敷设备中的真空室中，将被插入包含在反应器内部空间中的反应器主体的反应器; 和内部反应器，以提供一个空间，使得所述薄膜被涂覆，并且所述反应器被从主体分离，并搅拌该电荷粉末，具备反应器主体的内部反应器彼此分离，以便可拆卸的，并且所述内 该反应器的内部部分已经被设置有多个设置有彼此间隔开的突出的突出，在粉末涂敷设备的反应器，其特征在于，它具有凸起和凸起之间的平缓边缘hanhyeongtae。 根据在本文中，可以删除使用该内反应器和反应器本体的清洗过程中，并且能够以减少应该更换部件更换时的部分，并且可以通过容易地从清洗步骤除去残留粉末增加了产品，随后处理的产率 可以用来控制污染问题。