公开(公告)号：KR1020140089373A

公开(公告)日：2014-07-14

申请号：KR1020147012450

申请日：2012-10-12

Applicant: 1366 테크놀로지 인코포레이티드

Inventor： 대너가이엠. ,  게이츠홀리지. ,  타라소브블라디미르에스. ,  케인피터이. ,  마든피터지. ,  삭스에마뉴엘엠.

IPC: B05D1/06 ,  B05D1/32 ,  B05D7/24

CPC classification number: B05B5/001 ,  B05B5/005 ,  B05B5/087 ,  B05B7/0012 ,  B05B12/16 ,  B05B13/02 ,  B05D1/04 ,  B05D1/06 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/67115 ,  H01L21/6715 ,  H01L21/6776

Abstract: 본 발명은 기판에 폴리머 박막의 형성에 관한 것이다. 고형 폴리머 레지스트를 작은 입자의 에어로졸로 변형시키고, 상기 입자를 기판에 정전기적으로 충전하여 증착시키고, 상기 입자를 연속적인 층으로 흐르게 하기 위한 장치가 설명된다. 연무화와 양립가능한 것과 같은 저점도 액체를 이루도록 레지스트를 가열하여 고형 레지스트를 작은 입자의 에어로졸로 변형시키고 제트 기술이나 충격 연무화 및 에어로졸 입자 분립을 적용하여 상기 에어로졸을 형성하기 위한 장치가 더 설명된다. 이온화된 가스를 이용하여 상기 에어로졸 입자에 충전을 부여하고 충전 장치의 연속성을 이용하여 상기 기판으로 충전된 입자의 흐름을 배향하는 전기장을 형성하기 위한 방법이 더 설명된다. 충전 장치의 연속성 및 이와 관련된 장치는 상기 에어로졸 입자에 대한 높은 포집 효율을 발생시킨다.