公开(公告)号：KR100692072B1

公开(公告)日：2007-03-12

申请号：KR1020050001061

申请日：2005-01-06

Applicant: 현대자동차주식회사

Inventor： 박병규 ,  이준식 ,  오동욱

IPC: G01F1/69

Abstract: 본 발명은 열식 유량센서의 절연막 위에 배치한 저항선에서 각 저항선의 저항이 길이를 따라 선폭을 임의로 변하게 하여 저항이 가중함수로 변할 수 있게 하고, 이를 다중으로 배열하고, 응용조건에 따라 가열 저항체 또는 측온 저항체로서의 기능을 하는 저항선을 인터페이싱 커넥터에 의한 배선 조절로 선택하며, 벽면 온도특성의 영향을 줄여 정밀도 향상이 가능하도록 냉각유로 구조를 갖추며, 웨이퍼에 구현된 각각의 저항선 칩 위에 전기접촉이 불필요한 부분에 감광성 절연물질을 입히고 배선 결합한 후 다시 절연물질을 덧씌워 유량검출소자를 접속함으로써 유량센서의 응답성을 높이고 유량 측정범위를 넓히며 유속 또는 유량의 측정 정밀도를 향상시킬 수 있다.
유량센서, 유량검출소자, 지지체, 냉각유로, 유량측정장치.

公开(公告)号：KR1020060080669A

公开(公告)日：2006-07-11

申请号：KR1020050001061

申请日：2005-01-06

Applicant: 현대자동차주식회사

Inventor： 박병규 ,  이준식 ,  오동욱

IPC: G01F1/69

CPC classification number: G01F1/69 ,  G01P5/12

Abstract: 본 발명은 열식 유량센서의 절연막 위에 배치한 저항선에서 각 저항선의 저항이 길이를 따라 선폭을 임의로 변하게 하여 저항이 가중함수로 변할 수 있게 하고, 이를 다중으로 배열하고, 응용조건에 따라 가열 저항체 또는 측온 저항체로서의 기능을 하는 저항선을 인터페이싱 커넥터에 의한 배선 조절로 선택하며, 벽면 온도특성의 영향을 줄여 정밀도 향상이 가능하도록 냉각유로 구조를 갖추며, 웨이퍼에 구현된 각각의 저항선 칩 위에 전기접촉이 불필요한 부분에 감광성 절연물질을 입히고 배선 결합한 후 다시 절연물질을 덧씌워 유량검출소자를 접속함으로써 유량센서의 응답성을 높이고 유량 측정범위를 넓히며 유속 또는 유량의 측정 정밀도를 향상시킬 수 있다.
유량센서, 유량검출소자, 지지체, 냉각유로, 유량측정장치.