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公开(公告)号：KR101873966B1
公开(公告)日：2018-07-04
申请号：KR1020160149520
申请日：2016-11-10
Applicant: 한양대학교 에리카산학협력단
Abstract: 타원해석기는, 수평방향으로이동가능하게마련되는스테이지(stage); 및스테이지의상부에마련되는광학대; 를포함하고, 광학대는, 선편광된광을발생키는광원부; 선편광된광을두 편광성분으로분리하여시편에입사시키고, 시편으로부터반사된두 편광성분을결합하여출사시키는빔 디스프레이서(beam displacer); 및출사된두 편광성분을이용하여시편표면의영상을획득하는광영상부; 를포함할수 있다. 이와같은타원해석기에의하면, 수직입사방식을이용하므로입사각설정의어려움을해소할수 있으며, 광부품의정렬에용이하다. 또한, ‘p-파’와 ‘s-파’가 시편표면의서로다른지점에서반사되도록구조화되어, 표면전반을검사할수 있으며, 표면상의박막이나결함등으로인해높이차가있는표면검사에유용하게사용될수 있다.
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公开(公告)号：KR101944861B1
公开(公告)日：2019-02-01
申请号：KR1020170077392
申请日：2017-06-19
Applicant: 한양대학교 에리카산학협력단
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公开(公告)号：KR1020180052328A
公开(公告)日：2018-05-18
申请号：KR1020160149520
申请日：2016-11-10
Applicant: 한양대학교 에리카산학협력단
CPC classification number: G01J4/00 , G01J2004/001 , G01N21/211 , G02B27/30
Abstract: 타원해석기는, 수평방향으로이동가능하게마련되는스테이지(stage); 및스테이지의상부에마련되는광학대; 를포함하고, 광학대는, 선편광된광을발생키는광원부; 선편광된광을두 편광성분으로분리하여시편에입사시키고, 시편으로부터반사된두 편광성분을결합하여출사시키는빔 디스프레이서(beam displacer); 및출사된두 편광성분을이용하여시편표면의영상을획득하는광영상부; 를포함할수 있다. 이와같은타원해석기에의하면, 수직입사방식을이용하므로입사각설정의어려움을해소할수 있으며, 광부품의정렬에용이하다. 또한, ‘p-파’와 ‘s-파’가 시편표면의서로다른지점에서반사되도록구조화되어, 표면전반을검사할수 있으며, 표면상의박막이나결함등으로인해높이차가있는표면검사에유용하게사용될수 있다.
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公开(公告)号：KR1020170104245A
公开(公告)日：2017-09-15
申请号：KR1020160027015
申请日：2016-03-07
Applicant: 한양대학교 에리카산학협력단
Abstract: 분광타원해석기는, 편광된광을발생시키는광원측광학대; 광원측광학대의일단에마련되어, 편광된광을시편으로입사시키는광원측대물거울계; 시편에서반사된광의편광변화량을검출하는검출기측광학대; 검출기측광학대의일단에마련되어, 반사된광을검출기측광학대로입사시키는검출기측대물거울계; 및광원측대물거울계와검출기측대물거울계를결합시키는연결부재; 를포함할수 있다. 이와같은분광타원해석기에의하면, 대물거울이결합된결합형대물거울시스템또는대물렌즈가결합된결합형대물렌즈시스템을이용함으로써, 시편으로입사되는입사각의크기를타원해석기에필요한크기로실현할수 있다. 이때, 대물거울(또는대물렌즈) 내부에배열된거울(또는렌즈)들은대칭적으로정렬되어타원해석기의광축에쉽게도입설치가가능하며, 배열이고정되어외부의흔들림에도광경의뒤틀림이없다. 또한, 슬릿을이용함으로써집속되는초점의크기를줄이고, 입사하는편광방향을일정하게할 수있다. 또한, 슬릿이나대물거울시스템(또는대물렌즈시스템)을이동시킴으로써입사각을용이하게조절할수 있다.
Abstract translation: 分光椭圆偏振分析器包括：产生偏振光的光源侧光源; 设置在光源侧光源一端的光源侧物镜系统滥用并使偏振光进入样品; 检测器光度法检测从样品反射的光的偏振变化量; 检测器侧物镜系统设置在检测器的一端，用于引起反射光进入检测器测光系统; 以及用于耦合所述光源侧物镜系统和所述检测器侧物镜系统的耦合构件; 该可包含。 因此，根据这样的分光椭率计，通过使用目标反射镜的组合型物镜系统被耦合键hyeongdae mulgeoul系统或物镜的组合，可以实现入射角的大小为入射在样品到所需椭偏仪的尺寸。 此时，布置在内部（或物镜）的反射镜（或透镜）的目标反射镜对称地对准，并且被容易地引入到安装到椭偏仪的光轴是可能的，被布置是固定有在外部摆动视线没有扭转。 此外，通过使用狭缝，可以减小焦点的会聚尺寸并使入射偏振方向恒定。 而且，通过移动狭缝或物镜系统（或物镜系统）可以容易地调整入射角。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101714908B1
公开(公告)日：2017-03-10
申请号：KR1020150148183
申请日：2015-10-23
Applicant: 한양대학교 에리카산학협력단
IPC: G03F1/00 , G03F1/62 , G03F1/66 , G03F7/20 , G03F1/22 , H01L21/033 , H01L21/027 , H01L21/02
Abstract: 마스크상에배치되고, 실리콘카바이드(SiC)를포함하는제1 보호층(first protective layer), 상기제1 보호층상의지르코늄(Zr)을포함하는코어층(core layer), 상기코어층상의실리콘나이트라이드(SiN)를포함하는제2 보호층(second protective layer), 및상기제2 보호층상의실리콘카바이드(SiC)를포함하는제3 보호층(third protective layer)을포함하는극자외선리소그래피용펠리클구조체가제공될수 있다.
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公开(公告)号：KR101810070B1
公开(公告)日：2017-12-18
申请号：KR1020160027015
申请日：2016-03-07
Applicant: 한양대학교 에리카산학협력단
Abstract: 분광타원해석기는, 편광된광을발생시키는광원측광학대; 광원측광학대의일단에마련되어, 편광된광을시편으로입사시키는광원측대물거울계; 시편에서반사된광의편광변화량을검출하는검출기측광학대; 검출기측광학대의일단에마련되어, 반사된광을검출기측광학대로입사시키는검출기측대물거울계; 및광원측대물거울계와검출기측대물거울계를결합시키는연결부재; 를포함할수 있다. 이와같은분광타원해석기에의하면, 대물거울이결합된결합형대물거울시스템또는대물렌즈가결합된결합형대물렌즈시스템을이용함으로써, 시편으로입사되는입사각의크기를타원해석기에필요한크기로실현할수 있다. 이때, 대물거울(또는대물렌즈) 내부에배열된거울(또는렌즈)들은대칭적으로정렬되어타원해석기의광축에쉽게도입설치가가능하며, 배열이고정되어외부의흔들림에도광경의뒤틀림이없다. 또한, 슬릿을이용함으로써집속되는초점의크기를줄이고, 입사하는편광방향을일정하게할 수있다. 또한, 슬릿이나대물거울시스템(또는대물렌즈시스템)을이동시킴으로써입사각을용이하게조절할수 있다.
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