公开(公告)号：KR101522819B1

公开(公告)日：2015-05-27

申请号：KR1020140140938

申请日：2014-10-17

Applicant: 한양대학교 에리카산학협력단

Inventor： 김대현 ,  박태주 ,  유우항

IPC: H01L29/778

CPC classification number: H01L29/7786 ,  H01L21/02554 ,  H01L21/02592 ,  H01L21/0262 ,  H01L29/0657 ,  H01L29/2206 ,  H01L29/247 ,  H01L29/66969 ,  H01L29/778 ,  H01L27/115

Abstract: 2차원전자가스를포함하는전자소자가제공된다. 상기전자소자는, 기판, 상기기판상에배치되고, 이성분계산화물로형성된제1 물질막, 상기제1 물질막상에배치되고, 이성분계산화물로형성된제2 물질막, 및상기제1 물질막및 상기제2 물질막사이에생성된제1 2차원전자가스를포함한다.

Abstract translation: 公开了包括二维电子气体的电子设备。 电子装置包括： 底物; 第一材料膜，其被布置在基板上并且由双组分氧化物形成; 第二材料膜，其布置在第一材料膜上并且由双组分氧化物形成; 以及在第一和第二材料膜之间产生的第一二维电子气。 因此，制造过程简化，制造成本降低。