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公开(公告)号：KR101761251B1
公开(公告)日：2017-07-28
申请号：KR1020160027018
申请日：2016-03-07
Applicant: 한양대학교 에리카산학협력단
Abstract: 분광타원해석기는, 편광된광을발생시키는광학대; 및광학대와시편사이에마련되어, 편광된광을시편으로입사시키고, 시편에서반사된반사광을광학대로입사시키는대물거울계; 를포함하고, 광학대는, 광을조사하는광원; 광원과대물거울계사이에마련되어, 광원에서조사된광을편광시키고, 시편에서반사된반사광을분석하는편광기; 및편광기를통과한반사광의편광변화량을검출하는분광검출기; 를포함할수 있다. 이와같은분광타원해석기에의하면, 단일광학대를이용함으로써광부품의정렬이용이하며, 광부품의위치각을찾는캘리브레이션과정이생략될수 있다. 또한, 단일구동장치로광학대의회전이이루어질수 있으며, 장비의소형화를실현할수 있다.
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公开(公告)号：KR1020180052328A
公开(公告)日：2018-05-18
申请号：KR1020160149520
申请日：2016-11-10
Applicant: 한양대학교 에리카산학협력단
CPC classification number: G01J4/00 , G01J2004/001 , G01N21/211 , G02B27/30
Abstract: 타원해석기는, 수평방향으로이동가능하게마련되는스테이지(stage); 및스테이지의상부에마련되는광학대; 를포함하고, 광학대는, 선편광된광을발생키는광원부; 선편광된광을두 편광성분으로분리하여시편에입사시키고, 시편으로부터반사된두 편광성분을결합하여출사시키는빔 디스프레이서(beam displacer); 및출사된두 편광성분을이용하여시편표면의영상을획득하는광영상부; 를포함할수 있다. 이와같은타원해석기에의하면, 수직입사방식을이용하므로입사각설정의어려움을해소할수 있으며, 광부품의정렬에용이하다. 또한, ‘p-파’와 ‘s-파’가 시편표면의서로다른지점에서반사되도록구조화되어, 표면전반을검사할수 있으며, 표면상의박막이나결함등으로인해높이차가있는표면검사에유용하게사용될수 있다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020180003889A
公开(公告)日：2018-01-10
申请号：KR1020160083633
申请日：2016-07-01
Applicant: 한양대학교 에리카산학협력단
CPC classification number: A61B5/0075 , G01N21/1717 , G01N2021/1725 , G01N2021/1742 , G02B5/3083
Abstract: 본발명은편광된광을시편으로입사시키는편광입사부와, 상기시편에서반사된광을수광하여상기시편의정보를검출하는편광검출부를포함하며, 상기편광입사부는선 편광된광을발생시키는입사측편광판및 상기선 편광된광을유지하거나타원편광된광으로변환한후 시편으로입사시키는위상지연판을포함하고, 상기편광검출부는상기시편에서반사된광을방향에따른편광특성을기준으로하여선택적으로통과시키는반사측편광판및 상기반사측편광판을통과한광을파장별상(image)으로측정하는초분광센서를포함하는생체정보검출장치에관한것이다.
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公开(公告)号：KR101830188B1
公开(公告)日：2018-02-21
申请号：KR1020160083633
申请日：2016-07-01
Applicant: 한양대학교 에리카산학협력단
Abstract: 본발명은편광된광을시편으로입사시키는편광입사부와, 상기시편에서반사된광을수광하여상기시편의정보를검출하는편광검출부를포함하며, 상기편광입사부는선 편광된광을발생시키는입사측편광판및 상기선 편광된광을유지하거나타원편광된광으로변환한후 시편으로입사시키는위상지연판을포함하고, 상기편광검출부는상기시편에서반사된광을방향에따른편광특성을기준으로하여선택적으로통과시키는반사측편광판및 상기반사측편광판을통과한광을파장별상(image)으로측정하는초분광센서를포함하는생체정보검출장치에관한것이다.
Abstract translation: 入射到本发明的产生，其包含通过接收入射的偏振光到试样中的偏振入射光部检测所述样本的信息的检测器极化，并且光从样品反射，偏振光入射部的直线偏振光 侧偏振器和线保持偏振光，或转换成后的椭圆偏振光和相位延迟板，以入射到样品上，偏振通过光检测单元从检体反射的，根据方向基于所述偏振特性 选择性涉及穿过反射型偏振器侧和目的地侧偏振器基于汉王穿入的生物体信息检测装置，包括一个高光谱传感器，用于测量的波长byeolsang（图像）。
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公开(公告)号：KR101873966B1
公开(公告)日：2018-07-04
申请号：KR1020160149520
申请日：2016-11-10
Applicant: 한양대학교 에리카산학협력단
Abstract: 타원해석기는, 수평방향으로이동가능하게마련되는스테이지(stage); 및스테이지의상부에마련되는광학대; 를포함하고, 광학대는, 선편광된광을발생키는광원부; 선편광된광을두 편광성분으로분리하여시편에입사시키고, 시편으로부터반사된두 편광성분을결합하여출사시키는빔 디스프레이서(beam displacer); 및출사된두 편광성분을이용하여시편표면의영상을획득하는광영상부; 를포함할수 있다. 이와같은타원해석기에의하면, 수직입사방식을이용하므로입사각설정의어려움을해소할수 있으며, 광부품의정렬에용이하다. 또한, ‘p-파’와 ‘s-파’가 시편표면의서로다른지점에서반사되도록구조화되어, 표면전반을검사할수 있으며, 표면상의박막이나결함등으로인해높이차가있는표면검사에유용하게사용될수 있다.
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